ガスの知恵袋 2010年07月29日
薄膜の製法に用いる主なCVD薄膜と原料ガスを見てみましょう。
一般的には P-CVD により膜の組成は
ガスの流量・生成圧力・基板温度RFパワーなどに依存します。
薄膜 SiO2 原料ガス ：SiH4,SiHCl3,SiH2Cl2,SiH3Cl,SiCl4,SiBr4,SiI4,SiF4,
Si(OC2H5)2 + O2,NO,NO2,N2O,CO,CO2+H2,H2O
絶縁膜
薄膜 PSG 原料ガス ：SiO2の原料 + PH3
BSG 原料ガス ：SiO2の原料 + B2H6
ASG 原料ガス ：SiO2の原料 + AsH3
BPGS 原料ガス ：PSGとBSGの原料,PO(OCH3)3
GSG 原料ガス ：SiO2の原料+GeH4
Si3H4 原料ガス ：SiH4,SiHCl3,SiH2Cl2,SiH3Cl,SiCl4,SiBr4 + NH3,N2H4,N2,H2
SiOxNy 原料ガス ：SiO2の原料 + SiN2H3の原料
Al2O3 原料ガス ：AlCl3,Al(CH3)3,Al(C2H5)3,Al(OC3H7)3 + CO2+H2,O2,H2O
TiO2 原料ガス ：TaCl4 + CO2+H2O,N2O+H2
Ti〔(CH3)2CH-CH2-O〕4
Ta2o5 原料ガス ：TaCl5 + CO2+H2,N2O+H2
TaCl2(OC2H5)2C2H7O2
Ta(OC2H5)5
半導体膜
薄膜 Si 原料ガス ：SiH4,SiHCl3,SiH2Cl2,SiCl4 + Ar,H2
Ge 原料ガス ：GeH4 + Ar,H2
金属膜
薄膜 Al 原料ガス ：AlCl3,Al((CH3)3,Al(C2H)3 + H2
W 原料ガス ：WF6,WCl6,W(CO6) + H2,Ar
Mo 原料ガス ：MoF6,MoCl5,Mo(CO)6 + H2,Ar
Fe 原料ガス ：Fe(CO)5 + H2
Cr 原料ガス ：Cr(CO)6 + H2
Pt 原料ガス ：Pt(CO2)Cl2 + H2
MoSi2 原料ガス ：MoF6,MoCl5 + SiH4+H2
WSi2 原料ガス ：WF6,WCl6 + SiH4+H2
TaSi2 原料ガス ：TaCl5 + SiH4+H2
TiSi2 原料ガス ：TiCl4 + SiH4+H2
実際には、さらに多種多様な原料ガスの組み合わせがありますが、更に多くの
新たな原料が登場しております。
CVD装置用原料ガスや金属錯体、薬液など特殊ガス、特殊ガス機器、特殊ガス配管工事
のことなら川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月29日 木曜日
天気 あめ
ボンベ庫の温度 朝28℃、昼27℃、夜26℃
です。
夏日が続いていたので、体に優しく感じる一日でしたね。
雨の潤いと、ときおり強く吹く風の涼しさが心地よかったです。
ｂｙ との
排ガス処理 2010年07月28日
連載ブログ「排ガス処理」「精製ガス」の第十回目になります。
今回は「排ガス処理」の第六話になりますね。
それでは藤村Ｆさん、お願い致します！
■除害装置を導入する時に必要な情報
今回は除害装置を購入する際に、除害装置メーカーに提示する必要
のある項目を勉強しましょう！
まずは、皆様が購入しようとしている製造装置のメーカーが標準として
いるガス仕様を確認して下さい。
一例を示しておきます。
・Ａガス ３００ＳＣＣＭ
・Ｂガス ５００ＳＣＣＭ
・Ｃガス ２００ＳＣＣＭ
・窒素ガス ８００ＳＣＣＭ（プロセス用）
・窒素ガス ２０，０００ＳＣＣＭ（ポンプ保護用）
通常、使用流量はマスフローコントローラー（ＭＦＣ）の最大流量を教えて
くれると思います。
※ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰの解説はこちら ⇒ http://www.klchem.co.jp/mfc/ まで。
そして思わぬ落とし穴が『窒素ガス（ポンプ保護用）』です。
この窒素ガスも除害装置に導入されるので、忘れずに提示してあげましょう！
これらのガスは本来であれば、製造装置内で仕事をして製品になるのですが、
全量のガスが製品になる訳ではありません。
では、どれ位が製品になるのでしょうか？
ご存知ですか？
様々な種類の製造装置があるので、一概には言い難いですが、数％～５０％
が製品になるそうです。意外と効率が悪い物ですね？だから、除害装置が売れ
る訳なのです。
話が逸れましたが、製品にならなかった残ガスを処理するのを目的として除害
装置が必要になっています。しかし、先程若干触れましたが、製造装置内での
効率は処理装置のメーカーでは正直判りません。同じ製造装置の型式であっても、作る製品によって効率が変わる物なのです。
よって、除害装置メーカーは製造装置に導入するガスが全く製品に変化せずに
排出された状態で機種選定して来るはずです。
これで当初計画している予算に納まれば良いのですが、納まらない時はどうす
れば良いのでしょうか？
次は、ＭＦＣの最大流量ではなくて、実使用流量を提示しましょう！
そうすると大抵の場合、最大流量の２／３以下程度になり、それに伴って除害
装置も小さい型式が選定して来るはずです。それでも、予算に納まらない場合は、複数の除害装置メーカーから見積を取ってみたり、意中のメーカーに値引
交渉するしかないですね！
でも、あまりメーカーさんを困らせない程度にしましょうね！
今日はここまで！
次回は第１話に関連しますが地球温暖化対策の法律(その１)を紹介します。
お楽しみに！！（＾Ｏ＾）／=
by 藤村Ｆ
除害装置のことなら川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談下さい。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
7月27日 水曜日
天気 はれ
ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度 昼37℃、夜35℃
です。
高校野球埼玉大会決勝戦が県営大宮球場で行われ
本庄第一高校が３－２で優勝しました！
常笑野球で、ピッチャーもピンチでも笑顔を絶やさず
ノーシードから接戦を勝ち抜きました。
甲子園でも活躍を期待してます。
ｂｙ との
CO2 (二酸化炭素) 2010年07月27日
TYPE : ｴｽﾌﾟｰﾏ ｽﾊﾟｰｸﾘﾝｸﾞ （日本炭酸瓦斯製）
炭酸入りドリンクが手軽に、しかも素早くできます。
ジュース類から焼酎、ウイスキーまで、ひと吹きするだけでさわやかな
おいしさに大変身します。ご家庭でのドリンクメニューがとっても豊富
になります。
美味しい炭酸水の作り方
美味しい炭酸水をつくるには、水が冷たいことと、よく混ぜることが
ポイントです。理想的には水温を4℃にし、炭酸水を作る前に冷蔵庫で
十分に冷やした水をお使いください。なお、作った炭酸水はそのまま
冷蔵庫に入れておくと翌日でも美味しく召し上がれます。
ソーダー水、レモンスカッシュ、日本酒ハイボール、ハイボール、チュ
ーハイ、ウイスキーサワーなどお好みの飲料がつくれます。
TYPE : ｿｰﾀﾞｰｻｲﾌｫﾝ （日本炭酸瓦斯製）
※複数機種ございますので、都度ご相談ください。
ｿｰﾀﾞｰｻｲﾌｫﾝ、ｴｽﾌﾟｰﾏ ｽﾊﾟｰｸﾘﾝｸﾞのご用命は
川口液化ケミカル株式会社まで、ご連絡下さい。
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ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月27日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝29℃、昼36℃、夜36℃
です。
大気中のチリや水蒸気は紫外線を吸収してくれています。
標高の高い山の上は大気が薄くなるので、当然、水蒸気や
チリも少ないので皮膚に紫外線を直接受けることになります。
１５００ｍで地表の約２５％、３０００ｍで約４０％の紫外線量に
増えるそうです。
夏山登山には、日焼けクリームを忘れずに！
ｂｙ との
環境関連 2010年07月26日
WEEE（ウィー）とRoHs（ローズ）をご存知でしょうか？
この二つはどちらも欧州連合（EU)の指令で、2003年2月に
公布されました。
WEEE指令は？
「廃電気、電子製品(WEEE)の収集、リサイクル、回収目標を
定め、製造者に義務を課すものです。」
RoHs指令は？
「電子、電気機器における特定有害物質の使用制限について
の指令です。」
（2006年7月施行）
次の6種の物質について指定値を超えて含む電子・電気機器
製品の上市ができません。
・鉛 1,000 ppm
・水銀 1,000 ppm
・ｶﾄﾞﾐｳﾑ 100 ppm
・六価ｸﾛﾑ 1,000 ppm
・ﾎﾟﾘ臭化ﾋﾞﾌｪﾆﾙ 1,000 ppm
・ﾎﾟﾘ臭化ｼﾞﾌｪﾆﾙｴｰﾃﾙ 1,000 ppm
更に RoHs に関連して新たに2万種以上の化学物質の安全性
の評価を義務付ける新化学品規制（通称REACH）が2007年6月
から施行され、中国版RoHs 指令が2007年3月に正式に発効され
てます。
ガス、真空、低温機器の電装部品にはおおいに関係しますの
今後の動向に注意が必要です。
高圧ガス、高圧ガス用調整器、バルブ、流量計、ガス配管工事など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月26日 月曜日
天気 晴れのち雨
ボンベ庫の温度 朝28℃、昼34℃、夜33℃
です。
晴れたり、曇ったり、雨が降ったりと
変わりやすい空模様は、人の感情を象徴します。
喜びや悲しみの感情をコントロールできる。
それが運命を乗りこなすコツ。
ｂｙ との
ガス法規 2010年07月25日
最高気温30℃以上の「真夏日」どころか、35℃以上を記録する
「猛暑日」が連日記録されております。人間も暑くて暑くてどうしよう
もないのですが、高圧ガスも安全上ギリギリの温度です。
高圧ガス保安法の定めを参考までに見てみましょう！
貯蔵の方法の技術上の基準
0.15m3（1.5kg:10kgを1m3とみなす）以上を貯蔵する場合は、ガス
種に関係なく次の規制を受けます。
「容器による貯蔵」
（一般高圧ガス保安規則第十八条第二号）
通風について
・通風の良い場所で（貯蔵を）行なうこと。（可燃性ガス・毒性ガスに限る）
充填容器と残ガス容器の区分（第六条第二項第八号の準用）
・充填容器などは、充填容器と残ガス容器を区分けして容器置場に置くこと。
・可燃性ガス、毒性ガス、酸素容器を区分けして容器置場に置くこと。
・容器置場には、計量器類など作業に必要なもの以外の物を置かないこと。
・容器置場の周囲２ｍ以内においては火気の使用を禁じ、かつ、又は引火性
の物を置かないこと。
・充填容器などは、常に40℃の温度以下に保つこと。低温容器、超低温容器
の場合は容器内のガスの常用の温度のうち最高もの以下に保つこと。
・充填容器など（5L以下を除く）には、転落、転倒等による衝撃及びバルブの
破損を防止する措置を講じ、かつ粗暴な取扱いをしないこと。
・可燃性ガスの容器置場には、携帯電灯以外の燈火を携えないこと。
→ 「充填容器などは、常に40℃の温度以下に保つこと。」 とは？
例えば、直射日光、暖房などによる温度上昇を防ぐために、屋根、障壁、散水装置
を設けるなどの措置を講じることを言います。
それでは一般高圧ガス保安規則関係例示基準から関係条項をみて見ましょう！
「直射日光を遮るための措置」
第六条第一号第四十二号ニ、第八条第一項第五号、第二十三条第一号・第三号
充填容器（断熱材で被覆してあるものを除く）に係る容器置場（可燃性ガス及び
酸素のものに限る）に講ずべき直射日光を遮るための措置は、不燃性又は難燃性
の材料を使用した軽量な屋根を設けることとする。ただし、短期間であれば不燃性
又は難燃性のシートで充填容器などを覆うことにより代用できる。
この時期の直射日光が、車のボンネットに曝されると60～70℃のも達するといわ
れております。また、外気温自体が38℃や39℃になると容器の温度がそれ以上
になることもありえますので、散水などをして温度を下げる措置が適切です。
高圧ガスにかかる設備、容器等の温度管理にご注意ください。
高圧ガス、高圧ガス設備、高圧ガス配管工事など
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL ０５０－８８８１－７３９３
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今日のさいたま市のお天気は？
7月25日 日曜日
天気 晴、ところによって雷雨
気温 31℃（PM6:30）
です。
ゴミを捨てる人は、ゴミを拾わない。
ゴミを拾う人は、ゴミを捨てない。
これ何事も同じ哉。
ｂｙ との
LPG (液化石油ガス) 2010年07月24日
「災害は忘れた頃にやってくる」
豪雨や地震など自然災害が起きた万が一の用意は万端でしょうか？
そのなかでも欠かせないのが 電気 です。
日頃、何の不自由なく使えているので、無くなった想像すら難しいのでは
ないかと思います。
そこでお奨めしたのが！
カセットガスで発電する発電機 「パワー発電機 エネポ」 です。
今までにもいくつかのポータブル発電機はありましたが、この商品の特徴は
先ずその手軽さです。移動式の旅行バックのような折りたたみハンドルとキャ
スターが付いていますので女性でも簡単に移動できます。
更には、発電機の燃料ですがカセットガス２本で電気が起こせますので
灯油やガソリン、プロパンボンベほど煩わしくありません。
（※家庭用カセットコンロのボンベと併用できませんのでご注意ください）
起動方法は、エンジンスイッチを運転に合わせてグリップコイルを引っぱると
エンジンが始動し発電スタートできます。集会所などで電気容量が心配な
場合には複数台を接続して運転もできます。
カセットガス式発電機
エネポ仕様
・連続運転可能時間 ： 2.2～1.1時間
・定格出力 ： 100 ～ 900 VA
・騒音 ： 78 ～ 84 dB
・寸法 ： 365 x 262 x 524 (ﾊﾝﾄﾞﾙ操作時 365 x 442 x 944)
・全装備重量 ： 20.4ｋｇ
・使用燃料 ： LPGｶｾｯﾄｺﾝﾛ
希望小売価格 110,000円 （税込価格）
カセットボンベ発電機 エネポ のご用命ご相談のことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、ご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
7月24日 土曜日
天気 晴れ
気温 ３６℃
です。
ここ最近の猛暑と熱帯夜で、クーラーでそのまま寝ている方が多いそうです。
クーラーは室内が乾燥しますので喉が荒れやすいので、枕元に塗れたタオル
などを置いておくとよいようです。
by mitono
宮本武蔵はなぜ、最強たりえたのか？
彼の転機がいつだったかと言えば、それはまさしく、
姫路城の”開かずの間”に閉じ込められていた数年間にある。
牢屋ならば、誰かと言葉を交わすこともできたかもしれないが、
彼が閉じ込められていたのは、開かずの間。。。
そこでは、人との接触という接触は一切なかった。
しかし、彼はその間…ある特定の人物と会話していたのだ。
…いや正確には、特定の人物、というより
“本当の自分”
“神なる自分”
と、言う方が正確だろうか。
人生は、この〝真我（神我）との対話〟〝真我（神我）との問答〟
をどれだけ重ねたか…で決まるといっても過言ではない。
孤独にならずして、沈黙を保てずして、〝真我（神我）との対話〟
は実現しえない。
宮本武蔵はこの〝真我（神我）との対話〟によって、
「自己の心の何たるか」すなわち、「心の掌握の仕方」を知ったのだ。
これができれば、受験勉強も恋愛も仕事も何もかもが上手くいく。
孤独が許されている時間というのは、本当に限られている。
だからこそ君たちには、宮本武蔵が命懸けで求め続けた
そのイキザマを、ぜひともウツしてほしいものです。
（学習塾 ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟより）
ｂｙ との
特殊ガス 2010年07月23日
フライデーナイトを飾る SGﾏｲｽﾀｰ さんの特殊ガス劇場第30幕です。
だんだんと核心に迫る内容となってきております。
先生に振り切られないようついていきましょう！
では、お願い致します。
（30話）高純度ガスは本当に高純度なのか？ ‘10.7.23
こんばんは
なんだか本日のテーマは特殊ガスの根幹を揺るがしかねないテーマかも
知れません・・・そんなつもりはありませんのでゆる～く読んで下さいm(_ _)m
今日のお話は”純度”ってどのように決めるのか？というお話なんです。
「それにしては過激なタイトルでは？」と思われる方もいるかと思います
が、まぁ取りあえず書き進めさせて頂きます。。
さて、皆さんも恐らくご存じの”純度”という言葉ですが、12話で
“100%にどれくらい近いか？”ってな意味ですとお話しました。
これが一番イメージし易い”純度”の説明なんですが、詳しく述べてい
くとドンピシャに正しい説明ではないんですよね。
世の中に”高純度ガス”ってのがあります。”高純度”って名の通り
100%にどれだけ近いのか？という”純度”という指標で”商品価値”
が決まってきます。普通に考えたら決まるはずなんですが、やっかい
なことにガスの”純度”には表現方法がいくつかあります。従ってその
“表現方法”まで比較しないと正しく”商品価値”が比べられません。
これが原因で”ユーザーが誤解する”ことがしばしばおきています。
困ったものですが、これを統一することも難しく、現在のところ”正し
く比較出来るようにユーザー側が賢くなる”しかありません。
以下の例ではどちらが“高純度”なのでしょう？
①純度99.9% Ar 不純物規格 O2 <0.05%、 N2 <0.04%、 CO2 <0.01%
②純度99.9% Ar 不純物規格 O2 <0.1%
"純度"という標記は同じ99.9%のアルゴンが二つ。
「どちらが高純度？」かと言うと・・・・・答は後ほど。。
純度の標記方法で最も一般的なものは［１００%－不純物］という方法
です。殆どの"ガスの純度"という表現は、不純物規格の合計を１００％
から引き算して９９．９９％などという表現をしていますよね。
よく知られていることですよね。
ここで少々疑問がわきませんか？
疑問に思っていることはありませんか？
①対象"不純物"は誰がどうやって決めるの？
②その不純物規格ってどうやって決めるの？
③"１００－不純物計"が純度（99.999%等の標記）と一致しない場合が
あるのはなぜ？
などなど．．．
このへんの疑問の少しお答えしましょう。
①不純物は誰がどうやって決めるのか？
決まり事って殆どありません。”殆ど”と表現したのは、公的に不純物
成分としての規格が定められている場合があるためですが、極一部に適用
される程度です。とは言え、決まり事とまで言い難いのですが、不純物の
決め方には一定の”考え方”が存在します。
１）そのガスの製造過程で混入または残存しえる成分
２）精製、移動、充填など、最終製品になるまでに入りえる成分
３）品質管理として不純物を規格分析可能な成分
概ねこの三つです。
つまり、各社の示す”ガスの純度”はこれら考え方に従いつつ・・・結局
各社の好きなように定められているという要素があるんです。。。。
なんだか書き進めてみたら自分が思っていたより難しいことにふれてしまったようです。今日はここで一区切りさせて下さい。
To be continued ……
by SGﾏｲｽﾀｰ
「高純度ガス」のことなら
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ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月23日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝31℃、昼37℃、夜36℃
です。
朝顔は、朝咲く花です。
ですが、これからは咲く時間がどんどん早くなり
八月には夜明け、九月には夜明け前に咲きます。
これは、日没後十時間経つと咲くためで
日没がこれから早まるので咲く時間も早くなるんだそうです。
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年07月22日
Q.エッチングとは？
A.レジストなどで作られたパターンを保護マスクにして、その下にある Si2 や Si3N4
ポリシリコン、配線金属などに同じパターンを蝕刻する技術です。
このうちガスを化学反応させてエッチングする方法がドライエッチング(Dry Etching)
で、真空中に反応ガスを入れて高周波電源をを加えると放電が生じて電離状態のプラ
ズマができます。そこで、電界で加速された電子との衝突によりガスが解離して、イオン
やラジカル原子や分子が生成されます。試料がプラズマ中に置かれる場合がプラズマ
エッチングで、試料とプラズマ領域が分離されている場合はドライケミカルエッチングと
言います。
以下に主なエッチング物質とエッチングガスを列記します。
ｴｯﾁﾝｸﾞ物質 ： ｴｯﾁﾝｸﾞｶﾞｽ
Si ： CF4,SF6,NF3,SiF4,BF3,XeF2,ClF3,SiCl4,PCl3,BCl3,Cl2,HCl,HBr,Br2,HI,I2
SiO ： CHF3,CF4+H2,C2F6,C3F8,c-C4F8
Al ： BCl3,SiCl4,Br2,BBr3,HBr
Si3N4 ： CF4,SiF4,NF3,C2F6,CHF3,c-C4F8
ﾚｼﾞｽﾄ ： O2,CF4+O2
Mo ： CF4
MoSi2 ： SF6+O2
W ： CF4,SF6+O2,SF6+Cl2+O2
Ti ： CF4,O2,SF6+O2,Cl2+He
Ta ： CF4,O2,SF6+O2
Cr ： Cl2
a-Si ： CF4+O2,Cl2+SF6
SnO2 ： CH3OH,C2H5OH,Cl2+O2
GaAs ： CF4,BCl3+Cl2
エッチングガスやエッチングガス用供給設備（配管工事含む）のことなら
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月22日 木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝32℃、昼37℃、夜36℃
です。
井の中の蛙、
大海を知らず。
されど、空の青さを知る。
一見、狭い世界でも、
深めた先にあるのは
果てしない宇宙。
ｂｙ との
精製ガス 2010年07月21日
「排ガス処理」と「精製ガス」のブログ九回目になります。
本日は藤村Ｍ先生に「精製ガス」第四話の
お話をしていただきましょう！
では、よろしくお願い致します。
ガス精製の方法２ 冷やして捕まえる！
皆さん、こんにちは！
梅雨が明け、連日の猛暑日。体調を崩されてませんか？
・クーラーの利いた部屋で
・冷たいものばかり摂ってませんか？
「との」さんのご指摘にドキッとした藤村Ｍです。だっ
て冷たいものが飲みたくなるんだもん、などと子供のよ
うな言い訳を…
その冷たい飲み物、この時期の代表格はビールでしょ
うか。ＣＭやポスターなどで良く見かけますよね、水滴
のびっしりついたビールジョッキ。「シズル感」と言う
そうですが、「冷たそうな感じ」「グッと飲みたくなる
ような感じ」がうまく表現されています。凡百の言葉を
並べるより、シズル感溢れる１枚の写真。これで視覚と
食欲に訴えることができるのだそうです。
さて「水滴のびっしりついたビールジョッキ」。これ
が今回お話する精製の原理になります。
*******************************************************
前回は、パラジウム合金による「ふるい」式の水素精
製について触れました。コストパフォーマンスに難があ
るため広く使われることはないけれど、ここぞ( 超々高
純度水素が必要 )！という場面では切り札になります、
というお話でした。
しかし「金に糸目は付けない」なぁんてケースはほと
んどありません。やはり大量の高純度水素が必要な場合、
パラジウム合金「ふるい」精製はあきらめざるを得ませ
ん。そこで次善の策として登場するのがビールジョッキ、
ではなくて低温式精製、「冷やして捕まえる」方法です。
生ビールが美味しい６～８℃。これぐらいの温度でも、
梅雨時の湿気が充満している空気が相手なら目に見える
効果( 溢れるシズル感！ )が得られます。でも工業ガス
ではそうは行きません。例えばボンベで供給されている
水素ガス、メーカーさんのカタログをググってみると、
H2O -70℃
などと書いてありますね。これはどういう事なんでしょ
う？ 水がマイナス７０℃？ 意味が分かりませんよね。
実はこれ、その温度まで冷やしていくと、水分が結露
して観察できるようになりますよ。その程度の水分が含
まれていますよ、という意味合いなのです。－７０℃！
ビールジョッキとは桁違いです。
でも低温精製ではこれでも十分ではありません。例え
ば、水素ガス中に存在していて取り除きたい不純物には
・水分 沸点 100℃ / 融点 0℃
・二酸化炭素 昇華点 -79℃
・一酸化炭素 沸点 -192℃ / 融点 -205℃
・酸素 沸点 -183℃ / 融点 -219℃
・メタン 沸点 -162℃ / 融点 -183℃
・窒素 沸点 -196℃ / 融点 -210℃
——————————————
水素 沸点 -253℃ / 融点 -259℃
などがあります。
ビールジョッキ表面の水滴のようにして「捕まえる」
ためには、これら不純物成分を最低でも「液体」または
「固体」の状態になるまで冷やさなければいけません。
ご覧いただければ分かるように液体窒素の沸点である
-196℃まで冷やせば、不純物成分はほぼ「液体」、場合
によっては「固体」にすることができます。-196℃でも
水素はガスのままなので、水素が捕まってしまうことは
ありません。これにて水素の精製一丁上がりです(笑)。
※ 記載した沸点・融点は各ガスとも１気圧での値
です。精製( きれいに )したい水素中での分圧
では、この沸点・融点で液化・固化するとは限
りません。
■低温式水素精製のメリット
パラジウム合金膜透過式ほどではありませんが超高純
の水素が得られます。しかもパラジウム式と違って大流
量でも精製できます。
■低温式水素精製のデメリット
・やっぱり値段が高い
これまたパラジウムほどではありませんが、液体窒素
を使用するため、供給設備( 暖まらないように断熱した
配管など )が高くつきます。また液体窒素は蒸発して減
少するんで補充しなければなりませんから、ランニング
コストも馬鹿になりません。
・低温⇔高温の繰り返しによる設備劣化
液体窒素で-196℃に冷やす( 不純物を捕まえる )、高
温にする( 捕まえた不純物を放出する )、を繰り返すの
で設備に負担がかかります。定期的な点検をお忘れなく。
２回続けて水素精製のお話になってしまいました。いか
がだったでしょうか。今回はここまでとさせていただき
ます。
by 藤村Ｍ
ガス精製装置や高純度ガス、高純度ガス用機器など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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7月21日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝32℃、昼39℃、夜36℃
です。
「リップカレント」をご存知ですか？
海の海岸で起こる離岸流のことです。
海水浴場で地元の住民のおじいさんが、孫の胴体にロープを結わき
海に入れてました。
「何やっているんですか？」
と聞くと・・・
「海は恐いんだ。みんな平気で泳がせているけど、あっという間に浚われちゃうぞ！」
海には、リップカレントという岸から沖合いへ向う速い流れがあります。
この流れに入ると、水泳選手でも流されるほどで水の事故が
起こり易いのだそうです。
岸に向って泳いでも沖合いに流されるようなときは
岸と平行に泳いでみると良いそうです。
リップカレントの幅は狭いので、流れから逃れることができるのだとか。
小学校の２５ｍがやっとのような子供や、場合によっては大人でさえも
平行に泳ぐだけで息つくようであれば、危険だということですね。
命を賭けて、気をつけましょう！
ｂｙ との
真空の知恵 2010年07月20日
真空蒸着やイオンプレーティング、スパッタリング、CVD、MBEなどの
薄膜を作成する際のモニタリング機器には以下のようなものが利用さ
れております。
モニタ範囲 ※精度
１０-3 ～ １０4Pa 隔膜真空計（真空・全圧）
１０-1 ～ １０3Pa ピラニ真空計（真空・全圧）
※ ±3%
１０-5 ～ １０-1Pa 三極管形電離真空計（真空・全圧）
※ ±15%
１０-8 ～ １０-2Pa ﾍﾞﾔｰﾄﾞ・ｱﾙﾊﾟｰﾄ真空計（真空・全圧）
１０-5 ～ １０ スピニングローター真空計（真空・全圧）
※ 7% 1%以下 / 5年
１～４００AMU / 1.3 x 10-2Pa 以下 四重極型重量分析計（真空・分圧）
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ 磁界偏向質量分析計（真空・分圧）
0.02 SCCM ～ 750 SLM 熱式質量流量制御計（ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）MFC（導入ガス量）
※ ±1%
0.5 cc/min ～ 5,000 L/min フロート式流量計（面積式）（ガス導入量）
※ ±2%FS
-273 ～ +1,900℃ 熱伝対（基板温度）
※ 0.1℃
-50 ～ 3,000℃ 赤外放射温度計（基板温度）
※ 1℃
+40 ～ 600℃ ヒートラベル（基板温度）
※ ±5℃程度
0.1 nm 水晶振動子法（成膜速度・膜圧）
※ 0 ～ 100 μm
10 μm ～ 数 μm 光干渉法（成膜速度・膜圧）
※ ±1 ～ 10 nm
0.1 nm ～ 1 μm 原子吸光法（成膜速度・膜圧）
※ 0.1 nm
０ ～ １０ μm ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀｰ（膜特性）
※ n=±0.005 , d=±0.3nm
数十 nm 以下 RHEED（膜特性）
１０11 ～ １０19 個・m-3 ﾌﾟﾛｰﾌﾞ計測法（プラズマ）
１０17 ～ １０19 個・m-3 発光分光法（プラズマ）
真空・ガス導入量、基板温度、成膜速度・膜圧、膜特性、プラズマなど
各種計測器のお問い合わせのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
ご連絡ください。
TEL ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
7月20日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝31℃、昼37℃、夜36℃
です。
所変われば、さまざまなやり方があるものです。
鹿児島本線つり革
ｂｙ との
