ガス・真空などにまつわる様々な事をお伝えいたします。
本日の流量計は「熱式流量計」です。
「熱式流量計って？ なんですの？」
そんな声が聞こえてきそうです。
私もそうした名称をマスフロコントローラーなどが
該当するんだと最近知ったくらいです。
通称、マスフロコントローラー（ＭＦＣ）、マスフロメーター（ＭＦＭ）
などをさして熱式流量計と呼んでいます。
半導体産業などで気体の質量流量を計測するために多く使用されています。
熱式流量計というのは、古くから様々な方式が提案されていますが
基本的にはセンサーが流れに直接接しているタイプと管路の外部に
コイルを巻いて（センサーチューブ）過熱するタイプに分けられます。
内部センサータイプは、応答性が速いものの、流体を限定されることと
汚れなどにより感度が劣化するといった欠点を持ちます。
様々な流量計の長所と短所を挙げていきます。
まずは、「面積式流量計」です。
目盛りのついたテーパーガラス管（プラスチック管もあります）の
の中に浮き子が入っています。
その浮き子の位置からそのときの流量を読み取るものです。
溶接用電源トーチパージ用のアルゴンガス流量計などに
多く使われています。
そのままでは正確な測定が難しい（精度によります）ものですが
大まかな流量を測りたい場合には安価で使いやすい流量計です。
浮き子の位置を、センサーで感知し、リミットスイッチとして使用する
一体型のものも多くなってきています。
さらに数種類の解説を致します。
流量計の種類は、どのくらいあるのでしょうか？
先日、面積式、質量流量式とご説明してまいりました。
実は、気体、液体、圧力などの違いにより
様々な流量計が存在します。
以下の種類の流量計がそれぞれの環境により
推奨機種が異なります。
ＵＶ：超音波流量計
ＳＶ：音速ノズル
Ｔ ：タービンメーター
Ｏ ：オリフィス
ＧＭ：膜式ガスメーター
ＰＤ：容量式流量計
ＭＦ：熱式質量流量計
さて、気体の場合、液体の場合の利用分野はいかに？
昨日に引き続き、流量についての説明です。
流量を測定したい場合、具体的に何を測定したいのか？
何を知りたいのかをはっきりさせておくことが必要です。
測定対象が気体なのか水なのか？
欲しい流量計は、質量流量計なのか
体積流量計なのか、瞬時流量なのか積算流量なのかな？
細かな条件として
測定対象がどのような流れなのか？
排ガスのような汚れた流れなのか？
水道水のような綺麗な流れなのか？
定常に流れているのか、変動しているのか？
以上のような測定の目的を明確にしておくことが
大切です。
（あとで何台も買い足すことが、ありますのでご注意を。）
面積式流量計（フロメーター）や質量流量計（マスフロコントローラー）など
指示値を信用しても良いのでしょうか？
カタログスペックや取扱説明書の数値は、どのように決定されているのでしょうか？
「そんなこと知らなくても、値が正しければ良い」というユーザーは多いと思います。
流量計は、何らかの方法で校正（補正）されています。
その方法がどのような校正装置、校正方法をおこなって決定しているかを
確認する必要があります。
どのような条件で校正され、どのような方法でデーターが取られ、どのようにして
測定の不確かさが決定されたかです。
究極的には、国家標準の信頼性ある標準機とトレーサビリティーが取れているかどうかです。
これによって、流量計の指示値が勝手に付けられた値でないことを証明できます。
必要とあらば、国家標準とのトレーサブルである証明書を見せてもらう必要がありそうです。
※校正とは
校正とは「流量計の指示値と測定される流量との関係をある条件の下で与える
補正係数を決める作業」と定義されております。
大切なのは、校正という作業が、校正時の指示地に対してその値を保証するものであり
次の瞬間には保証するものではないということです。
決定的な校正とその校正記録があって初めてその流量計の指示値を信頼性を
保証することができるのです。
真空の世界は、地球上にある空気（ガス分子）をすべてなくし
人工衛星が宇宙遊泳している宇宙空間と同じ環境を
地球上で人工的に作るものです。
それに伴う産業も、多くの特殊な技術を必要とします。
超高真空技術
極低温技術
高温技術
光学技術
こうした技術を駆使し
・地球環境
・情報、通信
・輸送
・化学
・バイオ
・医薬
・薬品
・宇宙
・航空
・半導体
・薄膜
・電子部品
・加速器
・放射光
・イオンビーム
・レーザー
・電子ビーム
・原子力
・新エネルギー
などの分野で新しい機器装置も創出されております。
・重力測定装置
・原子泉型標準器
・常温接合装置
・RHEED内臓 表面分析装置
・真空環境試験装置
・電子顕微鏡マニピュレーター
・極低温ステージ
・レーザー用マニピュレーター
・アルミニウム合金製チャンバー
・銅合金製チャンバー
・ステンレス合金製チャンバー
・FED評価装置
すべてーダーメイド製品でございます。
冒頭の「常温接合装置」とは？
概要
ウエハ常温接合装置は異種材料のウエハ直接接合や
ウエハ上に作成された微小デバイスの一括接合を行う
装置です。
真空チャンバー内で、２枚のウエハ表面をイオンガンにより
クリーニングすることにより、常温での接合を行います。
４インチまでのウエハに対応し、高精度の位置決め機能を備えています。
マイクロアセンブリ用超高真空多軸ステージは微小デバイスの
チップごとの組立・実装に使用します。
試料は２つの高精度の位置決めステージに装着され、任意の位置と
姿勢で高精度の接合が可能です。（製作ﾒｰｶｰ：ﾑｻｼﾉｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ様）
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ ０４８－２８２－３６６５
ありがとうございます
今日の格言
人生の目的は？
「かれの考えによると、人間はある目的をもって生れたもの
ではなかった。これと反対に、生まれた人間に、はじめて
ある目的ができてくるのであった。
最初から客観的にある目的をこしらえて、それを人間に
付着するのは、その人間の自由な活動を、すでに生まれたときに
奪ったとおなじことになる。
だから人間の目的は、生まれた本人が、本人自身につくったもの
でなければならない。」
（夏目漱石）
１台 \420,000- 納期：約１．５ヶ月間
（最大流量：17L/min、最大供給圧：0.875MPa、露点：-73℃、CO2含量：＜１ppm）
研究機関様（大学・国の研究機関様など）の研究室では、分析機器や装置に使用するさまざまなガスをボンベで持ち込み、減圧弁（レギュレーター）を介して使用されております。
実験をする研究員や学生さんは、ガスが無くなったらボンベを交換するために実験・分析を
休止して業者の立会いや、直接ガスボンベを交換することになります。ガスの用途はさまざま
ですが、研究内容によってはガス切れにより実験を台無しにしてしまうため、常にボンベ内の
ガス残量を気にする必要があります。
そうしたガス交換、残量管理の面倒を解決する手段として、ガス発生装置が利用されるケースが
出てまいりました。
ガス発生装置の選定は
・使用するガスの種類
・必要な純度や流量
・１日の操業時間
・弊社のような業者から購入されているガスの価格
などの条件によって決定します。
用途も
・FT-IR分光光度計のパ-ジガス
・１日２４時間稼動するFIDの燃焼ガス用の水素
などのケースでメリットが大きいようです。
必要なガスが自動的に安定して供給され、かつ比較的安価に得られるのがメリットです。
予防的保守は通常は年１回フィルター交換など行えばよく、装置の停止はほとんど必要ありません。
良いとこ取りの説明（メーカー：Parker社）のみ致しましたが、もちろんすべてがすべて
オールマイティではありませんのでご注意ください。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の格言
人生の目的とは？
「生きることが人生最大の目的」
（グリルバルツァー）
１式 \320,000-（税抜き）工事費別 ※写真のボンベは撮影用に用意したものです。
ガスを使いたいけど何を用意したらいいんだろう？
ボンベは用意したけど、バルブとか、圧力調整とか、配管とか、置くのはどうしよう？
そんな疑問を１台のガス供給装置として解決できてしまうのが
半自動ガス切替装置です。
これならば、ボンベが安全に設置できて（固定できて）、ボンベ圧力を調整する
圧力計、圧力調整器（レギュレーター）が付いていて、切替バルブが付いていて
ガスを消費する装置・機器との接続配管を用意するだけです。
以下、商品説明を列記します。
・半自動切替装置は、ガス供給(ボンベ）を２系列に分け、どちらか一方の系列より
ガスを供給してゆき、一方のボンベが空になると、他方の系列に自動的に切り替わります。
・空になったボンベを充ボンベに交換し、切替ハンドルを操作するだけで、連続的にガスを
供給できます。
（ガスを供給しながらボンベを供給することが可能です。）
・切替ハンドルを倒すだけで切り替わるので、操作が簡単です。
・入口部に小型逆止弁を内蔵しておりますのでボンベ交換時、入口部よりガスが
噴出することはありません。
・系列切替時に電気を使用しないので、水素などの可燃性ガスにも使用できます。
（ヒーター付き、接点付き圧力計などは、使用できません。）
以上ガス供給系に、ガスを消費する装置・機器までの配管工事、末端バルブ
圧力計、流量制御など考慮すれば完成です。
そのほか、ガスボンベの本数（ガス消費量に依存）、ガスの種類、圧力センサー
（無電圧式）、エアー駆動バルブによる自動制御、計装シーケンスの搭載など
お客様の望まれる仕様でご提供いたします。
川口液化ケミカル株式会社
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高圧ガス、低温機器、真空機器まで
今日の格言
人生とはなにか？
「邯鄲（かんたん）の夢」
（中国）
人生の栄枯盛衰は、はかないものである。
長いと思っていた一生は、ごく短い間の出来事に
すぎなかった物語です。
弊社では、高圧ガス販売・高圧ガス機器装置販売、高圧ガス用配管工事など
生業としながら、真空機器の販売、真空チャンバーの製作、真空ポンプのメンテナンスまで
請け負っております。
本日は、真空ポンプをご紹介します。
真空ポンプと総称しますが、低真空から超高真空領域まで
さまざまな真空ポンプがあります。
１、輸送式真空ポンプ
１） 容積移送式真空ポンプ
A) 復動式ポンプ
ピストン真空ポンプ
B) 回転式ポンプ
液封真空ポンプ
油回転(真空）ポンプ
回転翼形油回転ポンプ
カム形回転ポンプ
移動ピストン形回転ポンプ
ルーツ真空ポンプ
２） 運動量輸送式真空ポンプ
A) 機械的ポンプ
ターボ（形）真空ポンプ
分子ポンプ
ターボ分子ポンプ
B) 流体作業式ポンプ
エジェクタ(真空）ポンプ
液体ジェット(真空)ポンプ
気体ジェット(真空）ポンプ
蒸気ジェット(真空)ポンプ
拡散ポンプ
拡散エジェクタポンプ
分留形油拡散ポンプ
自己洗浄形油拡散ポンプ
２、気体溜め込み式真空ポンプ
ソープションポンプ
ゲッタポンプ
サブリメーションポンプ
ゲッタイオンポンプ
蒸着イオンポンプ
スパッタイオンポンプ
クライオポンプ
クライオソープションポンプ
ありとあらゆるポンプが列記されてます。
（オーム社 真空ハンドブックより）
以上のポンプは
低真空→中真空→高真空→超高真空→極高真空
各領域で使用するポンプはおのずと分類されてまいります。
とは申しましても、一般的には
低真空
ロータリーポンプ
ダイアフラムポンプ
ドライポンプ
高真空
油拡散ポンプ
ターボ分子ポンプ
クライオポンプ
ゲッタポンプ
などに分類されてまいります。
各真空領域用の用途に即した、それぞれご予算なりのポンプを
お勧めさせていただきます。
また、ポンプのアフターメンテナンス対応いたします。
ロータリーポンプなどの油漏れ、故障などオーバーホール品の引取りから
完成品の納入まで対応いたします。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の格言
人生とはなにか？
「貧乏人とは少ししか持たない者のことではなく
たくさん欲しがる者のことである。」
（スウェーデン）
読んで字の如く。
タイトルの数値は、弊社の鋳造業のお客様がお造りになられている
エンジンの馬力数です。
連続最大出力 １６，３６０ kW
２２，２４０ PS
回転数 １０５ min-1
シリンダ数 ８
シリンダ径 ６００mm
行程 ２，３００ｍｍ
機関全長 １０，０８９ｍｍ
重量 ４６０ ton
乗用車と比較するとビックリするような諸元表です。
シリンダー径が、なんと６００mmです。
大きなシリンダーが、一分間に１００回以上も上下するんです。
さながら建設現場の杭打ちのドカンドカンという動作を
８本の横に並んだシリンダーが正確に順番に動くわけです。
圧巻です。
弊社ではこのエンジンを製造されているメーカー様の
鋳物工場様でお世話になっております。
キューポラという溶解炉に酸素を供給し、生産性向上、
歩留まり改善、初湯の低減など目的に酸素ガスを
ご利用いただいております。
「キューポラ酸素冨化」と称する技術です。
埼玉川口で多くの実績を持ち（平成元年６０件）
お喜びいただいております。
現在では排ガス規制や職人さん確保の問題などから
電気溶解炉（誘導炉）に変わりつつあります。
そこへ新たにガス炉をご提案できるのが弊社の強みです。
溶解コストはキューポラ並み。
契約電気料を必要とせず、材料を選ばず、安価に溶解できます。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の格言
人生とはなにか？
「床屋へ行けば一日幸せ
妻をめとれば一週間
新馬を買えば一ヵ月
家を建てれば一ヵ年
正直に暮らせば一生幸せ。」
（イギリス）
正直に暮らすことがいかに大切であるかを
説いています。
日本にも「正直の頭に神宿る」といういい方があります。
