SiH4 (モノシラン)
- 2012年10月30日
- 1991年大阪大学ﾓﾉｼﾗﾝｶﾞｽ爆発事故
- 2011年01月16日
- ｴﾋﾟ・CVDなどｼﾘｺﾝ系排ｶﾞｽ処理
- 2010年03月25日
- 容器バルブの袋ナット増締め中のモノシランガス火災
- 2010年03月23日
- プラズマＣＶＤ装置の排気配管爆発
- 2010年03月21日
- モノシランガス容器交換中の爆発事故
- 2010年03月19日
- モノシランガス消費設備の定修火災
- 2010年03月16日
- 大学で実験中のモノシランガス爆発
- 2006年08月29日
- シランの燃焼