SiH4 (モノシラン) 2010年03月19日
特殊材料ガスの事故例として SiH4（シランガス）のものをご紹介します。
発生日時 １９９８年７月
発生場所 山口県
ガスの種類 モノシラン
事故の概況
半導体製造工場でモノシランガス消費設備の定期検査をするため、午前中は
１階のシリンダーキャビネット内の圧力計６個の校正を実施しました。午後は２階
の減圧CVD炉の手前に取り付けられたガスコンソールボックス（バルブ、流量計
減圧弁などを収納したスタンドでガスが漏えいすると除害装置へ導く）内の圧力
計を校正するために窒素パージが完了していることを確認した後、圧力計を緩め
たところ突然発火し、作業員が人差し指に火傷を負った。
CVD炉は２系列あり、１号炉は窒素ガスのみのアニール炉（ウエハを窒素ガス雰
囲気下６００℃で熱処理）として使用されており、２号炉はモノシランガスを使用し
中間バルブを介して並列に配置されていました。
事故当日、装置の都合により中間バルブを閉め、２号炉は通常運転を行っていた。
最初に１号炉の窒素パージを行ったが、この間約８時間かかり、その後、２号炉の
パージを行った。１号炉の窒素パージを行っている間に中間バルブからモノシラン
ガスが流入し袋小路状態にある圧力計取付部にモノシランガスが封印された状態
となっていた。圧力計を緩めたときにモノシランガスが大気に触れ発火したもの。
被害
人的 軽傷 １名
原因
操作基準の不備
教訓と今後の対策
１、特殊高圧ガスに関する教育と訓練
２、ガス置換設備の改善（パージ先を除害装置に接続する）
事故の教訓
１、作業をするときは必ず保護具と皮手袋を着用すること。
２、圧力計取付部のように袋小路状態になる部分は加圧と減圧を繰り返し
念入りにパージを行うこと。
シランガスの取扱いになれた熟練者が、漏れても燃えるだけだから大丈夫などと
考えられている方がいらっしゃいますが、上記の事故のように少量シランガスが
溜まった量であっても爆発して負傷を負うのです。慣れているからこそ慎重に
万が一のことを想定してバルブ操作や装置の運転を行っていただけますよう
お願い致します。
特殊ガスシリンダーキャビネットや特殊ガス調整器、特殊ガスバルブ
特殊ガス流量計、特殊ガス配管工事まで
川口液化ケミカル株式会社へご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
３月１９日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝７℃、昼９℃、夜１０℃
です。
先日のヨーロッパサッカーの最高峰 欧州チャンピオンズリーグで
ＣＳＫＡモスクワに所属する本田圭佑選手が、１ゴール、１アシストと
大活躍しました！
「日本人初とか興味がない。僕が目指しているところははるか上なんで」
「ＧＫのはじいた場所が僕の幸せな場所だった」
以上のコメントですが、プレーといい、活躍した場面と言い
凄すぎるとしか言いようがありません。
本田選手！ 本当にすごいです！！
次のインテルに勝利したら次は、アーセナルとバルセロナの勝者と対決です。
今からスカパーを申し込もうかな？
ｂｙ との
商品紹介 2010年03月18日
産業用（水・空気・油・その他）空気圧操作式自動弁のご紹介です。
Rc1/4″ 〜 Rc1″ 自動ﾎﾞｰﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
流体 ： 水・空気・油・その他
流体温度 ： ０〜８０℃
使用圧力範囲 ： ０〜１．０MPa
操作圧力 ： ０．４〜０．７MPa
材質 ： ボディ SCS14
シート PTFE
Oﾘﾝｸﾞ FKM
オプション ： 電磁弁AC100V,200V,DC24V
ﾘﾐｯﾄｽｲｯﾁﾎﾞｯｸｽ
・コストダウン仕様で従来型MKシリーズよりもさらに安価です。
・耐食性の高い SCS14 製です。
・取付方向は選びません。
・NAMUR規格に対応したｱｸﾁｭｴｰﾀｰです。
仕様
接続 Cv値 最小内径 質量
Rc1/4″ 1.5 φ5.0 0.7kg
Rc3/8″ 2.2 φ7.0 0.7kg
Rc1/2″ 4.7 φ9.2 0.8kg
Rc3/4″ 10.0 φ12.5 0.9kg
Rc1″ 12.3 φ16.0 1.1kg
産業用ﾎﾞｰﾙﾊﾞﾙﾌﾞのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
３月１７日 木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝８℃、昼１３℃、夜１２℃
です。
商品紹介 2010年03月17日
本日は、サニタリーフェルール（ISO/IDF）規格の手動・空気圧操作弁の
ご紹介です。
サニタリーボール弁
食品機械、医療機械、各種機器装置やプラントなどで実績あります。
・接続はIDF規格、ISO規格に準拠したサニタリーフェルールです。
・３ピースボール弁のため、分解、組立が容易です。
・接液面は＃４００バフ研磨処理を施してあります。
・材質 SCS１６A のため耐食性に優れています。
複動式空気圧操作弁・手動ボール弁 仕様
流体 ： 水、空気、油、特殊流体
流体温度 ： Max１２０℃、常用１００℃
流体圧力 ： ０〜１MPa
操作圧力 ： ０．４〜０．７MPa
動作 ： 複動式
操作ｴｱ供給口 ： MDA Rc1/8″ , 1DA,2DA Rc1/4″
材質 ： ボディ SCS16A
シート PTFE
Oﾘﾝｸﾞ EPDM
オプション ： 電磁弁 AC100V,AC200V,DC24v
ｽﾋﾟｺﾝ、ﾘﾐｯﾄｽｲｯﾁ
サニタリー配管のほか、特殊ガス配管、一般工業ガス配管
主に高圧ガス用バルブ、圧力調整器、流量計、配管材料のことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
３月１７日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝７℃、昼１１℃、夜１１℃
です。
パラリンピックで日本選手が活躍しているようです。
とある友人のお話で・・・
山登りが好きで冬山登山に挑戦し、遭難しかかり、ビバーク
している時に足の指が凍傷になり、壊死を防ぐため自分で
自分の足指を切断し、命からがら下山した方がいました。
その方とスキー場で初めて出会ったのですが、とてもスキー
が上手でスラロームコースをかなり早いタイムで滑りきって
いました。
あとでお話を聞くと、両足の指がない、障害者ですが絶対
にそのような目で見られることを嫌っておられました。障害を
持つ人は、健常者から普通に接してもらえないことにストレスを
感じるのだそうです。
スポーツで成績を残すということは、かなり練習を積んでのこと。
人並み以上に努力したことが成果を生み出すのは誰にでも平等です。
ｂｙ との
SiH4 (モノシラン) 2010年03月16日
知る人ぞ知る、高圧ガスに関する法律が大きく変わるきっかけに
なった大事故です。後学のために記憶に留めておいてください。
発生日時 １９９１年１０月
発生場所 大阪府
ガスの種類 モノシランガス
事故の概況
大学の実験室で学生がプラズマＣＶＤ装置を使って実験中に、クリー
ンルームのシリンダーキャビネット内に設置されていたモノシランガス
容器（容量１０．４Ｌ、材料マンガン鋼、圧力約４MPa）が突然破裂して
６個以上の破片となって周囲に飛散しました。この爆発によって学生
２名が死亡し、５名が負傷しました。
事故当時、キャビネット内に４本の容器（モノシラン100%、六フッ化硫
黄、亜酸化窒素、モノシラン＋水素混合ガス）が設置され、２本の窒素
ガス容器が外に設置されていた。この装置の配管系統は、４本の容器
からＣＶＤ装置にガスを供給するラインとパージラインから構成されてお
り、このパージラインは、各容器→逆止弁→ボール弁→共通パージライ
ン→窒素ガス容器へとつながっていました。この逆止弁にはＯリングが
使用されており、亜酸化窒素（支燃性ガス）によってＯリング（フッ素ゴム
）が劣化し逆止機能が正常に作動しなかったため逆流してパージライン
を経由してモノシランガス容器に流れ込み、亜酸化窒素とモノシランガス
の可燃性混合気を生成して、その可燃性混合気に着火して爆発が起こっ
たと推定されています。
事故後、亜酸化窒素によってＯリングが劣化し、逆流を起こすことが実
験で確かめられています。
この事故を契機として高圧ガス保安法が改正され、モノシラン等の特殊
高圧ガスを消費する者はその消費量に関わらず都道府県知事への届出
取扱主任者の選任などが義務付けられました。
事故の教訓として・・・
１、モノシラン（可燃性ガス）と亜酸化窒素（支燃性ガス）のように混合すると
危険性があるガスのパージラインは別系統とすること。
２、特殊材料ガスの講習・訓練を受けていないと装置に触れてはいけない。
ガス漏れなどの異常が発生した時は近づかないで学生は逃げること。
３、弁のパッキン、Ｏリング等の材質で高圧ガスの使用に適さないものもある
ので材質の選定にあたっては十分に検討すること。
などとしております。
大学実験の研究室では、予算が無いなどの理由で安全が二の次になる
ガス設備も少なくないと思われます。法令を遵守することはもちろんですが
それ以外の汎用ガスであっても可燃性、支燃性、毒性、腐食性などの性質
を十分考慮に入れて安全第一に実験をされますようお願い致します。
特殊ガスのご用命、特殊ガス機器、特集ガス配管工事など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
３月１６日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１２℃、昼１８℃、夜１５℃
です。
電車に乗っていると黒のリクルートスーツ姿の女学生が
真剣な眼差しで忙しく移動している様子に出会います。
今年の３月に卒業した学生さんが、まだ就職できずにいる
ニュースも聞いていますので、がんばって欲しいと願わずに
いられません。
みなさんは、決して世の中に必要とされていないわけでは
ありません。きっと、きっと良い仕事場が必要とされる場所が
見つかると思います。がんばってくださいね。
ｂｙ との
環境関連 2010年03月15日
名前だけ先行しているにもかかわらず、いまひとつ身近になってこない
バイオ燃料。一部のガソリンには既に混合されていますが、基準が定まっ
ていないので一般化しないのではないかと思っています。
経済産業省は環境省と農林水産省と共同で設けたバイオ燃料に関する
検討会の報告書を発表し、バイオエタノールなどの製造工程や輸送途中に
排出するCO2を、ガソリンと比べて50％以下とする新たな基準を設ける考え
を正式に発表しました。
ガソリン等に混合されるバイオエタノールなどは、CO2排出量がゼロである
とみなされています。しかしながら製造工程や輸送途中などでにおいても、
ある一 定量のCO2排出する燃料と位置づけることになります。
すでに欧米などでは製造工程や輸送途中などの過程で、一定量のCO2が
排出されるという見方がなされているようです。EUは既にガソリンと比べたバ
イオ燃料のCO2排出量を50％以下にする基準を設けているのだそうです。
しかしこの基準を満たす原料は、ブラジルの既存農地で収穫されたサトウキビ
と国産のテンサイなど一部しか無いようです。環境省はバイオ燃料を2020年
までに200万キロリットル導入することを検討しているようです。関係省庁はバ
イオ燃料の利用を促進している反面、厳しい基準を設けようとしているのが実
態のようです。
まずは広く利用してもらうことが、2020年までに1990年比-25%のCO2を減ら
すことのきっかけだと思います。バイオ燃料の原料は多種存在します。どれが
最適 かを見極めるのが先だとは思いますがまずは普及をさせる方法を考えた
方が、地球環境の為のような気がします。
ｂｙ tonshi_matsu
液体窒素のご用意や液体窒素自動供給設備、液体窒素レベルセンサーなど
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
ＴＥＬ ０５−８８８１−７３４３
ありがとうございます
今日の埼玉川口市のお天気は？
３月１５日 月曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 夜１２℃
です。
電車での移動で、久しぶりに新宿駅の中をまじまじと観察すると
自分の知らない情報や進化した機器が当然のようにあります。
・黄色い車体から、シルバー下地に青と緑のラインになった西武線
・駅構内のコインロッカーで、昔の青い扉から、扉ごとＬＥＤランプが
点灯し、清算などの制御部がタッチパネルになっており、あたり
前のように操作するおばあさん
・広告で狭山スキー場が４月４日まで滑走可能なこと。
（閉鎖したと思っていた）
などなど。
でも、知らなくても良いことなのかもしれません。
ｂｙ との
LN2 (液体窒素) 2010年03月14日
液体窒素を入れておく容器は、低温の物性からただの容器に入れておくことは
できません。真空層または断熱層のある容器か、多孔質の断熱効率の高い容器
が必要となります。
５０Lサイズまでは、汎用容器でも多く存在しますが、それ以上の液体窒素用容器
はなかなかありません。
容量 １６５L 液体窒素容器
この写真の容器は、開放容器ではかなり大きなものです。後ろ手に汎用ﾎﾞﾝﾍﾞ ７m3
= 7000L = 47L容器が見えますが、比較しても大きなことを実感されると思います。
低温実験で多くの試料を低温保存する場合や、液体窒素の仮の保存容器としてご利
用いただく場合などいかがかと思います。
１０Lの少量液体窒素のご用命から、２０〜１００Lのまとまった単位でのご用意、更には
大型容器でまとめて数百リットルの液体窒素までご用意致します。
※ﾚﾝﾀﾙ容器には限りがございます。必ずしもご希望日にご用意できないこともあります。
液体窒素に関することなら
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
３月１４日 日曜日
天気 はれ
気温 ９℃（PM11:00）
です。
朝からよく晴れて気持ちの良い天気でした。
この週末、天気が悪くなる予報でしたが外れたおかげで
２日間とも屋外でのレジャーなどで高速道路も渋滞したようです。
あと少しで４月です。
進学され新しい生活のはじまる学生さんから、社会人１年目になる
新人くんまで、不安と希望でいっぱいでしょうね！
さあ、がんばれ！
ｂｙ との
LPG (液化石油ガス) 2010年03月13日
今の日本は高齢化がすすみ６５歳以上の方が５人に1人になりました。
高齢者のための公共施設バリアフリーやユニバーサル化の取り組みが
各所で取り入れられております。
ガス業界でもご家庭用のお台所のガスコンロでユニバーサルデザイン製
品「ユーディア・エフ」（リンナイ社）が発売されました。
違いやその特徴は？
従来商品はガス点火ツマミなど横面にありましたが、この新製品は真上から
操作ボタンを確認・操作できますので、身体を屈めたり伸ばしたりの繰り返し作
業がなく、ガスの点火、火力調整などが楽に出来ます。
視認性の良いLED表示で、点火中の確認、炎の調整など簡単です。
安全面では？
「鍋なし点火防止」機能が付いてますので、鍋をコンロに置いていないとガスが点
火しません。また、火のかかった鍋を持ち上げて、コンロから離すと自動的に弱火に
なるので、袖や裾からの衣類への引火を防止します。
操作面では？
点火グリルが２口ですのでゆったりしたスペースでご利用いただけますし、バーナー
を従来品より奥手に移動しましたので、鍋の移動にも安心です。更には、地震のときに
震度４以上になるとコンロの火を自動で消化します。
細かくは、コンロ天板のお掃除が簡単で、煮こぼれで本体の中に流れ落ちないように
シールド構造になっています。
ユニバーサルコンロ 「ユーディア・エフ」（リンナイ製）をよろしくお願い致します。
http://rinnai.jp/products/kitchen/gas_conro_udea/gc_udea_ef/udea_ef_point
プロパンガスやプロパンガス機器のご用命、プロパンガス工事など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
３月１３日 土曜日
お天気 晴れ
気温 １５℃（AM1１:００）
です。
花粉症対策グッズも進化しています。
鼻に栓をする「ノースマスクピット」は、鼻栓がまるごとフィルター
になっている商品です。
試した人の話によると、抜群に良いらしいです。
花粉症の方、いかがですか？
ｂｙ mitono
今週は、高校の公立２期試験の合格発表がありました。
さいたま市では、来週月曜日がもう卒業式です。
進路が定まり、スタートを切るのに心の準備ができない
中学生もいるようです。
なにごとも確実な道は無い。
とりあえず走りだし、走りながら軌道修正したり、考えればいい。
とにかく一歩踏み出す。
精一杯勇気を振り絞り動き出してみよう！
ｂｙ との
特殊ガス 2010年03月12日
毎週金曜日の「特殊ガス」に関する特集コーナーです。講師のSGマイスター
さんは、日夜全国各地の現場で研鑽を積まれています。それでは今週も現場
直送のホットな話題を勉強しましょう！
（13話）特殊ガス製造現場 ’10.3.12
こんばんは
今日はちょっと違うお話をしてみたく・・・
一口に “製造現場” と言っても色々ありますよね。
特殊ガスも一応 “工場” ってところで製造します。
皆さんの “工場” のイメージってどんな感じでしょう？
少し “高圧ガス” をご存じの方は、 “充填所” をイメージ出来る方も多い
かも知れません。でも “特殊ガス工場” をイメージ出来る方はそう多くは無
いでしょうね。
高圧ガスの”充填所” はまだまだ ３Ｋ仕事のイメージが残るところも少なく
無いと思います。全く “高圧ガス充填所” なんてものをご存じない方も、実は
自分の近くの存在を知らないだけかも知れません。
もし興味が湧いた方は、ぜひ探してみては如何でしょうか。
さて、特殊ガスの製造現場ってどんなところでしょう？
特殊ガスは、高純度、高精度、高品質などが求められるガスですが、”ガスを
充填する”という行為は、”充填所” とさほど変わりがありません。が、作業場の
環境やその設備にはとても大きな違いがあります。
まず一つ、大きな違い・・・
“特殊ガス工場の充填所”は、クリーンルームの中にあるなんてことがあります。
当然作業者はクリーンスーツを着て、エアシャワーを浴びて、作業場に入ります。
中に持ち込む高圧ガス容器もとってもきれいにして持ち込まれます。この様子を
見た人達は、皆さん意外に感じるようです。妙な表現ですが、クリーンルームとい
う最新設備に囲まれた現場で家内制手工業が行われているといった感じです。
それでは “充填所” と異なるこの他のポイントをいくつか挙げてみましょう！
・非常に多くのバルブがあります。
周辺に設置された配管も想像よりも太いものが張り巡らされています。
”真空引き専用” の架台がありますが、充填用架台にも”真空引き”機能を持って
います。
・充填中の重量が測定出来るように、ロードセルが点在しています。
多くの場合、充填場所直近はフードで覆われています。特殊ガスとして扱うガスに
は毒性を有しているものも少なくないため、安全に関する保安設備はとてもしっかり
したものが設置されています。
”充填所”と比較すると、恐らく設備コストは１０倍とも１００倍とも１０００倍とも思える程
異なっているんです。一度見学してみたいって思われた方がいらっしゃるかも知れませんね。
特殊ガス工場というものは、恐らく国内に１０ヶ所も無いと思います。ですので簡単に探
せないと思いますし、やはり危険なものを扱っている場所ですから簡単には見学させても
らえません。
“社会科見学”の様なことを行っていればご紹介したいと思いますが無いでしょうね。。。
それでも是非に！と思い立った方がいらっしゃれば・・・
川口液化ケミカル株式会社さんに相談してみて下さい。
それでは今日はこのへんで。
特殊ガスに関することなら
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
3月12日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 昼8℃、夜11℃
です。
だんだんと朝が明るくなってきましたね！
ひと月に、どれだけ日の出が早くなっているかと言いますと
一月は八分
二月は二十九分
三月は四十二分 なんです。
この三月は、一日おきに一分三十秒ずつ日の出が早くなっていくんですね。
東京の日の出は朝六時前です。
早起きをして明るくなった爽やかな朝を感じてみてはいかがでしょうか？
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年03月11日
真空度 ： １０-5 Pa
温度 ： -270 ℃
圧力 ： 30 MPa
以上の真空・低温・高圧の世界で汎用といえる圧力範囲のステンレス
加工品に関するご相談、設計、製作、リーク検査、KHK認定試験（高圧）
まで承ります。
溶接ベローズ・真空フランジ・フィードスルー継手・ステンレス加工品
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
３月１１日 木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝４℃、昼６℃、夜９℃
です。
東風吹かば 匂い寄こせよ 梅の花
主なしとて 春な忘れそ
菅原道真
雨上がりに美しく咲き誇る梅の花を見ていると
「本当に今年一年・・・お世話になりました。」
と、つくづく感慨深く思ったり。
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年03月10日
昨日は、ガス調整器の一般的な故障についてご紹介いたしました。
本日は、とても特殊な例として調整器内部の異常についてご紹介いた
します。
金属は強固であり、長時間で成長する錆などを除きその強度を保ち続
けます。ところが、ある条件によっては錆に強いといわれる汎用金属の
ステンレス製品であっても、割れが発生して金属部品の性能を発揮でき
ないような損傷をすることがあります。
それが 「応力腐食割れ」 現象です。
応力腐食割れは、ハロゲン物質（Clイオン、Sイオン、Fイオンなど）が存在
する環境下で応力が作用していると組織粒界に沿って割れが発生するも
のです。
SUS３１６製調整器ダイヤフラムの応力腐食割れ断面形態
走査型電子顕微鏡による亀裂断面
実は、とある行為によってこの応力腐食割れがステンレスに起こり得ます。
それは、気密試験など漏れ検査をした際の発泡試験用検知液です。
漏れがある部位から吹き出すガスにより、石鹸水をかけたようにカニ泡が
ブクブクと吹き出し漏れ箇所を特定するには最適でよくつかわれるものです。
ですが、この漏れ検知液のなかに応力腐食割れの原因になるハロゲン物質
が含まれているため、このようなステンレスの腐食に繋がるのです。上記の
損傷した報告でも、漏れ検知液が調整器内部の常に振動するダイヤフラム部
まで浸透したことが原因と考えられます。
結論
「 ステンレス製ガス機器の漏れ検査には、漏れ検知液による発泡検査を行わな
いことが望ましいこともあります。」
※ケースバイケースで使用してはいけないということではありません。
諸条件を良くご検討の上、お客様ご自身で判断ください。
高圧ガス用調整器のご検討、ご購入のときは
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
3月10日 水曜日
天気 曇りのち晴れ
ボンベ庫の温度 朝2℃、昼5℃、夜5℃
です。
朝の天気予報では、午後から晴れ間が出て暖かくなるはずでしたが・・・
一日吐く息が白い肌寒い陽気でした。
やはり雪のせいでしょうか？
朝一番は、関越・上信越自動車道の本庄〜藤岡、藤岡〜佐久の間が
午前中通行止めでしたからね！
ｂｙ との
