除害装置
除害装置の選定や設置にはプロセスガスのデポジット率
（未反応率）や副生ガスの発生量を真空排気したガスのを
勘案し選定する必要があります。そのためのプロセスおよび
プロセスに導入するガスの成分や濃度、量、性質などの情報
が重要な情報となります。
除害装置のへの排ガスの導入配管や除害装置出口の排ガ
スダクトについても、除害装置と同様に以下のような注意が必
要です。
・配管類は気密構造で、可燃性ガスの場合は不燃性の材質を
使用する
・排ガス導入配管類は、曲げ（エルボ）部分を極力少なくし、簡易
なもので、合流部を設ける場合は逆流しない構造とすること
・処理ガスごとに排気配管を分離して、配管内で処理ガスの相互
反応や空気との反応を防止、急激な温度上昇や危険な堆積物
などの生成を避けます
・排ガスダクトは堆積する粉体などを容易に、安全に除去できる構造
とし、真空ポンプからの逆流するオイルミストなどが付着しないよう
トラップやフィルターなど設置する必要があります
特殊ガスを利用する半導体製造装置や実験装置、真空装置などの
ユーティリティー配管（特殊ガス配管、排ガスダクト配管、真空配管
冷却水配管、電気配線工事）など川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
5月28日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝21℃、昼24℃、夜２2℃
です。
今日の環境情報は？
夏、エアコンの寒さのために体調を崩したり、冬、部屋の
中で汗をかいている人がいる。そもそもおかしな話ですよね？
みんなが服装にちょっと気を使うだけで、これは解決できる
こと。無理な節約するまでもなく、冷暖房の使用を1℃控える
だけで、大きな削減効果が期待できます。家庭では、人がい
ない部屋のエアコンをこまめに止めることも大切です。会社な
どでは、設定温度を変えることは、ひとりではできません。まわ
りの人たちと一緒に、冷暖房の温度に対する意識を高めるよう
にしましょう。