真空の知恵 2006年10月30日
真空計のご紹介も9種類目です。
かなり汎用性の低い特殊な真空計のご紹介となりますが
大変恐縮ですが、私自身の勉強を兼ねてお知らせさせて
いただきます。
本日は「マクラウド真空計」のご説明です。
マクラウド真空計は、またの総称を圧縮真空計といいます。
英文名では McLeod gauge (Compression gauge) です。
外観上は、最下部にガラス球が位置し、その上へガラス細管が
２系統立ち上がっています。ガラス管途中で直線部の水銀が
上下する差異を測定し真空度を計測します。
実際の原理は、気体が正確な倍率で水銀により圧縮され
液面の差から圧力を測定します。ボイルの法則で元の圧力を
求める真空計で、圧縮比を高めると 10 -3Pa まで測定可能です。
特徴としては、基本物理量の測定から全圧測定できますので
他の真空計の校正基準器として利用されます。
ただし、凝縮性のガス体は計算不可能ですし、構造が複雑なため
測定には経験が必要です。
測定自体も連続的に行えないため現場作業には向きません。
真空計シリーズはこのあと高真空計対応機種へ移っていきます。
真空計のご相談ご検討の際の機種選定など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
よろしくお願いいたします。
ありがとうございます。
人生の格言
運命を切り開く言葉とは？
みんなが「不景気だ不景気だ」というときは、まだ不景気
ではない。みんなが「もうダメだ」と思ったときが、本当の
不景気なんだ。
（松下幸之助）
真空の知恵 2006年10月29日
真空計の構造で、最も単純明快、簡単なもので
マノスターゲージのご紹介です。
Ｕ字管真空計（液柱差真空計）
U-tube manometer(Liquid level manometer)
ガラス製のＵ字管の一方の端を真空に排気して
封じた差圧計です。
液柱の高さを実測して真空度を測ります。
作動液は通常比重の大きな水銀を用います。
この方法も、構造が単純なためガス種による差異はなく
圧力が絶対測定できます。その反面、温度や重力の影響を
受けますので補正が必要です。更には毛管現象で作動液面が
曲面なので液柱差の読み方に測定する個人差がでないよう
注意したいものです。
この真空度圧力計も大気圧に近い低真空計であることから
プラス圧のガスでも燃料ガスなどの気密テストなどに多用され
ております。
真空計・ガス圧力計のお問い合わせは
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
よろしくお願い致します。
ありがとうございます。
人生の格言
運命を切り開く言葉とは？
「人間は毅然として現実の運命に耐えていくべきだ。
そこにはいっさいの真理がひそんでいる。
（ゴッホ）
真空の知恵 2006年10月28日
真空計でもあり、正圧の圧力計でもある
ブルドン管真空計のご紹介です。
皆さんがよくご覧になられる圧力計ですと
タイヤの空気圧を確かめるゲージなどありますが
それと真空用途用でも構造は同じです。
ブルドン管真空計（弾性真空計）
英文名：Bourdon gauge(Elestic element gauge)
楕円断面の中空管（これをブルドン管といいます）を
コイル状に曲げて（240度くらい）末端は行き止まりに
なっています。
圧力が変化することで、ブルドン管が伸び縮みしますので
それを機械的に増幅して圧力計の指示する針に表して
いるのです。
このときご注意ください。ブルドン管式圧力計は、正圧用
（大気圧以上のプラス圧力）は真空用に使用しますと壊れます。
また、真空用を正圧に使用しても壊れます。
特に真空用のブルドン管は壊れやすいので注意してください。
また、正圧用の場合装置側などで正圧のガス圧以下で真空引き
されることなどあります。そうした場合は、プラス圧だけでなく
真空領域まで使用できるマイナス表記がある連成計付きを
選択するようにしてください。
この真空計は、他の真空ゲージと異なり頑丈ですので生産工程でも
多く利用されています。また、ガス種による指示値の違いはありません
ので、ゼロ点あわせの圧力校正（トレーサビリティ）さえ取れていれば
汎用性の高い真空計として使用できます。
ただ、振動に弱く、運転操作を誤って一気に大気突入したり、真空引きも
急激に行うと指示値が狂う可能性もあります。ご注意ください。
圧力計（真空用・ガス圧用ともに）のご用命は
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
多種多様なブルドン管式圧力計が世の中には存在しますので
お客様のご希望とする圧力計を機種選定しお薦めさせていただきます。
TEL 048-282-3665
よろしくお願いします。
ありがとうございます。
今日の格言
女性にとっての人生観とは？
「楽しい人には草も花
いじけた人には花も草」
（フィンランドのことわざ）
心の在り方一つで、醜いものも美しく
美しいものも醜くなるといった意味なのでしょうか。
真空の知恵 2006年10月27日
真空計の種類も６種類目のご紹介になります。
ちょっと聞きなれないものも出てまいります。
膜式真空計（弾性真空計）のご紹介です。
英文名は Diaphragm gauge(Elastic element gauge)です。
まだ、ピンとこないですね。
一般的には、キャパシタンス・マノメーターと呼ばれています。
MKS社さんで著名な真空計というか大気圧計というか
低真空領域の測定計です。
薄い円形の金属片やものによってはセラミック板の平板または
波板を隔膜として、真空側と大気側の圧力差によって生じる膜の
変位をインダクタンス変化や静電容量変化でセンシングしたり
歪センサーで検知する差圧計です。
この真空計は、原理が単純なためガス種によって値に影響を
受けない絶対圧を測定可能です。そのため他の種類の真空計の
校正基準機として用いられたりしているようです。
その反面、反応性ガスに対する耐性や、ヒーターつきガス種により
ヒーター付きの機種を選択しなければならない場合などがあります。
他の真空計と比較すると、高価な真空計です。
絶対圧真空計、キャパシタンスゲージのご用命、ご相談は
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL 048-282-3665
よろしくお願いいたします。
ありがとうございます。
今日の格言
女性にとっての人生観とは？
「子を育てることが覚えてから嫁に行く女がいるか」
（朝鮮のことわざ）
不言実行こそ美徳といった意味。
実際にやってみもしないで、予想される結果だけをあれこれ
思い煩ってもなんにもなりはしない。先ず、なにはともあれ
やってみなければ事の良し悪しはわからない。
ガスの知恵袋 2006年10月26日
ﾊｽﾃﾛｲC22とSUS316Lとの腐食度比較テスト
半導体ガス供給システムなどに使用されている管材や機器などは
オールメタル化しております。
しかし、汎用性の高いステンレス鋼SUS316Lは、腐食性ガスに対して
万全ではありません。
腐食性ガスの配管ラインを超高純度仕様にするためにSUS316Lよりも
ﾊｽﾃﾛｲ材を使用した構成機器が必要とされております。
難切削素材であるﾊｽﾃﾛｲを機械加工し特殊研磨を施すことで、真の
パーティクルフリー
コンタミネーションフリー
デッドゾーンフリー
コロージョンフリー
を実現した超高純度ガス供給システムが可能になります。
ハステロイ製の管材、ガス機器、継手部品などご相談は
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
よろしくお願い致します。
ありがとうございます。
今日の格言
女性にとっての人生観とは？
「化粧は女の社会的地位を表現するものだ。」
（ボーヴォワール）
ガスの知恵袋 2006年10月25日
地震、雷、火事、親父
高圧ガスを扱う我々にとって、自然災害が発生した時の
二次災害をいかに防ぐかは、とても重要な課題です。
ガス供給設備のボンベや供給源であるタンクに出来るだけ
近い場所で、緊急時にはガスを遮断するのが望ましいと
されております。
バルブは自動で遮断するにしても、もとになるセンサーの選定も
重要です。現在、感震器（地震時のセンサー）は多々あります。
（水銀式、鋼球式など）
以下にご紹介するセンサーは、２枚の金属片を固定し、その間隔
のずれをセンシングする感震装置です。
※中心部の実装基板上にある黒い樹脂に覆われた金属片２枚（縦と横に配列）
特徴
・応急処置などの制御用途に最適です！
・揺れの強さの最大値を４段階LEDで表示され
（100ｶﾞﾙ、150ｶﾞﾙ、200ｶﾞﾙ、250ｶﾞﾙ）の動作設定が
可能ですので細かな制御が可能です！
・取り付け場所の共振を低減するため小型・軽量です！
H119xW64xD50 (mm)
・地震判別処理回路を内蔵しているので、衝撃による
誤動作が少なくなりました！
・緊急処置に不可欠な高速応答です！
ex : 設定値 100(100±15gal) 周期 0.3秒
1G=980(gai,cm/s2)
計測した加速度の最大値を瞬時に加速度表示灯に
表示いたします！
・内臓センサーに異常が生じるとＬＥＤと外部出力で
異常を検知します。
地震波を感知すると警報をリレー若しくは多点出力信号として
取り出せます。この信号を利用し緊急遮断弁などを閉止しすれば
地震時の供給ガス自動遮断システムが一応の完成です。
※ただし、感震器には誤動作が付きまといます。
地震波に類似したうねりや振動などには対応できない可能性が
あります。
感震器のご用命、システムとしてのご検討など
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
よろしくお願い致します。
ありがとうございます。
今日の格言
女性にとっての人生観とは？
「男はダメだよ。位階や勲章に目がくらむからね。
そこへ行くと、女には勲章をぶら下げて喜ぶような
バカはいないから頼もしいよ。」
（福田英子）
(さらに…)
真空の知恵 2006年10月24日
そろそろ聞きなれない機種が登場してまいります。
商品知識として、ご覧ください。
四極子形質量分析計
（非偏向形質量分析計）
通称、四重極などとも呼ばれます。
この真空計（真空計といっても精度が高いので分析計といえます）は
測定するガスをイオン化するイオン源部と、そのイオンの質量電荷比
に応じて分離する質量分離部と、さらには質量分離したイオンを検出
するイオン検出部から構成されます。
各ガスごとの分圧測定を行えます。
質量分離方式によって、偏向形（磁場計）と非偏向形に分けられます。
四極子形は非偏向形に属するもので、質量分離部は４本の柱状電極
から構成されております。
特徴としては、質量数がリニアで、各ガスのピークが読みやすいことです。
また、マグネットを利用していないので小型であり、軽量なセンサーです。
質量分析計、Qマスなどのご相談ご購入の際には
川口液化ケミカル株式会社まで、ご連絡ください。
TEL 048-282-3665
よろしくお願いいたします。
ありがとうございます。
今日の格言
女性にとっての人生観とは？
「育児は芸術である。」
（ハーロック）
真空の知恵 2006年10月23日
エキストラクタ真空計
この真空計も、昨日の熱陰極電離真空計の一種です。
英文名：Extractor gauge(Hot cathode ionization gauge)
シールドに囲まれた集イオン電極を、円筒状のグリッド軸に沿って
更にその外側に置き、グリッドからの軟X線の影響を低下させることで
測定範囲を究極の2 x １０ -10Pa まであげた超高真空用真空計の
王様です。
実際には、電極構造が複雑なために電極自体からの放出ガスや
その他の要因などクリアーした上でないと数値にバラつきが出るため
扱い難いゲージでもあります。
極高真空チャンバーや極高真空のコンポーネント、真空計など
ご相談ございましたら、よろしくお願いいたします。
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
よろしくお願いいたします。
ありがとうございます。
今日の格言
女性にとっての人生観とは？
「女性は意識して母になるかならないかを決めるように
ならなければ、ほんとうに自由とはいえない。」
（Ｍ・サンガー）
真空の知恵 2006年10月22日
ベアード・アルパート真空計のご紹介です。
ベアード・アルパート？
知らないなあ？
高真空領域では、とってもメジャーな真空ゲージです。
大学、官公庁研究室では先ずこの真空計が使われてます。
「ＢＡゲージ」だと解りますよね。
日本名は「熱陰極電離真空計」です。
因みに英文名は Bayard-Alpert gauge・B-A gauge
・Hot cathode ionization gauge です。
ガラス球の中にフィラメントが発光している状態をご覧に
なられているでしょう。筒状のグリッドの外側に熱陰極を配置して
軸線上に細線の集イオン電極を配置してX線限界を低下させます。
三極管形と比較すると測定可能な圧力限界が広くなった熱陰極
電離真空計です。
経時変化するので、圧力測定値の校正などきっちり行い管理
することが必要とされています。また、実際のゲージの設置する場所
取り付け位置や周囲の電界、磁界など影響を多分に受けますので
注意しましょう。
根本的に、ガス導入や真空が低下する際など、フィラメントが切れ
ないようにハンドリングしないと都度センサーヘッドを交換すること
にもなりますのでご注意ください。
B-Aゲージ（B-A真空計）真空計のご用命ご相談は
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
TEL 048-282-3665
よろしくお願いいたします。
ありがとうございます。
今日の格言
女性にとっての人生観とは？
「子供を、いつ、何人もつかを決めるのは女性の権利で
これを制限するようなことはすべきでないと思う。」
（Ｈ・シピラ夫人）
真空の知恵 2006年10月21日
本日は、高真空領域で多く使用されている
ペニング真空計のご紹介です。
ペニング真空計は、別名冷陰極電離真空計と呼ばれ
コールドカソードゲージとも呼ばれています。
Penning gauge (Cold cathoude ionization gauge)
熱陰極型の熱フィラメントより熱電子に代わって、冷陰極
放電による電子を利用することでフィラメントが焼損しない
構造になっています。基本構造は電離真空計です。
陰極で発生した電子を磁界の作用でラセン運動させて
電子の軌道を長く取りイオン化率を高めています。
ガス種によって感度が変化しますし、ポンプ作用も大きな
ものです。熱陰極型と比較すると直線性や再現性が若干
劣ります。その分電気回路が簡単なためセンサーヘッドが
堅牢で長寿命なことがメリットです。一般産業用途では、真空
度の値に細かな精度を求めないアプリケーションで多く利用
されております。
ペニング真空計のほか、真空計のご用命、機種選定など
ご相談は、川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL 048-282-3665
よろしくお願いいたします。
ありがとうございます。
今日の格言
女性にとっての人生観とは？
「聡明な女性は生まれながらに数百万の敵を持っているが
それはみな愚かな男たちだ。」
（エッシェンバッハ）
