真空の知恵 2006年07月26日
真空中で、金属のチタンを蒸発させて真空容器の
内壁に膜を作ります。この膜の蒸着面に気体分子を
閉じ込めるように吸着させる真空排気ポンプです。
チタンの合金をフィラメント状にしたものだとか
タングステンフィラメントとチタンを線状にしたものや
チタンの薄板で半球状の中空の球をを作って
内部ヒーターで加熱・蒸発させる方法などあります。
これらの手段は、吸着した気体の量が増えていくと
いずれ吸着しなくなります。さらには、チタンを蒸発させて
引き続いて使用しますが、いずれチタンの蒸着膜が厚くなるので
膜の除去などメンテナンスも必要になる高真空用ポンプです。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の格言
理想への挑戦とは?
「一歩後退、二歩前進。」
(レーニン)
ガスの知恵袋 2006年07月25日
川口液化ケミカル?では、高圧ガスの設備から保安法対応まで
高圧ガス販売事業所としてガスを主に取り扱いながら、高圧ガス配管
施行まで対応しております。
ガスの種類も、一般高圧ガスから工業用加熱用燃料ガス、半導体
液晶産業用特殊材料ガス、実験用高純度分析用ガス、反応性
毒性、可燃性、自燃性ガスまで取り扱っております。
高圧ガス(正圧・プラス圧・陽圧)の真逆である真空にも幅広く
携わっております。容器から酸素などを排気するための低真空用
真空ポンプから、実験用超高真空チャンバー、高真空ポンプ
ステンレス、アルミ、銅、チタンまで溶接加工いたします。
更には、液体窒素温度(?196℃)の低温機器、低温実験用製作品
液体ヘリウム用極低温クライオスタットなど低温機器にも幅広く
対応しております。
更には、低温の真逆。高温熱処理炉など最高温度2300度の
真空、ガス雰囲気炉から高温蒸着源の蒸着装置まで製作いたします。
ステンレス加工、溶接、製作品の設計、実験装置のアッセンブリまで
ガス・真空・低温・熱処理などフィールドは幅広く対応させていただきます。
高圧ガス低温機器、真空機器
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今日の格言
理想への挑戦とは?
「神はこの世における心配事のつぐないとして
われわれに希望と睡眠とを与え給うた。」
(ヴォルテール)
ガスの知恵袋 2006年07月24日
高圧ガス保安法でも、消火器の能力で例えば B−10 といった
標記が見受けられます。
これは、自治省令第二十七号により定められた油の火災
に対する消火器の消火能力を示すものです。
具体的には、燃焼表面積 2m2 のガソリン火災模型の
火災を消火できる能力を有するものを指します。
それでは一般的な消火器の具体例をご紹介します。
能力単位 : A−3、B−7、C
型 番 : 10型
総 質 量 : 約6.4kg
薬剤質量 : 3.5kg
全 高 : 約51cm
全 幅 : 約22.5cm
放射時間 : 約17秒
放射距離 : 3〜6m
能力単位 : A−4、B−10、C
型 番 : 15型
総 質 量 : 約8.5kg
薬剤質量 : 4.5kg
全 高 : 約52cm
全 幅 : 約23cm
放射時間 : 約19秒
放射距離 : 3〜7m
能力単位 : A−5、B−12、C
型 番 : 20型
総 質 量 : 約10.1kg
薬剤質量 : 6.0kg
全 高 : 約62cm
全 幅 : 約23cm
放射時間 : 約22秒
放射距離 : 3〜7m
消火器は、長期間放置すると内圧が下がり
ハンドルを握っても出てこなくなります。
消火器は、詰め替えするものです。
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理想への挑戦とは?
「物の発展は、つねに弁証法的に行われるものである。」
(マルクス)
真空の知恵 2006年07月23日
低真空領域の 10 -2Pa を超えてくると、真空ポンプで
容器(チャンバー)の空間に存在するガス分子を単純に
排気しているのではなくて、チャンバーの材料(主にステンレス鋼)
などの表面に付着したガス分子を排気することになります。
そして、この表面に付着したガス分子とはほとんどが水分
によって占められています。。
この水分は、金属材料の表面にかなり強固に結合していて
そうそう簡単に蒸発してくれるものではありません。
(実感を込めて語らせていただきます。)
単純に真空ポンプで排気しつづけたとしても、排気曲線が
対数表示で右下がりの直線なので、だまっていたらとほうも
ない長時間を必要とします。
そこで「ベーキング」処理することが時間短縮
には絶対的に必要になります。
そして、実際のガス放出は、チャンバー表面の吸着ガスのほかに
金属内部の内部ガス、リーク、ガスの透過などが存在し
複合的に作用しています。
一つ一つが解消されて、やっと真空が下がりはじめ、超高真空の
領域に突入できるのです。
真空ポンプによる真空排気で、チャンバー内の雰囲気ガス分子を
排気するだけと勘違いしがちですが、実際には材料表面に付着
している吸着ガス分子を排気することが「真空排気」の世界であり
どこに、なにが、どれだけ隠れているか?
探すことが、超高真空、極高真空の主なお仕事なのです。
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今日の格言
理想への挑戦とは?
「なにもかも失われたときにも
未来だけはまだ残っている。」
(ボビー)
LN2 (液体窒素) 2006年07月22日
低温実験や真空中での試料の冷却など
冷凍機サンプルステージの製作や改造
新規設計から既存設備のバージョンアップ
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今日の格言
理想への挑戦とは?
「なにもかも失われたときにも
未来だけはまだ残っている。」
(ボビー)
ガスの知恵袋 2006年07月21日
数に関する実用接頭語のご紹介です。
数 呼称 記号 呼称(英語) 呼称(和語)
10 -12 ピコ(マイクロマイクロ) p(μμ)
pico-
10 -9 ナノ n
nano-
10 -6 マイクロ μ 微(び)
micro-
10 -5 センチミリ cm 忽(こつ)
centi-milli-
10 -4 デシミリ dm 糸(し)
deci-milli-
10 -3 ミリ m 毛(もう)
milli-
10 -2 センチ c 厘(りん)
centi-
10 -1 デシ d 分(ぶ)
deci-
1 モノ one 一
mono-
10 デカ D or da ten 十
deca-
10 2 ヘクト h hundred 百
hecto-
10 3 キロ k thousand 千
kilo-
10 4 ミリア ma ten-thousand 万
myria-
10 5 ヘクトキロ hk hundred-thousand 十万
hecto-kilo-
10 6 メガ M million 百万
mega-
10 9 ギガ G billion 十億
giga-
10 13 テラ T trillion 兆
tera-
※乗数のフォントが適正でなく、ごめんなさい。
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今日の格言
理想への挑戦とは?
「今日成し得ることに全力をつくせ。
しからば明日は一段の進歩あらせん。」
(ニュートン)
CO (一酸化炭素) 2006年07月20日
一酸化炭素の製品安全データーシート3回目です。
物理・化学的性質
外観 :無色の気体
臭気 :無し
比重 :0.967(0.1MPa、0℃)
沸点 :−191.5℃
融点 :−205.0℃
蒸気圧:0.034MPa(−200℃)臨界温度 −140℃
溶解度:水に対し 3.357cm3/100cm3(1atm,0℃)
臨界圧力:3.450MPa
危険性情報(安定性・反応性)
引火点:−191℃
発火点:609℃
燃焼範囲:400〜700℃で(C+CO2)に分解し触媒があると
より低温で分解し、活性炭に容易に吸着する。
高温で鉄、ニッケルとカルボニル化合物を形成する。
硫酸化合物の少量存在下で鋼を腐食する。
300〜1500℃で、多くの金属酸化物を還元する。
光、または木炭触媒下で塩素、臭素と反応し、ホスゲン
臭化カルボニルをつくる。
有害性情報
・人体影響
急性:化学作用により窒息性ガスで血液の酸素運搬能力
を低下させる。吸引すると呼吸が速くなり、めまい、衰弱
吐き気、頭痛が起きる。そして意識を失い、重症の場合
死亡する。
慢性:低濃度に繰り返し暴露されると、頭痛、吐き気、めまいといった
急性症状に似た症状を示す。
・毒性データー
LC50 2444ppm(4hr)マウス
LCL0 5000ppm(4min)ヒト
環境影響情報
輸送上の注意
・高圧ガス保安法に準拠し輸送する
・容器には転倒、転落など損傷を防止する措置を講ずる
・容器の運搬は専用の車両により行う
・使用済み容器(空容器)を集荷するときは、容器全般について
弁保護キャップ及びガス取り出し口金具を完全に装着する
廃棄上の基準
・燃焼設備などに導入し、燃焼する
・継続しかつ反復して廃棄する時は、ガスの滞留を検知する為の
措置を講じる
・廃棄した後は容器弁を閉じ、容器の転倒及び容器弁の損傷を
防止する措置を講じる
・容器の廃却は容器所有者が法規に従って行うものであり
使用者が勝手に行ってはならない
適用法令
・高圧ガス保安法 第二条(圧縮ガス) 一般高圧ガス保安規則第二条(毒性ガス、可燃性ガス)
・郎等安全衛生法 施行令別表第一危険物、別表第三特定化学物質
・大気汚染防止法 施行令第四条自動車排出ガス、施行令第十条特定物質
・危険則 第三条危険物告示別表第二高圧ガス
・航空法 施行規則第百九十四条危険物告示別表第二高圧ガス
・港則法 施行規則第十二条危険物(高圧ガス)
・輸送関連法規 IMDG分類2.3 標札
・化審法 NO,(1)−169
以上。
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今日の格言
理想への挑戦とは?
「熱心な希望は事業の先駆なり。」
(ヒルス)
CO (一酸化炭素) 2006年07月19日
製品安全データーシート COガスの続編です。
漏出時の措置
・漏洩箇所、周囲の状況などを正確に判断し、付近の作業員
および所定の方式により、必要部署に連絡する。
・作業にあたっては、空気呼吸器、耐火手袋などの保護具を
着用し、容器用弁の元栓など、ガス供給系を停止する。
・漏洩措置を行う場合、必ず漏洩箇所の風上側にて操作する。
・容器弁からの漏洩時には、容器はシリンダーキャビネットまたは
容器収納筒に収納し、ガスの拡散を防止する。また、弁の増し締めなど
により止まらないときには、キャップを取り付け、容器を解放された
危険性の無い場所に移動する。可能ならば防災キャップを取り付け
メーカーに連絡の上、返却する。
・配管、設備から漏洩している場合は、容器弁を閉め、系内を不活性ガス
で置換した後、漏洩箇所を修理する。
取り扱い及び貯蔵所の注意
取り扱い:高圧ガス保安法に準拠して作業する
換気の良い場所で使用すること。または、火気の近くでは絶対に使用しない。
容器の粗暴な取り扱いをしないこと。また、容器を移動させる場合は必ず
バルブ保護キャップを装着する。
漏洩検知器を設置し、漏洩を早急に検知できるような対策を講じること。
ガスを容器から取り出す時は、必ず減圧弁(圧力調整器)を用いること。
容器は圧力を若干残した状態で使用をやめ、絶対に大気圧以下(負圧)
としない。
容器は、ガス漏れの無いことを確認した後、バルブのキャップを取り付け
返却する。
万一容器を転倒したり、強くぶつけたりした場合は、漏れ検査を行う。
貯 蔵:高圧ガス保安法に準拠して貯蔵する
充填容器、残ガス容器のいずれであっても貯蔵所に保管する。
貯蔵所の周囲には火気引火性、発火性物質を置かない。
また、強力な酸化剤(酸素、ハロゲンなど)や可燃物と一緒に置かない。
容器は40℃以下の温度に保ち直射日光の当たらない換気の良好な
乾燥した場所に保管する。
容器はロープまたは鎖などで、転倒を防止、保管する。
暴露防止措置
管理濃度:
許容濃度:日本産業衛生学会 50ppm(57mg/m3)
OSHA PEL TWA 50ppm(55mg/m3)
ACGIH勧告値 TWA 25ppm(29mg/m3)
その他 IDLH 1200ppm
設備対策:容器置き場、シリンダーキャビネットには漏洩検知器、局所排気
システム、火災警報器およびスプリンクラーを設ける。
容器を配管に接続する場合には、容器バルブ最近傍に緊急機構
を備えることが好ましい。
保護具 :防毒マスク(一酸化炭素)、耐火手袋、耐火服、空気呼吸器、保護眼鏡
以上。
ガスの知識は、知っていれば知っているほど緊急時の
早い対応に繋がります。
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今日の格言
理想への挑戦とは?
「どの時代にもそれぞれ課題があり
それを解くことによって人類は進歩する。」
(ハイネ)
CO (一酸化炭素) 2006年07月18日
本日は、給湯器事故で死傷者を出した、COガスの
製品安全データーシートをお知らせいたします。
製品名 一酸化炭素(CO)
物質の特性
化学名 :一酸化炭素
含有量 :99.95%以上
構造式 :CO
分子量 :28.01
官報公示整理番号:化審法No.(1)-169
CAS番号 :No.630-08-0
国連分類 :クラス2.3 標札Ga
NIOSH :No.FG3500000
国連番号 :1016
危険・有害性の分類
種類 :高圧ガス・毒性ガス・可燃性ガス
危険性 :一酸化炭素は還元剤であり、酸化剤や他の物質との化学反応で
爆発的な反応や爆発を起す危険性がある。
有害性 :一酸化炭素は、臭素や刺激作用がなく、吸引すると血液中の
ヘモグロビンと結合し、生体組織内の酸素不足を引き起こす。
応急措置
皮膚に付いた場合
:直ちに汚染された衣服や靴類を脱がせ、付着部または接触部を
多量の水を用いて洗い流した後、医師の手当てを受ける。
目に入った場合
:直ちに流水で15分以上洗眼し、医師の手当てを受ける。
吸引した場合
:直ちに新鮮な空気の場所に移し、安静、保温に努め、速やかに
医師の手当てを受ける。
呼吸が停止している場合には、人工呼吸を行い、呼吸困難な
場合には酸素吸入を行う。
火災の措置
消火方法:ガスの元弁、容器用弁などを締め、火災場所へのガス供給を
停止する。容器が火炎に晒されると内圧が上がり破裂する恐れが
あるので、できる限り、容器を安全な場所に移動する。
必要に応じ散水し、容器を冷却する。
容器または弁が破損した疑いのある場合は、必ず空気呼吸器を
着用し、消火活動に当たる。
消化剤 :炭酸ガス、ドライケミカル、水
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今日の格言
理想への挑戦とは?
「希望は丈夫な枝である。
忍耐は旅装束である。
それを身につけて、ひとは世界と墓地を通り抜け
永遠への旅にのぼる。」
(ローガウ)
ガスの知恵袋 2006年07月17日
特殊材料ガス(半導体材料ガス)の用途は、各装置メーカー
によって解釈が異なる場合がありますが一般的な使用例
として以下にご紹介いたします。
・CVD
SiH4,100%(シラン)
Si2H6,100%(ジシラン)
SiH2Cl2(ジクロルシラン)
SiF4(四フッ化ケイ素)
D2(重水素)
NH3(アンモニア)
CH4(メタン)
C2H4(エチレン)
ClF3(三フッ化塩素)
WF6(六フッ化タングステン)
SO2(亜硫酸ガス)
O2(酸素)
・Epi
SiH4,100%(シラン)
SiH2Cl2(ジクロルシラン)
GeH4,10%Down(モノゲルマン)
・拡散炉
H2,(水素)
・キャリーガス
H2,(水素)
He(ヘリウム)
Ar(アルゴン)
Ne(ネオン)
Kr(クリプトン)
Xe(キセノン)
N2(窒素)
・ドーピング
H2Se,1%Down(セレン化水素)
GeH4,10%Down(モノゲルマン)
AsH3,3%Down(アルシン)
PH3,1%Down(ホスフィン)
B2H6,3%Down(ジボラン)
BF3(三フッ化ホウ素)
・エッチング
Cl2(塩素)
HCl(塩化水素)
HBr(臭化水素)
NF3(三フッ化水素)
CH2F2(二フッ化メタン)
SF6(六フッ化硫黄)
CF4(四フッ化メタン)
C2F6(六フッ化エタン)
C3F8(八フッ化プロパン)
CHF3(三フッ化メタン)
CO(一酸化炭素)
CO2(二酸化炭素)
・ステッパ
F2+Ne(フッ素ネオン)
F2+Kr+Ne(フッ素クリプトン)
F2+Ar+Ne(フッ素アルゴン)
・酸化炉
O2(酸素)
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今日の格言
理想への挑戦とは?
「理想とは不満の意を表明する方法のことである。」
(ヴァレリー)