特殊ガス

一般高圧ガスに比べ純度を高めた高純度ガス、半導体産業に使用される特殊材料ガス、特殊な環境、新たな取組み使用される反応性の高い毒性ガス、腐食性ガス、自燃性ガス、安定性の高い標準ガス、等まだまだ用途は広がります。

取扱い特殊ガス品目
高純度酸素ガス	O2	純度　99.9～99.99995%up
高純度窒素ガス	N2	純度　99.9995%～99.99995%up
高純度アルゴンガス	Ar	純度　99.999～99.9999%up
高純度空気	Air	大気組成　CO,CO２,THC＜1～0.1vol.ppm
高純度水素ガス	H2	純度　99.999～99.99999%up
高純度ヘリウムガス	He	純度　99.999～99.99995%up
高純度炭酸ガス	CO2	純度　99.995%up
高純度一酸化炭素ガス	CO	純度　99.95～99.995%up
高純度メタンガス	CH4	純度　99.9～99.999%up
高純度ネオンガス	Ne	純度　99.999%up
高純度クリプトンガス	Kr	純度　99.999%up
高純度キセノンガス	Xe	純度　99.999%up
高純度一酸化窒素ガス	NO	純度　99%up
高純度硫化水素ガス	H2S	純度　99.99%up
重水素ガス	D2	純度　99.6%up
高純度エチレンガス	C2H4	純度　99.9%up
高純度エタンガス	C2H6	純度　99.7%up
高純度トリメチルシランガス	SiH(CH3)3	純度　99.99%up
高純度四フッ化ケイ素ガス	SiF4	純度　99.9995up
高純度六フッカタングステンガス	WF6	純度　99.999%up
高純度四塩化チタンガス	TiCl4	純度　99.99999%up
高純度アンモニアガス	NH3	純度　99.999%up
高純度亜酸化窒素ガス	N2O	純度　99.99～99.999%up
高純度三フッ化窒素ガス	NF3	純度　99.9～99.99%up
高純度フロン116ガス	C2F6	純度　99.995%up
高純度ヘキサフルオロプロピレンガス	C3F6	純度　99.5%up
高純度フロン218ガス	C3F8	純度　99.9%up
高純度ヘキサフルオロ1,3ブタジエンガス	C4F6	純度　99.9%up
高純度フロンC318ガス	C4F8	純度　99.99%up
高純度オクタフルオロシクロペンテンZFL58	C5F8	純度　99.99%up
高純度フロン14ガス	CF4	純度　99.99～99.999%up
高純度フロン23ガス	CHF3	純度　99.995%up
高純度ペンタフルオロエタンガス	C2HF5	純度　99.6%up
高純度フロン32ガス	CH2F2	純度　99.99%up
高純度フロン41ガス	CH3F	純度　99.9%up
高純度三フッ化塩素ガス	ClF3	純度　99.9%up
高純度六フッ化硫黄ガス	SF6	純度　99.999%up
高純度塩素ガス	Cl2	純度　99.999%up
高純度三塩化ホウ素ガス	BCl3	純度　99.9999%up
高純度臭化水素ガス	HBr	純度　99.999%up
高純度塩化水素ガス	HCl	純度　99.999%up
高純度三フッ化ホウ素ガス	BF3	純度　99.8～99.99%up
高純度三フッ化リンガス	PF3	純度　99%up
高純度ヨウ化水素ガス	HI	純度　99.999%up
高純度フッ化水素ガス	HF	純度　99.9%up