精製ガス 2010年07月21日
「排ガス処理」と「精製ガス」のブログ九回目になります。
本日は藤村Ｍ先生に「精製ガス」第四話の
お話をしていただきましょう！
では、よろしくお願い致します。
ガス精製の方法２ 冷やして捕まえる！
皆さん、こんにちは！
梅雨が明け、連日の猛暑日。体調を崩されてませんか？
・クーラーの利いた部屋で
・冷たいものばかり摂ってませんか？
「との」さんのご指摘にドキッとした藤村Ｍです。だっ
て冷たいものが飲みたくなるんだもん、などと子供のよ
うな言い訳を…
その冷たい飲み物、この時期の代表格はビールでしょ
うか。ＣＭやポスターなどで良く見かけますよね、水滴
のびっしりついたビールジョッキ。「シズル感」と言う
そうですが、「冷たそうな感じ」「グッと飲みたくなる
ような感じ」がうまく表現されています。凡百の言葉を
並べるより、シズル感溢れる１枚の写真。これで視覚と
食欲に訴えることができるのだそうです。
さて「水滴のびっしりついたビールジョッキ」。これ
が今回お話する精製の原理になります。
*******************************************************
前回は、パラジウム合金による「ふるい」式の水素精
製について触れました。コストパフォーマンスに難があ
るため広く使われることはないけれど、ここぞ( 超々高
純度水素が必要 )！という場面では切り札になります、
というお話でした。
しかし「金に糸目は付けない」なぁんてケースはほと
んどありません。やはり大量の高純度水素が必要な場合、
パラジウム合金「ふるい」精製はあきらめざるを得ませ
ん。そこで次善の策として登場するのがビールジョッキ、
ではなくて低温式精製、「冷やして捕まえる」方法です。
生ビールが美味しい６～８℃。これぐらいの温度でも、
梅雨時の湿気が充満している空気が相手なら目に見える
効果( 溢れるシズル感！ )が得られます。でも工業ガス
ではそうは行きません。例えばボンベで供給されている
水素ガス、メーカーさんのカタログをググってみると、
H2O -70℃
などと書いてありますね。これはどういう事なんでしょ
う？ 水がマイナス７０℃？ 意味が分かりませんよね。
実はこれ、その温度まで冷やしていくと、水分が結露
して観察できるようになりますよ。その程度の水分が含
まれていますよ、という意味合いなのです。－７０℃！
ビールジョッキとは桁違いです。
でも低温精製ではこれでも十分ではありません。例え
ば、水素ガス中に存在していて取り除きたい不純物には
・水分 沸点 100℃ / 融点 0℃
・二酸化炭素 昇華点 -79℃
・一酸化炭素 沸点 -192℃ / 融点 -205℃
・酸素 沸点 -183℃ / 融点 -219℃
・メタン 沸点 -162℃ / 融点 -183℃
・窒素 沸点 -196℃ / 融点 -210℃
——————————————
水素 沸点 -253℃ / 融点 -259℃
などがあります。
ビールジョッキ表面の水滴のようにして「捕まえる」
ためには、これら不純物成分を最低でも「液体」または
「固体」の状態になるまで冷やさなければいけません。
ご覧いただければ分かるように液体窒素の沸点である
-196℃まで冷やせば、不純物成分はほぼ「液体」、場合
によっては「固体」にすることができます。-196℃でも
水素はガスのままなので、水素が捕まってしまうことは
ありません。これにて水素の精製一丁上がりです(笑)。
※ 記載した沸点・融点は各ガスとも１気圧での値
です。精製( きれいに )したい水素中での分圧
では、この沸点・融点で液化・固化するとは限
りません。
■低温式水素精製のメリット
パラジウム合金膜透過式ほどではありませんが超高純
の水素が得られます。しかもパラジウム式と違って大流
量でも精製できます。
■低温式水素精製のデメリット
・やっぱり値段が高い
これまたパラジウムほどではありませんが、液体窒素
を使用するため、供給設備( 暖まらないように断熱した
配管など )が高くつきます。また液体窒素は蒸発して減
少するんで補充しなければなりませんから、ランニング
コストも馬鹿になりません。
・低温⇔高温の繰り返しによる設備劣化
液体窒素で-196℃に冷やす( 不純物を捕まえる )、高
温にする( 捕まえた不純物を放出する )、を繰り返すの
で設備に負担がかかります。定期的な点検をお忘れなく。
２回続けて水素精製のお話になってしまいました。いか
がだったでしょうか。今回はここまでとさせていただき
ます。
by 藤村Ｍ
ガス精製装置や高純度ガス、高純度ガス用機器など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月21日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝32℃、昼39℃、夜36℃
です。
「リップカレント」をご存知ですか？
海の海岸で起こる離岸流のことです。
海水浴場で地元の住民のおじいさんが、孫の胴体にロープを結わき
海に入れてました。
「何やっているんですか？」
と聞くと・・・
「海は恐いんだ。みんな平気で泳がせているけど、あっという間に浚われちゃうぞ！」
海には、リップカレントという岸から沖合いへ向う速い流れがあります。
この流れに入ると、水泳選手でも流されるほどで水の事故が
起こり易いのだそうです。
岸に向って泳いでも沖合いに流されるようなときは
岸と平行に泳いでみると良いそうです。
リップカレントの幅は狭いので、流れから逃れることができるのだとか。
小学校の２５ｍがやっとのような子供や、場合によっては大人でさえも
平行に泳ぐだけで息つくようであれば、危険だということですね。
命を賭けて、気をつけましょう！
ｂｙ との
真空の知恵 2010年07月20日
真空蒸着やイオンプレーティング、スパッタリング、CVD、MBEなどの
薄膜を作成する際のモニタリング機器には以下のようなものが利用さ
れております。
モニタ範囲 ※精度
１０-3 ～ １０4Pa 隔膜真空計（真空・全圧）
１０-1 ～ １０3Pa ピラニ真空計（真空・全圧）
※ ±3%
１０-5 ～ １０-1Pa 三極管形電離真空計（真空・全圧）
※ ±15%
１０-8 ～ １０-2Pa ﾍﾞﾔｰﾄﾞ・ｱﾙﾊﾟｰﾄ真空計（真空・全圧）
１０-5 ～ １０ スピニングローター真空計（真空・全圧）
※ 7% 1%以下 / 5年
１～４００AMU / 1.3 x 10-2Pa 以下 四重極型重量分析計（真空・分圧）
Heﾘｰｸﾃﾞｨﾃｸﾀｰ 磁界偏向質量分析計（真空・分圧）
0.02 SCCM ～ 750 SLM 熱式質量流量制御計（ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰ）MFC（導入ガス量）
※ ±1%
0.5 cc/min ～ 5,000 L/min フロート式流量計（面積式）（ガス導入量）
※ ±2%FS
-273 ～ +1,900℃ 熱伝対（基板温度）
※ 0.1℃
-50 ～ 3,000℃ 赤外放射温度計（基板温度）
※ 1℃
+40 ～ 600℃ ヒートラベル（基板温度）
※ ±5℃程度
0.1 nm 水晶振動子法（成膜速度・膜圧）
※ 0 ～ 100 μm
10 μm ～ 数 μm 光干渉法（成膜速度・膜圧）
※ ±1 ～ 10 nm
0.1 nm ～ 1 μm 原子吸光法（成膜速度・膜圧）
※ 0.1 nm
０ ～ １０ μm ｴﾘﾌﾟｿﾒｰﾀｰ（膜特性）
※ n=±0.005 , d=±0.3nm
数十 nm 以下 RHEED（膜特性）
１０11 ～ １０19 個・m-3 ﾌﾟﾛｰﾌﾞ計測法（プラズマ）
１０17 ～ １０19 個・m-3 発光分光法（プラズマ）
真空・ガス導入量、基板温度、成膜速度・膜圧、膜特性、プラズマなど
各種計測器のお問い合わせのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
ご連絡ください。
TEL ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
7月20日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝31℃、昼37℃、夜36℃
です。
所変われば、さまざまなやり方があるものです。
鹿児島本線つり革
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年07月19日
高圧ガスの定義で圧力、流量、単位時間当たりの消費量など法規
定められた高圧ガス設備や、それに類するガス設備の場合には、強
度計算、材料証明書などを用意し、耐圧・気密試験などを認定機関
ったものが必要になります。
高圧ガス設備試験受験済み ボンベマニホールド（ガス集合設備）
高圧ガス設備のボンベ集合装置、ガス供給設備、実験用高圧容器など
ご相談に応じて、設計・施工・試験などを行ないます。
高圧ガス設備試験成績証明書 銘板
※高圧ガス設備には、非常に納期のかかるものが多いためご注意ください。
高圧ガス、高圧ガス設備、高圧ガス現場配管工事など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご連絡下さい。
TEL ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
７月１９日 月曜日
天気 快晴
気温 29℃（PM11:00)
です。
今日の日中の気温は東京でも 36.4℃ を記録しました！
明日で小学校は終業式で夏休みです。
この日差しですと、あっという間に子供達はプールで
真っ黒に日焼けしそうですね。
ｂｙ との
Xe (キセノン) 2010年07月18日
極低温液化ｷｾﾉﾝｶﾞｽ対応でありながら、高真空、高気密性の求められる
無酸素銅製大型容器です。
国家プロジェクトの超高精度検出センサーを容器内に収納し、地球の
原始のレベルを解析する試験設備になります。
無酸素銅製ﾁｬﾝﾊﾞｰ
超高精度のセンサー感度を補うために、容器の材質は無酸素銅製で製作
されております。
液化Xeｶﾞｽ対応機器
低温試験のため手前に液体窒素LGC容器が見えますが、相当大きなCu製
容器です。この大型容器の漏れを検査するため、更に大きな容器を漏れ検
査のためだけに製作し試験を行っています。
極低温、高真空、液化ｶﾞｽ設備など複合的に絡み合う
試験設備・容器・ｶﾞｽ供給設備など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
TEL ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
7月18日 日曜日
天気 快晴
気温 27℃（PM10:30）
です。
昨日にも増して、太陽光線の眩しい一日でした。
サッカー少年団の代表者は言います。
炎天下で練習をしていて顔が真っ赤になってヘバッてしまう
子供に共通点があるそうです。
・いつも自宅では強めにクーラーの利いた部屋に居る。
・飲み物、食べ物を喉越しの良い、冷たいものを多く摂っている。
大人も気をつけたいですね！
ｂｙ との
LPG (液化石油ガス) 2010年07月17日
一時期、ガスコンログリルからの火災が話題を呼びましたが
グリルの清掃を怠るとより火災に繋がることが解ってきました。
このような火災を未然に防ぐ機能を搭載したガスコンロが発売
されました。
リンナイ製ハオシリーズは、コンロ内部の後方にパイプを搭載し
万が一の場合でも炎が出るのを防ぐ構造で、グリル庫内の温度
が異常に上昇した場合には自動的に発火を防止します。グリル
の清掃不足などによる火災を防ぐ事が出来る工夫がされておりま
す。
また、グリル消し忘れ消火機能により１５～２０分で自動消火され
ます。タイマーにより1～15分間（片面焼きは1～20分間）の自動
消化ができます。うっかりした火のつけ忘れや、長電話などで、目
を離しても安心です。その他「ＳＩセンサー」で鍋底温度を監視して
いますのでテンプラ火災や、魚焼きの焦げつき防止にも役立ちます。
そしてガスコンロの特徴でもあるムラのない炎で、鍋底全体を暖め
られますので、美味しいお料理作りに欠かせません。
グリル火災防止機能搭載のハオガスコンロに関する
お問い合わせは、川口液化ケミカル株式会社までどうぞご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
7月17日 土曜日
お天気 晴れ
気温 34℃
です。
いよいよ梅雨明けで,厳しい夏日が待っています。
古来からの滋養強壮の自然食、梅干やラッキョウで
体の治癒能力と免疫力を整ましょう。
ｂｙ mtono
今日の日中は午後に入り、蒸暑さの不快指数最高調でした。
小学校校庭でプレーする少年野球や少年サッカーにも
体調不良で倒れた子供が続出してました。
十分な水分補給と、日差しが強い時間は頭を温め過ぎないよう
休憩を挟みながらプレーしましょう。
by との
特殊ガス 2010年07月16日
特殊ガスについて解説する連載コーナー第二十九回目になります。
スペシャリティガス職人の SGマイスターさんにご登壇いただきましょう！
それでは、よろしくお願い致します。
（29話）容器整備が高価なわけ ‘10.7.16
こんばんは
酸素ボンベが恐いという話でちょっと触れました耐圧試験・・・
特殊ガスの世界では”容器整備の一部”と位置づけて語られます・・・
って意味不明でしょうか？
さて今日は、特殊ガスの容器整備についてのお話です。
前話で、一般工業用と特殊ガスでは容器の使い方というか．．．違いがある
と言うことについて耐圧試験に絡めてふれました。業界に関わりある方はご
存じの通り、特殊ガス用容器の整備料は一般ガスの整備料と比べて時に１０
倍コストです。が、その理由をキチンと説明出来る業界人・・・実はあまり
いないんです。
なぜかって？
例えば特殊ガスを売っている営業マンも実は教えられていない秘密が多い
からなのです。
過去の記事で色々と特殊ガスの技術についてふれましたが、実は特殊ガスの
技術の中で最も重要なのは”容器整備技術”なんです。今までお話した色々
は全て”容器整備技術あっての技術”と言っても過言ではありません。どう
いうことかと言うと・・・
ちゃんとした容器整備がされていない容器では・・・
１）不純物が保証出来なくなります
２）すぐに経時変化がおきて濃度が変化してしまいます
３）腐食などが進行して保安が損なわれます
などなど、特殊ガスが特殊ガスたる所以の技術事項・保証事項が全て叶わな
いことになってしまいます。
昔話ですが、こんなお客様がいました。。。
「おたくから容器ごとガスを買うと異常に高いから容器だけは用意するから
ガスだけ詰めてよ。」
これに対し、私は次のようにご説明しました。
「容器を準備頂くのは構いませんが、その容器に弊社の容器整備が施せない
場合はガスの充填も出来なくなります。また弊社では容器をお預かりした
後に容器整備を行います。結果、御社にとってかえって割高になってしま
います。」
この説明だけでは、お客様はすぐにご理解頂くことができませんでした・・・
ガスの精製器というものが存在します。
ガスの不純物を取り除き、100%に近づける装置です。ガスってやっかいで
簡単に運べませんよね。だから配管だの容器だのが必要になる。きれいなも
のも、汚い入れ物に入れては汚れてしまう。
ガスを汚すものってなんでしょう？
高圧ガスの容器の中には”汚す要因がいっぱい”あるんです。
そのため、その要因を極限に抑えるいろいろなノウハウが生まれました。
水を乾燥で取り除くことは”保安上”も必要ってお話もしましたし。
容器整備って特殊ガスの製造技術の根幹です。
キチンと容器整備されていない容器に標準ガスを入れると”値が変化”して
しまいます。”値が命”の標準ガス・・・値が変化してしまっては使えません。
水分を嫌がる”半導体プロセス”・・・半導体の材料ガス中の水分不純物を
極限に減らす”精製技術”があっても、容器整備技術が無ければ無意味です。
「マイスター」などと名付けて頂きました手前、少しは容器整備について
具体的に語りたいところなのですが・・・
諸事情によりお話出来ないのが残念です（＾＾；）
今日はこのへんで。
by SGﾏｲｽﾀｰ
特殊ガスのことなら
川口液化ケミカル株式会社へどうぞご相談下さい。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
7月16日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝28℃、昼33℃、夜32℃
です。
全英オープンゴルフ（セントアンドルーズ）で、第二ラウンドがスタートしてます。
－２で谷口選手がスタートし－４でホールアウトしました。
－４（17位）スタートの石川遼選手が何処まで伸ばせるか？
期待しましょう！
ｂｙ との
LHe (液体ヘリウム) 2010年07月15日
2K Cryostat
クライオスタットなどの極低温システムは、使用する液体窒素や液体
ヘリウムなどは十分な知識と危険性を理解しておく必要があります。
液体窒素や液体ヘリウムは、毒性が無く不燃性ガスでもあるため経験の
ある方であってもその危険性を忘れがちです。クライオスタットに極低
温ガスを使用すると凍傷・窒息・爆発・感電などの危険性があります。
爆発する？ なぜ？
と、疑問に思われた方は特に注意が必要です。
湿度が高く、クライオスタットの性能劣化などにより蒸発量が激しいと、
液化ガスの出口が水分によって閉塞しクライオスタットが爆発することが
あるのです。逆に液体ヘリウム容器のように蒸発量が非常に小さくなるよ
う設計された装置であっても、出口を開放のまま放置した場合、水分を吸
い込んで閉塞する場合があります。
通常、クライオスタットや液化ガス容器はこれらのトラブルを未然に防ぐ
ため安全弁などの機器を付属しております。しかし、少しでも通常と違う
現象が発生した場合には注意が必要です。仮に閉塞しているだろう状態に
なった場合（安全が確保できるのであれば）安全装置が働いていることを
確認した後、閉塞した箇所をヒートアップするなどして開放してください。
-196℃ の液体窒素は汎用ガスですのでご存知の方も多いかと思います。
-268.9℃ の液体ヘリウムの場合には、どのようなことを注意すればよいで
しょうか？
液体ヘリウム取扱い上の注意事項
・液体ヘリウム容器は専用のものを使用してください。
・液体ヘリウムは専用のトランスファーチューブを使用しないと移送でき
ません。
・運搬直後のヘリウム容器は内圧が非常に高くなっている場合があります。
圧力をブローさせる場合、容器に設置されている、バルブを開きますが、
ゆっくりと開きましょう。回収させている場合でも、急激に開いた場合
には大量の低温ヘリウムガスが放出されたいへん危険です。
・液体ヘリウム輸送管（トランスファーチューブ）を挿入する場合、ゆっ
くりと挿入します。液体ヘリウムは蒸発潜熱が小さいため、少しの熱を
加えても、直ぐに蒸発します。
・液体ヘリウム容器使用後は回収ラインに接続し保管するか、低圧安全弁
を使用し、若干内圧を高めた状態で保管してください。回収しないヘリ
ウム容器は常に微量のヘリウムガスを空気中に放出していますので、換
気の良い場所で保管して下さい。
・液体ヘリウムをクライオスタットに移送している場合、多くのクライオ
スタットのヘリウムガス出口は低温状態となり凍結を起こします。非常
に消費量が多 い場合にはその部分で空気が液化します。液体空気は発
火性があるため非常に危険です。これを防ぐために急激な移送を行わな
いことと、配管に簡易断熱材を施工するなどの方法が有効です。
・小型容器に多い液化窒素シールド型容器は液体ヘリウムが入った状態で
は、液体窒素の蒸発量が非常に小さくなるため、低圧安全弁などを付け
閉塞しないよう注意してください。また、液体窒素シールド型容器は蒸
発量を小さくするため挿入径が小さい（パイプの細い）場合があります。
操作方法が悪い場合、パイプの中で水または窒素によって閉塞してしま
うケースがありますので注意が必要です。それを防ぐために低圧安全弁
を使用するか微量流量計を付けて閉塞しないことを毎日確認して下さい。
※万が一、閉塞した場合速やかに製造メーカーに連絡し指示を仰ぎます。
液体ヘリウムを使用する場合出来るだけ製造メーカーの業務時間中の
日中に行うことをお薦め致します。
極低温ガスを使用する場合にはくれぐれもご注意下さい。
液体ヘリウムのご用意やご検討談会の相談など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご連絡ください。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月15日 木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝26℃、昼30℃、夜30℃
です。
芸能ネタで恐縮ですが、人気者のナインティナイン岡本さん
が長期のお休みを発表されましたね。
一般人であっても、有名人であっても、誰であっても
心身ともに無理があっては続かないのではないかと思います。
ｂｙ との
排ガス処理 2010年07月14日
毎週水曜日の「排ガス処理」と「精製ガス」のブログ八回目です。
今日は「精製ガス」の順番なのですが、先週に引き続き「排ガス処理」
の第五話を藤村Ｆさんにお願いしましょう！
では、よろしくお願い致します。
■除害装置の原理に関して（その２）
前回の（その１）に続いて除害装置の主な方式とその方式のメリット・
デメリットを紹介致します。
今回は残りの『燃焼式』、『電気加熱式』、『プラズマ式』を紹介します。
１、燃焼式
一般的に気体燃料（都市ガスやプロパンや水素）の燃焼火炎を利用
して分解処理するものです。可燃性ガスは着火源（火種）があれば燃
えてくれます。ＰＦＣガス等は燃焼火炎で熱分解させます。
メリット ：大流量処理に向いています
運転ＯＮ（着火）で直ぐに処理が可能
デメリット：燃料の設備が必要
高温の処理ガスを冷ます為に、大量の空気もしくは水が必要
２、電気加熱式
ヒーターの熱を利用して分解処理するものです。
メリット ：必要な用力が少ない（電気・水）
デメリット：処理対象ガスによって、ヒーターへの負荷が高くなり定
期的な交換が必要となる。運転ＯＮから処理可能までに
２～４時間程度の暖気運転時間が必要で高温の処理ガス
を冷ます為に、大量の空気もしくは水が必要
３、プラズマ式
超高温（２０００℃近く）のプラズマ熱を利用して分解処理するもの
です。プラズマの発生方法として、マイクロ放電、ＲＦ放電、アーク放
電などがあります。身近なプラズマの例として家庭にある『蛍光灯』は
アーク放電を利用したものです。
メリット ：必要な用力が少ない（電気・水）
デメリット：どのプラズマ発生方法であっても、定期交換部品が必要
高温の処理ガスを冷ます為に、大量の空気もしくは水が
必要ここ数年で新しく販売された方式である為、納入実
績数が少ない。
今日はここまで！
次回は除害装置を導入する時に必要な情報を紹介します。
お楽しみに！！（＾Ｏ＾）／=
by 藤村F
排ガス処理装置（除害装置）のことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、ご連絡ください。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月14日 水曜日
天気 曇りのち晴れ
ボンベ庫の温度 朝20℃、昼30℃
です。
野口晴哉 「苦」 より
苦を避くるは苦の因
楽を求むるは苦の因
楽のみならば
楽すでに楽ならず
苦中に感ずる楽こそ
真の楽なり
楽は自然に来るもの
苦は自ら迎え求むるもの
世に苦なし
されど人 楽を求めて苦しむ
苦楽一なり
離れて存在すべからざるものなり
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年07月13日
Q, 「圧力」 とは？
A, 「単位面積を垂直に押す力」 のことです。
単位面積は、1cm2（平方ｾﾝﾁﾒｰﾄﾙ）、1m2（平方ﾒｰﾄﾙ）、1in2（平方ｲﾝﾁ）、1ft2（平方ﾌｨｰﾄ）、1km2（平方ｷﾛﾒｰﾄﾙ）など、数値が「１」の面積のことを言います。
力の単位には、[g重]、[kg重]、[dyn]、[kg・m/s2]、[g・cm/s2]
などいろいろあります。
従って「圧力」は、面積の単位と力の単位の組み合わせによっていろいろな表現が
できます。
・面積1[cm2]の面を垂直に押す力[kg重]
・面積1[m2]の面を垂直に押す力[N]
・面積1[cm2]の面を垂直に押す力[dyn]
圧力 ＝ 力 ／ 面積 （ 力 ÷ 面積 ） ということですから、圧力の単位についても
圧力の単位 ＝ 力の単位 ／ 面積の単位 （力の単位÷面積の単位）となります。
・[ kg重 ／ cm2 ] ｷﾛｸﾞﾗﾑ重毎平方ｾﾝﾁﾒｰﾄﾙ
・[ N ／ m2 ] ﾆｭｰﾄﾝ毎平方ﾒｰﾄﾙ
・[ dyn ／ cm2 ] ﾀﾞｲﾝ毎平方ｾﾝﾁﾒｰﾄﾙ
※ほかにも [ g重／mm2 ] [ g重／in2 ] など他にもたくさん考えられます。
ここで理解し難いのが、旧単位の kgf/cm2 と 現行SI単位系の MPa との、「単位の考え方の違い」と、「数値の違い」なのです。
旧単位の kgf/cm2 は、上記の説明の通り、1cm2の単位面積あたりに加わる kg単位の重さが加わった状態を圧力にしたものです。
ところが・・・
MPa単位は、1m2の単位面積あたりに加わる力 N （ﾆｭｰﾄﾝ）のことです。
ニュートンの定義は、1 kg の質量の物体に働くとき、加速度の大きさが 1 m/s2の加速度を与える力の大きさとしています。
重量 [kg重] と 力 [N] でただでさえ解り難いのに、加速度 [m/s2] まで出てきたら
ようやく国家試験の一販や二販、設備士を取得した人でも、面倒くさくなりますね。
考え方から離れて、単純に換算式で計算してしまうほうが簡単です！
1 kgf/cm2 ≒ 0.098 MPa
（１キロは、だいたい ０．１メガ）
1 MPa ≒ 10.2 kgf/cm2
（１メガは、だいたい １０キロ）
※ 1 kgf/cm2 ≒ 98 kPa
1 kPa ≒ 0.01 kgf/cm2
お試しください。
高圧ガスのご用命、高圧ガス設備の準備、お見積もり、ガス配管工事施工まで
川口液化ケミカル株式会社へご連絡ください。
TEL ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
７月１３日 火曜日
天気 あめ
ボンベ庫の温度 朝23℃、昼22℃、夜21℃
です。
整体法創始者の伝記
「回想の野口晴哉 朴歯の下駄」
野口昭子（近衛文麿長女） 著より
「溺死した人の体は水に浮かぶということだが、溺死する人は体が浮かばない
から、沈むに違いない。死んだ人が浮かんで、生きている人が浮かばない第
一の理由は、沈むまい、浮かぼうと足掻くからだと、ある水泳の名人が私に語
ったことがあったが、浮かぼうと焦り、沈むまいとする努力を捨てれば、自づか
ら浮かぶ。
人の体は本来浮かぶものだと悟ることが、水泳上達の秘訣であって、浮き袋
に頼るうちは、決して上昇しないものとも語った。
然るに本来、健やかであるべき生命に生きている多くの人々は、沈むまい、
浮かぼうと、もがいている。健康になろう、丈夫になろう、病気を治そうと、努め
焦る程に、却って本来の生命の働きが発揮されなくなる。
生命の合目的性や適応作用を、十分に働かせるには、やはり本来の健康に
目覚め、いろいろの浮き袋を捨ててしまわなければならない・・・。」
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年07月12日
ちょっと古いのですが、成膜装置のＣＶＤについてご紹介いたします。
CVDで成膜する主なガスを使用しての反応膜は？
SiO2 SiH4 + O2 → SiO2 +H2
PSG SiH4 + PH3 + O2 → SiO2 + P2O5 + H2
Si3N4 SiH2Cl2 + NH3 → Si3N4 + HCl + H2
ﾎﾟﾘSi SiH4 → Si + H2
W WF6 + Si → W + SiF4
WSi2 WF6 + SiH4 → WSi2 + HF + H2
などです。
CVDは、高温での化学反応で酸化膜や窒化膜などなどの薄膜をウエハー上に
堆積させる方法で、SiO2膜はシラン(SiH4) を酸素と反応させて作られます。
層間絶縁膜に用いられる PSG(Phospho-Silicate Glass) を作る場合に、ﾎｽﾌｨﾝ
(PH3) を添加すると P が SiO2 に取り込まれて PSG ができます。
窒化膜 Si3N4 は、アンモニア(NH3) とジクロルシラン(SiH2Cl2) あるいは SiH4
との反応で作られます。ポリシリコンも SiH4 の熱分解で作られ、金属膜のタング
ステン(W) やタングステン・シリサイド (WSi2) も化学反応で作られます。
ＣＶＤ成膜の方法には減圧ＣＶＤと常圧ＣＶＤの２種類があり、減圧ＣＶＤは
LPCVD ( Low Pressure CVD ) といわれ、大気圧の 1/100 ～ 1/1000 の低い
圧力で成膜されます。低圧のためにガス分子同士が衝突する機会が減り、広範
囲にわたりガス濃度が均一になるため、膜の成長も均一になるのです。常圧CVD
は大気圧での成長ですから膜圧の均一性はＬＰＣＶＤに比べ劣りますが、ガス
分子の数が多いので膜の成長速度が早い特徴があります。
ＣＶＤ膜の成長温度を下げるためには、光ＣＶＤで水銀ランプやエキシマレーザー
の紫外線を炉内のガス（SiH4,Si2H6)に当ててガスの分解を促進させた結果、低
温での反応が可能になります。プラズマＣＶＤでは、減圧下での放電で発生した
ラジカルの高い活性度によって、低温での反応が可能になるのです。
各種ＣＶＤで使用する、ガス供給系、ガス制御機器、装置組込ガス配管
特殊ガス配管工事など、川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
７月１２日 月曜日
天気 曇りのち雨
ボンベ庫の温度 朝25℃、昼27℃、夜26℃
です。
「自分のせいじゃない」 なんて、小さなことを言ってちゃ
いつまでも 「器」 は、小さいままだ。
どれだけ損をして、どれだけ許せたか。
それが、あなたという「器」。
ｂｙ との
