LPG (液化石油ガス) 2010年07月31日
夏祭りやキャンプなどでガスボンベを利用することがある場合
注意していただきたいことをお知らせいたします。
ボンベと焼きそば用のガスコンロなどを直接ガスホースで接続して
利用する場合には、次の項目をチェックしてみてください。
１：ガスボンベが転倒・転落しないようにしてください。
２：マッチ等で点火するときには、先ず着火源の炎を出してから
次に器具ガス栓などバルブを開き、ガスを流して燃焼器具に
着火源を近づけ点火しましょう。
３：点火のときには、必ず火がついたことを目で確認しましょう。
４：ガス燃焼中は、なるべく火のそばを離れないようにしてください。
離れる場合は、他に人に頼むか、一度火を落としましょう。
５：炎は、常に青い安定した炎の状態で使用しょましょう。
赤やオレンジの不完全燃焼の場合は、火口の掃除や、空気穴の
調整などガス器具を確認してください。
６：ボンベとガスコンロなど燃焼器具の傍で、火気を使用したり
化石燃料その他燃えやすいものを置かないようにしましょう。
７：ガスコンロなど使用を終えるときには、器具のガス栓（バルブ）
ガス容器バルブを完全に閉めましょう。
８：ゴムホース（ゴム管）は、ゴムホースを差し込む取付部に印のある
赤線の印が隠れるまで差し込んで、更にホースバンドを使用し締め付ます。
万が一、ゴムホースにヒビ割れがある場合には使用しないで、新しいもの
と交換しましょう。
９：ネジを外さないと掃除できない燃焼器具の分解を行わないでください。
10：燃焼器具の清掃をする際には、器具専用の掃除器具を使用しましょう。
11：ガスホースを、ホースの真ん中などで三つ叉や四つ叉に分岐するような
方法は危険ですので絶対にしないでください。
12：プロパンガスボンベを保管しておく場合は、直射日光が当たらない場所に
火気などがある場所を避け、風通しの良い屋外に保管しましょう。
ワ：空になったり不要になったガスボンベは、ゴミとして捨てられません。
ボンベを購入したガス販売店またはお近くのガス取扱い会社に持ち込ん
で下さい。
縁日や夏祭り、自治会の盆踊りなどで使用するプロパンガスや
貸出用ガスコンロなど、川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談ください。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
7月31日 土曜日
天気 晴れ
気温 30℃(PM11:00)
です。
暑い盛りです。
小さな子どもは、身長の１／３程度の水位で溺れます。
噴水の水たまりや側溝にも注意しましょう。
by mitono
小惑星探査機「はやぶさ」のカプセルが一般公開された
相模原市立博物館の来場者数を知ってますか？
３０～３１日の２日間でナント計３万人ですって！
凄いですね！！
ｂｙ との
特殊ガス 2010年07月30日
特殊ガスのことを詳しく解説してくれるこのコーナー第三十一回目に
なります。
難しいとお嘆きの皆さま・・・。
実は私も難しいです。 でも負けずに一緒に勉強していきましょう！
それでは今週も SGﾏｲｽﾀｰさんお願い致します。
（31話）高純度ガスは本当に高純度なのか？（つづき） ‘10.7.30
こんにちは
今日は先週のつづきです。
自分が思っているより難しいことになってしまって後悔しつつ．．．
「①不純物は誰がどうやって決めるのか？」についてはご理解頂けましたか？
さて今日は
②その不純物規格ってどうやって決めるの？
③”１００－不純物計”が純度（99.999%等の標記）と一致しない場合
があるのはなぜ？
についてお話していきます。
②その不純物規格ってどうやって決めるの？
先週のお話の通り規格に載せる”不純物成分”を決めると次にその
“規格”を決めなくてはなりません。言い方を変えると、どの程度の
(品質管理上の)分析が可能か？ってことを決めるってことになります。
例えば、Ａｒ中のＯ２分について・・・
ある工場の所有する分析計の検出下限が0.1%だとすると、これ以上の
保証は出来ないことになります。従って、Ｏ２分は<0.1%という表現
になります。
もし他の工場では、分析計が古いために0.5%かでしか測定出来なかっ
た場合、中に入っているＡｒが実は全く同じものであっても、規格上は
<0.5%との表現になってしまいます。
さて、この例を例題として、次に、
③”１００－不純物計”が純度（99.999%等の標記）と一致しない場合が
あるのはなぜ？
にお答えしていきましょう。
これまでのお話で「純度とは１００％から一定のルールによって決め
られた不純物とその規格を引き算して表現する」ということが理解頂け
たでしょうか？
仮に同じＡｒを充填したガス二本を異なる工場に一本ずつ運び込み、分
析をしてもらって純度標記をするとします。ここで、上記の例に従い、
Ａ規格：<0.1% 酸素分
Ｂ規格：<0.5 %酸素分
とします。
Ａ規格によるＡｒガスは、
１００％－０．１％＝９９．９％
Ｂ規格によるＡｒガスは、
１００％－０．５％＝９９．５％
という"商品規格"になります。
例えば中身も何もかも同じものであっても、"品質管理のレベル＝不純物
分析レベルの違い"によってこの二つは「違うもの」として扱われます。
さてここまでが何となく理解出来たところで、先週の答えです。
以下の二つのガスはどちらが高純度だと思いますか？
①純度99.9% Ar 不純物規格 O2 <0.05%、 N2 <0.04%、 CO2 <0.01%
②純度99.9% Ar 不純物規格 O2 <0.1%
という問題でした。
この答えは・・・
Ans. 同じかも知れないし①かも知れないし②かも知れない
殆どの方が正解したのではないでしょうか。
同時にタイトルの意味．．
高純度ガスは本当に高純度なのか？
要は、高純度ガスの品質を比較する場合、お使いになるみなさん自身が、
数字の"９"が幾つ並んでいるか？だけで判断することなく、"純度"
と"不純物規格"の両方を確認して判断して頂きたいんです。
やっぱり難しいテーマだったかも知れませんね。
このお話はこれでおしまい。
by SGﾏｲｽﾀｰ
高純度ガス、高純度ガス用機器、高純度ガス配管工事のことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月30日 金曜日
天気 晴れのち雨
です。
来週は、もう8月ですよ！
私のイメージ的には8月は、夏休み、お盆、甲子園という感じ
ですが、毎度あっという間に過ぎて行ってしまうので
今年は大事に味わってみたいと思います。
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年07月29日
薄膜の製法に用いる主なCVD薄膜と原料ガスを見てみましょう。
一般的には P-CVD により膜の組成は
ガスの流量・生成圧力・基板温度RFパワーなどに依存します。
薄膜 SiO2 原料ガス ：SiH4,SiHCl3,SiH2Cl2,SiH3Cl,SiCl4,SiBr4,SiI4,SiF4,
Si(OC2H5)2 + O2,NO,NO2,N2O,CO,CO2+H2,H2O
絶縁膜
薄膜 PSG 原料ガス ：SiO2の原料 + PH3
BSG 原料ガス ：SiO2の原料 + B2H6
ASG 原料ガス ：SiO2の原料 + AsH3
BPGS 原料ガス ：PSGとBSGの原料,PO(OCH3)3
GSG 原料ガス ：SiO2の原料+GeH4
Si3H4 原料ガス ：SiH4,SiHCl3,SiH2Cl2,SiH3Cl,SiCl4,SiBr4 + NH3,N2H4,N2,H2
SiOxNy 原料ガス ：SiO2の原料 + SiN2H3の原料
Al2O3 原料ガス ：AlCl3,Al(CH3)3,Al(C2H5)3,Al(OC3H7)3 + CO2+H2,O2,H2O
TiO2 原料ガス ：TaCl4 + CO2+H2O,N2O+H2
Ti〔(CH3)2CH-CH2-O〕4
Ta2o5 原料ガス ：TaCl5 + CO2+H2,N2O+H2
TaCl2(OC2H5)2C2H7O2
Ta(OC2H5)5
半導体膜
薄膜 Si 原料ガス ：SiH4,SiHCl3,SiH2Cl2,SiCl4 + Ar,H2
Ge 原料ガス ：GeH4 + Ar,H2
金属膜
薄膜 Al 原料ガス ：AlCl3,Al((CH3)3,Al(C2H)3 + H2
W 原料ガス ：WF6,WCl6,W(CO6) + H2,Ar
Mo 原料ガス ：MoF6,MoCl5,Mo(CO)6 + H2,Ar
Fe 原料ガス ：Fe(CO)5 + H2
Cr 原料ガス ：Cr(CO)6 + H2
Pt 原料ガス ：Pt(CO2)Cl2 + H2
MoSi2 原料ガス ：MoF6,MoCl5 + SiH4+H2
WSi2 原料ガス ：WF6,WCl6 + SiH4+H2
TaSi2 原料ガス ：TaCl5 + SiH4+H2
TiSi2 原料ガス ：TiCl4 + SiH4+H2
実際には、さらに多種多様な原料ガスの組み合わせがありますが、更に多くの
新たな原料が登場しております。
CVD装置用原料ガスや金属錯体、薬液など特殊ガス、特殊ガス機器、特殊ガス配管工事
のことなら川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月29日 木曜日
天気 あめ
ボンベ庫の温度 朝28℃、昼27℃、夜26℃
です。
夏日が続いていたので、体に優しく感じる一日でしたね。
雨の潤いと、ときおり強く吹く風の涼しさが心地よかったです。
ｂｙ との
排ガス処理 2010年07月28日
連載ブログ「排ガス処理」「精製ガス」の第十回目になります。
今回は「排ガス処理」の第六話になりますね。
それでは藤村Ｆさん、お願い致します！
■除害装置を導入する時に必要な情報
今回は除害装置を購入する際に、除害装置メーカーに提示する必要
のある項目を勉強しましょう！
まずは、皆様が購入しようとしている製造装置のメーカーが標準として
いるガス仕様を確認して下さい。
一例を示しておきます。
・Ａガス ３００ＳＣＣＭ
・Ｂガス ５００ＳＣＣＭ
・Ｃガス ２００ＳＣＣＭ
・窒素ガス ８００ＳＣＣＭ（プロセス用）
・窒素ガス ２０，０００ＳＣＣＭ（ポンプ保護用）
通常、使用流量はマスフローコントローラー（ＭＦＣ）の最大流量を教えて
くれると思います。
※ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰの解説はこちら ⇒ http://www.klchem.co.jp/mfc/ まで。
そして思わぬ落とし穴が『窒素ガス（ポンプ保護用）』です。
この窒素ガスも除害装置に導入されるので、忘れずに提示してあげましょう！
これらのガスは本来であれば、製造装置内で仕事をして製品になるのですが、
全量のガスが製品になる訳ではありません。
では、どれ位が製品になるのでしょうか？
ご存知ですか？
様々な種類の製造装置があるので、一概には言い難いですが、数％～５０％
が製品になるそうです。意外と効率が悪い物ですね？だから、除害装置が売れ
る訳なのです。
話が逸れましたが、製品にならなかった残ガスを処理するのを目的として除害
装置が必要になっています。しかし、先程若干触れましたが、製造装置内での
効率は処理装置のメーカーでは正直判りません。同じ製造装置の型式であっても、作る製品によって効率が変わる物なのです。
よって、除害装置メーカーは製造装置に導入するガスが全く製品に変化せずに
排出された状態で機種選定して来るはずです。
これで当初計画している予算に納まれば良いのですが、納まらない時はどうす
れば良いのでしょうか？
次は、ＭＦＣの最大流量ではなくて、実使用流量を提示しましょう！
そうすると大抵の場合、最大流量の２／３以下程度になり、それに伴って除害
装置も小さい型式が選定して来るはずです。それでも、予算に納まらない場合は、複数の除害装置メーカーから見積を取ってみたり、意中のメーカーに値引
交渉するしかないですね！
でも、あまりメーカーさんを困らせない程度にしましょうね！
今日はここまで！
次回は第１話に関連しますが地球温暖化対策の法律(その１)を紹介します。
お楽しみに！！（＾Ｏ＾）／=
by 藤村Ｆ
除害装置のことなら川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談下さい。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
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今日の埼玉川口のお天気は？
7月27日 水曜日
天気 はれ
ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度 昼37℃、夜35℃
です。
高校野球埼玉大会決勝戦が県営大宮球場で行われ
本庄第一高校が３－２で優勝しました！
常笑野球で、ピッチャーもピンチでも笑顔を絶やさず
ノーシードから接戦を勝ち抜きました。
甲子園でも活躍を期待してます。
ｂｙ との
CO2 (二酸化炭素) 2010年07月27日
TYPE : ｴｽﾌﾟｰﾏ ｽﾊﾟｰｸﾘﾝｸﾞ （日本炭酸瓦斯製）
炭酸入りドリンクが手軽に、しかも素早くできます。
ジュース類から焼酎、ウイスキーまで、ひと吹きするだけでさわやかな
おいしさに大変身します。ご家庭でのドリンクメニューがとっても豊富
になります。
美味しい炭酸水の作り方
美味しい炭酸水をつくるには、水が冷たいことと、よく混ぜることが
ポイントです。理想的には水温を4℃にし、炭酸水を作る前に冷蔵庫で
十分に冷やした水をお使いください。なお、作った炭酸水はそのまま
冷蔵庫に入れておくと翌日でも美味しく召し上がれます。
ソーダー水、レモンスカッシュ、日本酒ハイボール、ハイボール、チュ
ーハイ、ウイスキーサワーなどお好みの飲料がつくれます。
TYPE : ｿｰﾀﾞｰｻｲﾌｫﾝ （日本炭酸瓦斯製）
※複数機種ございますので、都度ご相談ください。
ｿｰﾀﾞｰｻｲﾌｫﾝ、ｴｽﾌﾟｰﾏ ｽﾊﾟｰｸﾘﾝｸﾞのご用命は
川口液化ケミカル株式会社まで、ご連絡下さい。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月27日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝29℃、昼36℃、夜36℃
です。
大気中のチリや水蒸気は紫外線を吸収してくれています。
標高の高い山の上は大気が薄くなるので、当然、水蒸気や
チリも少ないので皮膚に紫外線を直接受けることになります。
１５００ｍで地表の約２５％、３０００ｍで約４０％の紫外線量に
増えるそうです。
夏山登山には、日焼けクリームを忘れずに！
ｂｙ との
環境関連 2010年07月26日
WEEE（ウィー）とRoHs（ローズ）をご存知でしょうか？
この二つはどちらも欧州連合（EU)の指令で、2003年2月に
公布されました。
WEEE指令は？
「廃電気、電子製品(WEEE)の収集、リサイクル、回収目標を
定め、製造者に義務を課すものです。」
RoHs指令は？
「電子、電気機器における特定有害物質の使用制限について
の指令です。」
（2006年7月施行）
次の6種の物質について指定値を超えて含む電子・電気機器
製品の上市ができません。
・鉛 1,000 ppm
・水銀 1,000 ppm
・ｶﾄﾞﾐｳﾑ 100 ppm
・六価ｸﾛﾑ 1,000 ppm
・ﾎﾟﾘ臭化ﾋﾞﾌｪﾆﾙ 1,000 ppm
・ﾎﾟﾘ臭化ｼﾞﾌｪﾆﾙｴｰﾃﾙ 1,000 ppm
更に RoHs に関連して新たに2万種以上の化学物質の安全性
の評価を義務付ける新化学品規制（通称REACH）が2007年6月
から施行され、中国版RoHs 指令が2007年3月に正式に発効され
てます。
ガス、真空、低温機器の電装部品にはおおいに関係しますの
今後の動向に注意が必要です。
高圧ガス、高圧ガス用調整器、バルブ、流量計、ガス配管工事など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月26日 月曜日
天気 晴れのち雨
ボンベ庫の温度 朝28℃、昼34℃、夜33℃
です。
晴れたり、曇ったり、雨が降ったりと
変わりやすい空模様は、人の感情を象徴します。
喜びや悲しみの感情をコントロールできる。
それが運命を乗りこなすコツ。
ｂｙ との
ガス法規 2010年07月25日
最高気温30℃以上の「真夏日」どころか、35℃以上を記録する
「猛暑日」が連日記録されております。人間も暑くて暑くてどうしよう
もないのですが、高圧ガスも安全上ギリギリの温度です。
高圧ガス保安法の定めを参考までに見てみましょう！
貯蔵の方法の技術上の基準
0.15m3（1.5kg:10kgを1m3とみなす）以上を貯蔵する場合は、ガス
種に関係なく次の規制を受けます。
「容器による貯蔵」
（一般高圧ガス保安規則第十八条第二号）
通風について
・通風の良い場所で（貯蔵を）行なうこと。（可燃性ガス・毒性ガスに限る）
充填容器と残ガス容器の区分（第六条第二項第八号の準用）
・充填容器などは、充填容器と残ガス容器を区分けして容器置場に置くこと。
・可燃性ガス、毒性ガス、酸素容器を区分けして容器置場に置くこと。
・容器置場には、計量器類など作業に必要なもの以外の物を置かないこと。
・容器置場の周囲２ｍ以内においては火気の使用を禁じ、かつ、又は引火性
の物を置かないこと。
・充填容器などは、常に40℃の温度以下に保つこと。低温容器、超低温容器
の場合は容器内のガスの常用の温度のうち最高もの以下に保つこと。
・充填容器など（5L以下を除く）には、転落、転倒等による衝撃及びバルブの
破損を防止する措置を講じ、かつ粗暴な取扱いをしないこと。
・可燃性ガスの容器置場には、携帯電灯以外の燈火を携えないこと。
→ 「充填容器などは、常に40℃の温度以下に保つこと。」 とは？
例えば、直射日光、暖房などによる温度上昇を防ぐために、屋根、障壁、散水装置
を設けるなどの措置を講じることを言います。
それでは一般高圧ガス保安規則関係例示基準から関係条項をみて見ましょう！
「直射日光を遮るための措置」
第六条第一号第四十二号ニ、第八条第一項第五号、第二十三条第一号・第三号
充填容器（断熱材で被覆してあるものを除く）に係る容器置場（可燃性ガス及び
酸素のものに限る）に講ずべき直射日光を遮るための措置は、不燃性又は難燃性
の材料を使用した軽量な屋根を設けることとする。ただし、短期間であれば不燃性
又は難燃性のシートで充填容器などを覆うことにより代用できる。
この時期の直射日光が、車のボンネットに曝されると60～70℃のも達するといわ
れております。また、外気温自体が38℃や39℃になると容器の温度がそれ以上
になることもありえますので、散水などをして温度を下げる措置が適切です。
高圧ガスにかかる設備、容器等の温度管理にご注意ください。
高圧ガス、高圧ガス設備、高圧ガス配管工事など
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日のさいたま市のお天気は？
7月25日 日曜日
天気 晴、ところによって雷雨
気温 31℃（PM6:30）
です。
ゴミを捨てる人は、ゴミを拾わない。
ゴミを拾う人は、ゴミを捨てない。
これ何事も同じ哉。
ｂｙ との
LPG (液化石油ガス) 2010年07月24日
「災害は忘れた頃にやってくる」
豪雨や地震など自然災害が起きた万が一の用意は万端でしょうか？
そのなかでも欠かせないのが 電気 です。
日頃、何の不自由なく使えているので、無くなった想像すら難しいのでは
ないかと思います。
そこでお奨めしたのが！
カセットガスで発電する発電機 「パワー発電機 エネポ」 です。
今までにもいくつかのポータブル発電機はありましたが、この商品の特徴は
先ずその手軽さです。移動式の旅行バックのような折りたたみハンドルとキャ
スターが付いていますので女性でも簡単に移動できます。
更には、発電機の燃料ですがカセットガス２本で電気が起こせますので
灯油やガソリン、プロパンボンベほど煩わしくありません。
（※家庭用カセットコンロのボンベと併用できませんのでご注意ください）
起動方法は、エンジンスイッチを運転に合わせてグリップコイルを引っぱると
エンジンが始動し発電スタートできます。集会所などで電気容量が心配な
場合には複数台を接続して運転もできます。
カセットガス式発電機
エネポ仕様
・連続運転可能時間 ： 2.2～1.1時間
・定格出力 ： 100 ～ 900 VA
・騒音 ： 78 ～ 84 dB
・寸法 ： 365 x 262 x 524 (ﾊﾝﾄﾞﾙ操作時 365 x 442 x 944)
・全装備重量 ： 20.4ｋｇ
・使用燃料 ： LPGｶｾｯﾄｺﾝﾛ
希望小売価格 110,000円 （税込価格）
カセットボンベ発電機 エネポ のご用命ご相談のことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、ご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
7月24日 土曜日
天気 晴れ
気温 ３６℃
です。
ここ最近の猛暑と熱帯夜で、クーラーでそのまま寝ている方が多いそうです。
クーラーは室内が乾燥しますので喉が荒れやすいので、枕元に塗れたタオル
などを置いておくとよいようです。
by mitono
宮本武蔵はなぜ、最強たりえたのか？
彼の転機がいつだったかと言えば、それはまさしく、
姫路城の”開かずの間”に閉じ込められていた数年間にある。
牢屋ならば、誰かと言葉を交わすこともできたかもしれないが、
彼が閉じ込められていたのは、開かずの間。。。
そこでは、人との接触という接触は一切なかった。
しかし、彼はその間…ある特定の人物と会話していたのだ。
…いや正確には、特定の人物、というより
“本当の自分”
“神なる自分”
と、言う方が正確だろうか。
人生は、この〝真我（神我）との対話〟〝真我（神我）との問答〟
をどれだけ重ねたか…で決まるといっても過言ではない。
孤独にならずして、沈黙を保てずして、〝真我（神我）との対話〟
は実現しえない。
宮本武蔵はこの〝真我（神我）との対話〟によって、
「自己の心の何たるか」すなわち、「心の掌握の仕方」を知ったのだ。
これができれば、受験勉強も恋愛も仕事も何もかもが上手くいく。
孤独が許されている時間というのは、本当に限られている。
だからこそ君たちには、宮本武蔵が命懸けで求め続けた
そのイキザマを、ぜひともウツしてほしいものです。
（学習塾 ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟより）
ｂｙ との
特殊ガス 2010年07月23日
フライデーナイトを飾る SGﾏｲｽﾀｰ さんの特殊ガス劇場第30幕です。
だんだんと核心に迫る内容となってきております。
先生に振り切られないようついていきましょう！
では、お願い致します。
（30話）高純度ガスは本当に高純度なのか？ ‘10.7.23
こんばんは
なんだか本日のテーマは特殊ガスの根幹を揺るがしかねないテーマかも
知れません・・・そんなつもりはありませんのでゆる～く読んで下さいm(_ _)m
今日のお話は”純度”ってどのように決めるのか？というお話なんです。
「それにしては過激なタイトルでは？」と思われる方もいるかと思います
が、まぁ取りあえず書き進めさせて頂きます。。
さて、皆さんも恐らくご存じの”純度”という言葉ですが、12話で
“100%にどれくらい近いか？”ってな意味ですとお話しました。
これが一番イメージし易い”純度”の説明なんですが、詳しく述べてい
くとドンピシャに正しい説明ではないんですよね。
世の中に”高純度ガス”ってのがあります。”高純度”って名の通り
100%にどれだけ近いのか？という”純度”という指標で”商品価値”
が決まってきます。普通に考えたら決まるはずなんですが、やっかい
なことにガスの”純度”には表現方法がいくつかあります。従ってその
“表現方法”まで比較しないと正しく”商品価値”が比べられません。
これが原因で”ユーザーが誤解する”ことがしばしばおきています。
困ったものですが、これを統一することも難しく、現在のところ”正し
く比較出来るようにユーザー側が賢くなる”しかありません。
以下の例ではどちらが“高純度”なのでしょう？
①純度99.9% Ar 不純物規格 O2 <0.05%、 N2 <0.04%、 CO2 <0.01%
②純度99.9% Ar 不純物規格 O2 <0.1%
"純度"という標記は同じ99.9%のアルゴンが二つ。
「どちらが高純度？」かと言うと・・・・・答は後ほど。。
純度の標記方法で最も一般的なものは［１００%－不純物］という方法
です。殆どの"ガスの純度"という表現は、不純物規格の合計を１００％
から引き算して９９．９９％などという表現をしていますよね。
よく知られていることですよね。
ここで少々疑問がわきませんか？
疑問に思っていることはありませんか？
①対象"不純物"は誰がどうやって決めるの？
②その不純物規格ってどうやって決めるの？
③"１００－不純物計"が純度（99.999%等の標記）と一致しない場合が
あるのはなぜ？
などなど．．．
このへんの疑問の少しお答えしましょう。
①不純物は誰がどうやって決めるのか？
決まり事って殆どありません。”殆ど”と表現したのは、公的に不純物
成分としての規格が定められている場合があるためですが、極一部に適用
される程度です。とは言え、決まり事とまで言い難いのですが、不純物の
決め方には一定の”考え方”が存在します。
１）そのガスの製造過程で混入または残存しえる成分
２）精製、移動、充填など、最終製品になるまでに入りえる成分
３）品質管理として不純物を規格分析可能な成分
概ねこの三つです。
つまり、各社の示す”ガスの純度”はこれら考え方に従いつつ・・・結局
各社の好きなように定められているという要素があるんです。。。。
なんだか書き進めてみたら自分が思っていたより難しいことにふれてしまったようです。今日はここで一区切りさせて下さい。
To be continued ……
by SGﾏｲｽﾀｰ
「高純度ガス」のことなら
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月23日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝31℃、昼37℃、夜36℃
です。
朝顔は、朝咲く花です。
ですが、これからは咲く時間がどんどん早くなり
八月には夜明け、九月には夜明け前に咲きます。
これは、日没後十時間経つと咲くためで
日没がこれから早まるので咲く時間も早くなるんだそうです。
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年07月22日
Q.エッチングとは？
A.レジストなどで作られたパターンを保護マスクにして、その下にある Si2 や Si3N4
ポリシリコン、配線金属などに同じパターンを蝕刻する技術です。
このうちガスを化学反応させてエッチングする方法がドライエッチング(Dry Etching)
で、真空中に反応ガスを入れて高周波電源をを加えると放電が生じて電離状態のプラ
ズマができます。そこで、電界で加速された電子との衝突によりガスが解離して、イオン
やラジカル原子や分子が生成されます。試料がプラズマ中に置かれる場合がプラズマ
エッチングで、試料とプラズマ領域が分離されている場合はドライケミカルエッチングと
言います。
以下に主なエッチング物質とエッチングガスを列記します。
ｴｯﾁﾝｸﾞ物質 ： ｴｯﾁﾝｸﾞｶﾞｽ
Si ： CF4,SF6,NF3,SiF4,BF3,XeF2,ClF3,SiCl4,PCl3,BCl3,Cl2,HCl,HBr,Br2,HI,I2
SiO ： CHF3,CF4+H2,C2F6,C3F8,c-C4F8
Al ： BCl3,SiCl4,Br2,BBr3,HBr
Si3N4 ： CF4,SiF4,NF3,C2F6,CHF3,c-C4F8
ﾚｼﾞｽﾄ ： O2,CF4+O2
Mo ： CF4
MoSi2 ： SF6+O2
W ： CF4,SF6+O2,SF6+Cl2+O2
Ti ： CF4,O2,SF6+O2,Cl2+He
Ta ： CF4,O2,SF6+O2
Cr ： Cl2
a-Si ： CF4+O2,Cl2+SF6
SnO2 ： CH3OH,C2H5OH,Cl2+O2
GaAs ： CF4,BCl3+Cl2
エッチングガスやエッチングガス用供給設備（配管工事含む）のことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、ご連絡ください。
TEL ０５０－８８８１－７３９３
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月22日 木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝32℃、昼37℃、夜36℃
です。
井の中の蛙、
大海を知らず。
されど、空の青さを知る。
一見、狭い世界でも、
深めた先にあるのは
果てしない宇宙。
ｂｙ との
