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特殊ガス

一般高圧ガスに比べ純度を高めた高純度ガス、半導体産業に使用される特殊材料ガス、特殊な環境、新たな取組み使用される反応性の高い毒性ガス、腐食性ガス、自燃性ガス、安定性の高い標準ガス、等まだまだ用途は広がります。

取扱い特殊ガス品目
高純度酸素ガスO2純度 99.9~99.99995%up
高純度窒素ガスN2純度 99.9995%~99.99995%up
高純度アルゴンガスAr純度 99.999~99.9999%up
高純度空気Air大気組成 CO,CO2,THC<1~0.1vol.ppm
高純度水素ガスH2純度 99.999~99.99999%up
高純度ヘリウムガスHe純度 99.999~99.99995%up
高純度炭酸ガスCO2純度 99.995%up
高純度一酸化炭素ガスCO純度 99.95~99.995%up
高純度メタンガスCH4純度 99.9~99.999%up
高純度ネオンガスNe純度 99.999%up
高純度クリプトンガスKr純度 99.999%up
高純度キセノンガスXe純度 99.999%up
高純度一酸化窒素ガスNO純度 99%up
高純度硫化水素ガスH2S純度 99.99%up
重水素ガスD2純度 99.6%up
高純度エチレンガスC2H4純度 99.9%up
高純度エタンガスC2H6純度 99.7%up
高純度トリメチルシランガスSiH(CH3)3純度 99.99%up
高純度四フッ化ケイ素ガスSiF4純度 99.9995up
高純度六フッカタングステンガスWF6純度 99.999%up
高純度四塩化チタンガスTiCl4純度 99.99999%up
高純度アンモニアガスNH3純度 99.999%up
高純度亜酸化窒素ガスN2O純度 99.99~99.999%up
高純度三フッ化窒素ガスNF3純度 99.9~99.99%up
高純度フロン116ガスC2F6純度 99.995%up
高純度ヘキサフルオロプロピレンガスC3F6純度 99.5%up
高純度フロン218ガスC3F8純度 99.9%up
高純度ヘキサフルオロ1,3ブタジエンガスC4F6純度 99.9%up
高純度フロンC318ガスC4F8純度 99.99%up
高純度オクタフルオロシクロペンテンZFL58C5F8純度 99.99%up
高純度フロン14ガスCF4純度 99.99~99.999%up
高純度フロン23ガスCHF3純度 99.995%up
高純度ペンタフルオロエタンガスC2HF5純度 99.6%up
高純度フロン32ガスCH2F2純度 99.99%up
高純度フロン41ガスCH3F純度 99.9%up
高純度三フッ化塩素ガスClF3純度 99.9%up
高純度六フッ化硫黄ガスSF6純度 99.999%up
高純度塩素ガスCl2純度 99.999%up
高純度三塩化ホウ素ガスBCl3純度 99.9999%up
高純度臭化水素ガスHBr純度 99.999%up
高純度塩化水素ガスHCl純度 99.999%up
高純度三フッ化ホウ素ガスBF3純度 99.8~99.99%up
高純度三フッ化リンガスPF3純度 99%up
高純度ヨウ化水素ガスHI純度 99.999%up
高純度フッ化水素ガスHF純度 99.9%up

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