真空の知恵 2006年10月01日
金属、磁性体、誘電体、半導体、絶縁体などといった
機能材料を薄膜で利用する用途はさまざまです。
電子部品から光学部品、機械材料から異なる種類の
材料を積み重ねて、高付加価値の機能性薄膜にも
なりうるものです。
・抵抗薄膜
Ta,Ta-N,Ta-Si,Ni-Cr,Ta-Al,Ta-Cr,Si-Al,Fe,Si
・磁性薄膜
Fe3O4,Co-Cr,γ-Fe2O3,Gd-Fe,Gd-Co,Fe-B,YIG
Fe-Si-Al,Ni,Fe-mO,Mn,Zn,Ni-Zn
・圧電体、焦電体、強誘電体
ZnO,AlN,Bl12GeO20,K3Li2Nb5O15,LiNbO3,PbTiO3
PZT,PZLT
・サーマルヘッド
Ta2N,Ta,Si,Ni-Cr,SiO2,Ta2O5,SiC,Al2O3
・透明電極
In203,SnO2,ITO
・エレクトロルミネッセンス(EL)
ZnS,TbF3,ZnS,Mn,Ta2O5,Y2O3,PbTiO3,PbTiO3
・サーミスタ
TaN,SiC
・太陽電池
α-Si,α-Si(1-m),Cm
・無反射、選択透過膜
In2O3,SnO2,ITO,Ta2O5
・選択吸収膜
Pt-Al2O3/Al2O3,Al2O3/Pt-Al2O3/Al2O3
・熱反射膜
Au,Ag,Cu,ITO,Bi2O3,TiO2
・光導波路
LiNbO3,ZnO,Ta2O5,TiO2,カルコゲナイド
・潤滑、耐磨耗、耐腐食、耐熱
MOS2,PbO,Au,AgPb,Cr,Pt,Ta,Ta2O5,SiC,Ti/TiN
TiC,Al2O3,Cr,Ta,W,AlN,BeO
薄膜にもこれだけの用途の種類、元素、化合物が
あります。
ガス・ガス機器・真空機器・真空配管まで
どうぞご相談ください。
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の格言
男として生まれた、その人生観とは?
「「よし!」というためには、汗を流し、袖をまくりあげて
人生を両腕にしっかり抱え込まなければならない。
死に直面しているときでさえ、「いや」ということは易し
いのだ。動かずにただ待っていればよいのだからね。
生きるために待っている、かと思うと殺されるために
待っている。意気地がなさすぎるよ。人間の発明した
ことだ。お前、樹木が樹液に向かって「いや」といったり
そんな世界でも夢見ているのかい?ケモノたちをごらん
みんな善良で、単純で、我慢強い。同じ道を互いに押し
合い圧し合いしながら勇敢に進んでゆく。
倒れれば次の連中が乗り越えていく。安心して死んで
行けるというものだ。どの種族も必ず子孫を残し、同じ道を
同じ勇気をもって進んでいく、先にいったものと全く同じよ
うにあとに続くのだ。」
(アヌイ)
真空の知恵 2006年09月30日
真空中で成膜する主な方法のうち、PVD(物理蒸着法)の
蒸発系、スパッタ系に分かれる蒸発系で、イオンプレーティング
があります。
この方法は、基板(ターゲット)に数kVの負電圧を印加して
数Paのアルゴンガスの雰囲気下で真空蒸着させます。
このときの導入されたアルゴンガスや蒸発粒子のイオンが
基板近くの陰極暗部の電位差で加速されて基盤にぶつかります。
そのため、強い膜が作られるのです。
基本的には平均自由行程が短い圧力状態下での成膜ですので
蒸発粒子が衝突したうえ散乱します。
そのおかげで、立方体の基板(ターゲット)への付き回りが良くなる
ようです。
アセチレン (C2H2)
酸素 ( O2)
窒素 ( N2)
などの導入ガスで反応させれば、炭化物や酸化物、窒化物
の膜なども成膜可能です。
真空チャンバー、真空装置の排気系、メンテナンス、改造
リークテストなど、どうぞご相談ください。
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の格言
男として生まれた、人生観とは?
「われわれの多数は、他のヒツジどものやることに支配されてばかり
いる愚かなヒツジによく似ている。その愚かなヒツジは、先導者が
橋の右側を渡って川に落ちるのを見ていながら、自分もそのあとに
従って、川に落ち込むのである。先導者が落ちたら、自分は左側を
行けばよい。ただそれだけの注意と独創力が必要なのだ。しかし
多数のものはそのことに気付かない。」
(ハースト)
LN2 (液体窒素) 2006年09月29日
液体窒素が容器にどれだけ入っているかどうやって測りますか?
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重さで測るか?
液面を浮き子を使って測るか?
液体窒素が触れたら変位する何らかのセンサーを使うか?
いずれの方法も世の中では商品化され実績はありますが
安価で簡便な方法としてLEDセンサー方式があります。

※センサーの位置、保護管の径、センサーの数などご要望に応じ
アレンジは思いのままです。
赤く点灯しているのがLEDで、この感知部が液体窒素の液層に浸かっている
時と、ガス層にある時の温度差を取り込み、接点信号出力で計装システムに
組み込むなどして液体窒素デュワーの液量管理が可能です。
人が見ていると思った以上に減っていて、気が付いたら空だった・・・
なんてことないでしょうか?
若しくは、ゴールデンウィーク、お盆休み、お正月休みなど
長期休暇の場合の液体窒素残量管理が必要な設備などで
休出して液面監視するなどなど。
ただでさえ手が足りないのにそこまで出来ない!
そんな時には液体窒素レベルセンサーを付属すれば、液量を感知した
信号から液体窒素を自動補給し分析装置など冷却が欠かせない部位
の保護にもお役立てできます。
液体窒素制御機器、自動供給、再液化機
サンプルステージなど設計・製作・実験装置製造
まで、どうぞご相談ください。
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の格言
男と生まれた、その人生観とは?
「東京を何か偉いものに思い、崇拝し模倣するに
汲汲たる例は実に多い。私は「あちらでは」といった
風のまるで洋行してきたのを鼻にかけている連中が
外国のことを語っている時のような表現にしばしばぶ
つかって、いったいどこを指しているのかといぶかしげ
に思うのである。すると、それは東京のことなのである。
若者の衒気の多い手合いによって東京が尊敬されてい
るだけでなく、その傾向は「大阪の」全体の住人の間に
ある。老人たちが「へえ、東京に住んでなはるのか、そら
よろしおまんな、どうだす、あったの景気は」と心から
いう中年者もいる。
(武田麟太郎)
真空の知恵 2006年09月28日
真空ポンプのルーツ式ポンプは、幅広い産業で
利用されています。
どんな用途に利用されているか?
ご紹介してまいります。
・食品加工機
真空容器の中にかごを用意し鶏肉などを入れます。
その容器内を真空状態にして食品の味付けに利用
されています。
・炭化水素系洗浄機用真空乾燥
洗浄タンク槽から乾燥タンク槽を経由し、真空引きしますが
余計な溶剤を吸引しますし、溶剤自体も減ってしまいます。
ルーツポンプであればドレン回収ラインを設けることができます。
・水系洗浄機用乾燥機
蒸発器の中に液を仕込み、凝縮された液体はドレンより放出
されます。この雰囲気を水分の真空乾燥を目的に利用されております。
・リークテスター
生産ライン試験台の上などにガスケットで接続された試験容器を
設置し、気密テストを行うなど簡易漏れテストでも利用されます。
・食料品真空パック
野菜や肉類、生鮮食品など食料品をパック詰めする際に真空が
利用されています。
・凍結乾燥
野菜などのフリーズドライ製品を作るときに、食品が入った容器を
真空にして製品を凍結させ食品の鮮度・品質保持を目的とした
利用もされてます。
・滅菌装置
滅菌器の真空を作るポンプとしても利用されます。
・濃縮、蒸留
液体の溶液を蒸発させて濃縮したり、生じた蒸気を再度冷やして
液化させる工程などでも利用されております。
・吸着搬送機
鉄板や重量物、ガラス板などの破損しやすいものを吸い付けて
掴み移動する吸着搬送に真空は利用されております。
液晶テレビの数m x 数m の大画面サイズなどもビックリするような
アームロボットで吸い上げ、横方向縦方向に移動させてるんです。
締め付け作業など省力化できます。
・粉粒体輸送
米、麦、大豆、樹脂ペレットなどタンカー1杯、トラック1杯、バケット1杯
手で運んだら大変なことです。材料ストッカーから空気と一緒に吸引し
目的のバケットなどまで移送させる輸送手段として、真空吸引するのが
真空ポンプです。
・土壌浄化
地下水や汚染された地面の土など穴を掘って空気を吸引します。
もちろんただ吸引していては何も出てこないので、附近に空気を
流し込んで空気をキャリアーガスとして真空引きするのです。
・燃料ガス回収
ボイラーなどからブロアーで押し出された高温の燃焼ガスが排煙
脱硫フィルターなどを通過させる吸引ポンプに利用されています。
・真空成形
浴槽や大型施設のジャグジーなど平板のプラスチックシートを過熱し
変形させて造ります。こうした樹脂の真空成形する真空源として
トラップ付き真空ポンプが利用されています。
・真空脱泡
化学や薬品の製造工程などで生じた液中の気泡を、真空雰囲気中に
することで脱泡することが出来ます。ひいては化学薬品自体の品質
向上にも繋がるようです。
・含浸
木材やその他対象物を、液体やガスなどに曝して含浸しやすくするため
タンク内を真空雰囲気にしたり高圧ガス雰囲気にしたり繰り返します。
そんな真空雰囲気作りにポンプは欠かせません。
・宇宙環境実験
仮想宇宙を地球上に作り出すため、スペースチャンバーと呼ばれる
大型の空間(部屋?建物?工場クラスの空間)を造るのに、掃除機の
お化けのような真空ポンプが必須です。
・PSA(プレッシャー・スウィング・アドソープション)
窒素ガスや酸素ガスの発生装置であるPSAには
2基若しくはそれ以上の吸着塔があり加圧・真空を
繰り返しガスを製品ガスを発生させます。ここでも
ブロアーと真空ポンプが利用されています。
・熱処理
熱処理反応炉に不純物や酸素分を含んだ空気など
混入させないために、真空ポンプで排気します。
この真空雰囲気はハロゲン化金属など反応炉に
供給される雰囲気作りをしますので、高真空まで
排気することが必須です。
さらに一般産業用途が続きます。
・真空式農業集落排水(真空下水)
一般家庭に個別の汚水枡を設け、真空弁で閉じられた
地域全体を配管でつなぐ集落として利用されます。
配管を通じて汚水が真空下水道管を通って下水処理場や
公共下水道幹線に繋がります。
この場合、大型のドライポンプが使用されるようです。
・ヘドロの回収
ダムなどに堰き止められたヘドロ回収に吸引ホースを
湖底に落とし真空ブロアーを積んだ船などで回収します。
・掃除機
一般工業用掃除機や集塵機などとして幅広く利用されています。
・自動車排ガス検出装置
自動車の排気ガスを成分分析する吸引ポンプに利用されています。
・脱水
製紙工場や繊維工場で水分を多分に含む状態から脱水工程を
経て水分除去します。この雰囲気を真空ポンプで作ります。
・バキュームカー
言葉の通り、真空吸引できる機構を搭載した自動車です。
昔の汲み取り式浄化槽やヘドロなど清掃、回収するのに
粉粒体を移送する輸送手段として使用されます。
・真空鋳造
鋳型の中を真空にするVプロセス鋳造用の真空排気系として
利用されます。
・削粉の除去
旋盤加工やボール盤などで対象物を加工した際に発生する
屑粉を回収し削粉を集塵する目的で利用されます。
・溶接ヒューム
溶接作業中に発生する人体に有害なヒュームを局所排気する
ための回収系に利用されます。
・濾過器
液体が濾過器を通過する容器内部側より吸引することで
目的の液体を早く通過させ回収することが出来ます。
あえて列記したのは、正直初めてですが本当にいろいろな
産業で使われているものだと感心してしまいました。
お客様の身の回りでの真空排気ポンプ、真空配管
真空装置の製作、改造など、どうぞご相談ください。
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の格言
男と生まれたその人生観とは?
「堅い信念を持つ、それは人間として最も重要なことである。
しかしいかに堅い信念であっても、ただ沈黙して胸にしまっ
ておいたのではなんにもならない。いかなる代償を払っても
よしや死を賭しても、必ず自己の信念を発表し、実行すると
いう勇気が必要である。ここにはじめて彼の持つ信念が生命
を帯びてくるのである。」
(トスカニーニ)
ガスの知恵袋 2006年09月27日
工業ガス界では、排ガス処理と言えば表面処理や
成膜などのあとに残った有害物質や有毒ガスを無害化する
ことが主目的であり、酸やアルカリの水溶液で中和したり
吸着剤と言われる特定のガスと反応する除害剤と反応させて
無害化し大気放出または拡散させて爆発限界や無害と
される濃度まで薄めます。
自動車の排ガスでは、とても複雑怪奇な処理を経て、国や国家間の
厳しい規制値をクリアーしているんです。
そのなかでも触媒を利用した浄化処理は、酸化触媒、還元触媒
三元触媒などが実用化されていています。乗用車では三元触媒
方式が主流でNOxなどは99%補足するそうです。
三元触媒方式は、排気で問題になる一酸化炭素、窒素酸化物
炭化水素(ハイドロカーボン)を触媒自体は変化せず、HC及びCOが
酸化してH2OとCO2へ、またNOxが還元してN2へそれぞれ無害化
していきます。一酸化炭素や炭化水素の酸化に窒素酸化物の酸素が
使われるため窒素酸化物は窒素に還元されます。そのためには
酸素が過不足なく燃料を燃焼させる空燃比、すなわち理論空燃比
に制御されることが必要となるのディーゼルエンジンでは使用されて
いないそうです。
そこに、酸化触媒、DPF(Diesel Particulate Filter、ディーゼル
・パティキュレート・フィルター)、NOx触媒の組み合わせによって画期的
なクリーン度を実現した方式が出来たそうです。
排気ガス中のNOxを吸着してアンモニアに転化し、別の触媒内で転化
されたアンモニアを吸着して排気ガス中のNOxを窒素(N2)に浄化して
無害化するそうです。
技術の粋を集めた正に夢の浄化装置といえるのではないでしょうか。
工業ガス界では、そこまで無害化処理の技術は革新的ではありません。
ですが、自動車の例を見ていると除害装置などでも無害化できない
ことは無いのではないかと錯覚してしまいます。公害の元になるガスの
排気ガス浄化と、微量でも人体に影響あるガスを無害化除害処理を
する装置の違いがあります。
技術革新は、時代の先端を行く自動車業界に学ばせていただきます。
工業ガスの除害装置、排ガスダクト工事、毒性ガス検知警報器など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の格言
男と生まれた、その人生観とは?
「多すぎなければ十分でない」
(フランスのことわざ)
人間の欲望はまことに際限がない。
どんなに恵まれていても、もっとと思う。
LN2 (液体窒素) 2006年09月26日
液体窒素は-196℃の超低温です。
常温常圧下で液体窒素を使用すると、霜を呼びますし、濡れますし
絶対的に冷たい液体窒素の制御自体思うままにならないものです。
この液体窒素を大気中8割の窒素ガスから造ってしまう製造装置
(液体窒素製造装置)や、親容器から分析装置などの小型デュワー
に移送する装置(液体窒素自動供給装置)、対象物を冷却する装置
(クライオスタットサンプルステージ)など主にラボ(実験室)レベルで
お客様のご要望を形にするお手伝いをしております。
液体窒素は大気圧・常温下ですぐに気化してしまいます。
一瞬のうちに窒素ガスに変化します。
これを水道の蛇口から、ポタポタ垂らすように出すといったら
それなりの制御が必要です。
断続噴射の様子
また、テレビの音楽番組で歌手が雲海の上を歩いているような
シーンを目の当たりにしますが、これにはドライアイスの冷気煙や
ディズニーランドなどでは演出用に液体窒素を噴射して煙がでたり
漂う様子を利用しているのです。
滴下後に気化する様子
液体窒素のハンドリング機器、設備、真空断熱配管など
どうぞ、ご相談ください。
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の格言
男に生まれた、その人生観とは?
「お前の言葉を、お前の財布に合わせよ」
(イタリアのことわざ)
あまり経済的に恵まれていない人ほど
大きなことをいい、いかにも豊かなように
ふるまうのはどこでも同じようです。
真空機器 2006年09月25日
漏水検知システム
実験装置で冷却水を利用する機器は雑多になりますが
いざ、このユーティリティー冷却水が継手部や溶接部
スケールの堆積による閉塞(圧力上昇)、ホースの劣化
装置内の経年劣化などにより、実験室が水浸しなど
よくあっては困るのですが、ありがちです。
漏水したフロアーのみならず、下のフロアーが雨が降った
ようになれば数千万、数億円の装置に水が被ってなど
考えたくもありません。
そんなときの転ばぬ先の杖。
水を感知するセンサーはあります。
計装システムを組めばできることも分かってます。
水が漏れた時のバケット(水受け水槽)も用意すれば
なんでもないものです。
ですが・・・
用意するのは面倒なもの。
そんなときはシステムとして確立した商品をお薦めします。
警報信号を取り出し、本体システムとの連動も可能。
水漏れバケットもどんな大きさ形にも対応します。
「漏水検知ユニットは、半導体製造装置の冷却水を検知するために
開発され、半導体工場で本体装置のインターロックの一部として
5年以上の実績をもっております。
本装置は、汎用の漏水および渇水検査装置としても使用できます。
高抵抗(アルコール・薬液・純水)から低抵抗(水道水)まで対応
可能です。 」
実験機器、真空装置、機器装置、半導体製造装置などの漏水対策の
ご相談は、川口液化ケミカル株式会社まで,どうぞご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の格言
男と生まれた、その人生観とは?
「熟練した船長は、暴風雨にあえば、いたずらに暴力に対抗するの
愚はしないが、しかもまた、いたずらに絶望して波風のほんろうに
船を委せはしない。常に確固たる自信と成算をもって、最後の瞬
間まで全知全能を尽くして活路を開くことにつとめつのである。
人生の困難突破の要諦である。」
(マクドナルド)
真空の知恵 2006年09月24日
眼鏡のコーティングや鍍金に変わる強固な膜付け。
真空蒸着は、とてもポピュラーな成膜方法です。
光学系の偏光レンズなど光学フィルター、光学薄膜
など反射率、透過率、位相変化、光学モニター光量変化
レーザー誘導損傷計算など駆使しオプトエレクトロニクス
業界でも進化を続けています。
真空チャンバーの中で加熱用フィラメントにより蒸着物質が
加熱され蒸着源として基板(ターゲット)に蒸着されます。
一般的には 3×10 -2 〜 10 -4 Pa 程度の圧力で成膜されます。
このときの蒸着源と基板との平均自由行程は、数10cm から
数10m 程度とされており、蒸発した薄膜材料は、蒸着源から
基板まで一直線にほとんど衝突することなく到達します。
そうは言っても、光学系等の世界では、成膜装置の方式や蒸着
材料、成膜パラメーターなどにより薄膜の屈折率や消衰係数が
変化するなど、真空中の誘電率、金属薄膜の光学定数など明確
に定めて、目的とする蒸着膜を作ることは職人技です。
実験用高真空蒸着装置など実績ある職人が、設計、製作まで
ご相談に応じます。新規装置のご検討や改造など、どうぞご相談ください。
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の格言
男に生まれた人生観とは?
「野原の松の林のかどの、小さなカヤブキ小屋にいて
裏に病気の子供があれば、行って看病してやり
西に疲れた母があれば、いってその稲の束を負い
南に死ぬような人があれば、いってこわがらなくても良いといい
北に喧嘩や訴訟があれば、つまらないからやめろといい
日照りのときは涙を流し、寒さの夏はおろおろ歩き
みんなにデクと呼ばれ、ほめられもせず
苦もされず、そういうものに私はなりたい。」
(宮沢賢治)
ガスの知恵袋 2006年09月23日
成膜技術の代表的な手法CVDは、実験設備から
生産現場まで幅広く利用されている手法です。
化学的気相法(化学蒸着法)とは、薄膜の材料になる
構成分子を含む化合物ガスをチャンバー(成膜室容器)内に
導入します。
そして化学反応の力を利用して目的の原料を薄膜の組成
に合わせて積層させ膜作りをすすめていきます。
原料となるガスは、さまざまなものが利用されますが、有機
金属化合物ガスを用いる場合を、MOCVDと呼んでいます。
日亜化学のブルーLEDを成功させたのはこの成膜装置です。
GaAs、InP などなど話題の技術となっております。
化学反応のエネルギーは、熱(抵抗加熱、赤外線ランプなど)
、プラズマ(直流、高周波、マイクロ波など)、光(紫外線ランプ
、レーザーなど)が主なものです。
大学、研究所、基礎研究用のCVD装置の新規設計製作や
既存装置の改造、チャンバーの拡張、重金属の無害化処理など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の格言
男に生まれた人生観とは?
「何もせずにじっとしておれば、一日が二日みたいな気になるものだ。
もし一生涯を全部こんな気分に切り替えることができれば、七十まで
生きたとしても、それは百四十歳の寿を得たことになる。こんな素晴らしい
長生きの薬は、めったにあるものではない。副作用もなければ
金もかからぬ。人間は誰でも、この処方をそなえておるのに、困ったことには
よい白湯がないために、せっかくの薬が服めぬという始末だ。」
(蘇東坡)
真空の知恵 2006年09月22日
真空装置の代表的な成膜法であるスパッタリング。
この現象を利用して産業用製品から一般消費材まで
幅広い加工法として知られ、いわゆる「スパッタ装置」
はありとあらゆる真空装置メーカーさんが製品化している
代表的真空装置です。
それではスパッタ(スパッタリング)とはどんな現象なのでしょうか?
高エネルギーの原子や分子が固体に衝突すると、固体表面から
原子が叩き出されてきます。このときスパッタされる固体をターゲット
と呼び、基板とターゲットを対向させておき、数 Pa 〜 数十 Pa 程度の
Ar ガス雰囲気中でターゲットに数 kV の負の直流高電圧を印加します。
すると放電現象が生じ Ar ガスがイオン化してターゲットに衝突し
原子を叩き出すのです。この原子を基板上に堆積させて薄膜を
形成するわけです。
ターゲット背面に磁石を設置し成膜速度を向上させたマグネトロン
スパッタ装置産業界では利用されています。
マグネトロン、スパッタソースを弊社でもお取り扱いしております。
また、スパッタ装置の設計・製作もご相談に応じご希望の仕様で
お作りいたします。
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
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ありがとうございます。
今日の格言
男に生まれた人生観とは?
「悔いに満ちた人生ではあるが、それが私にとって私の人生なのだ。
私としては精一杯生きてきた人生である。それと違った人生を
はたして私が持ち得たかどうか。悔いに満ちたこの人生こそ私の人生で
それ以外に私の人生はありえなかったのだ。
それは私が私の人生を、悔いに満ちた人生にせよ、不遇の人生だった
とは思わないから。事実、私は私の人生を不遇とは思わない。
と同時に、私の人生を何も栄達の人生だとも思っていない。
つまり客観的に私の人生がどうあろうと、私のこの人生しか私には
なかったのだ。人生とは私にとって、私の人生しかないのだ。」
(高見順)