モノシランガス消費設備の定修火災
特殊材料ガスの事故例として SiH4（シランガス）のものをご紹介します。
発生日時 １９９８年７月
発生場所 山口県
ガスの種類 モノシラン
事故の概況
半導体製造工場でモノシランガス消費設備の定期検査をするため、午前中は
１階のシリンダーキャビネット内の圧力計６個の校正を実施しました。午後は２階
の減圧CVD炉の手前に取り付けられたガスコンソールボックス（バルブ、流量計
減圧弁などを収納したスタンドでガスが漏えいすると除害装置へ導く）内の圧力
計を校正するために窒素パージが完了していることを確認した後、圧力計を緩め
たところ突然発火し、作業員が人差し指に火傷を負った。
CVD炉は２系列あり、１号炉は窒素ガスのみのアニール炉（ウエハを窒素ガス雰
囲気下６００℃で熱処理）として使用されており、２号炉はモノシランガスを使用し
中間バルブを介して並列に配置されていました。
事故当日、装置の都合により中間バルブを閉め、２号炉は通常運転を行っていた。
最初に１号炉の窒素パージを行ったが、この間約８時間かかり、その後、２号炉の
パージを行った。１号炉の窒素パージを行っている間に中間バルブからモノシラン
ガスが流入し袋小路状態にある圧力計取付部にモノシランガスが封印された状態
となっていた。圧力計を緩めたときにモノシランガスが大気に触れ発火したもの。
被害
人的 軽傷 １名
原因
操作基準の不備
教訓と今後の対策
１、特殊高圧ガスに関する教育と訓練
２、ガス置換設備の改善（パージ先を除害装置に接続する）
事故の教訓
１、作業をするときは必ず保護具と皮手袋を着用すること。
２、圧力計取付部のように袋小路状態になる部分は加圧と減圧を繰り返し
念入りにパージを行うこと。
シランガスの取扱いになれた熟練者が、漏れても燃えるだけだから大丈夫などと
考えられている方がいらっしゃいますが、上記の事故のように少量シランガスが
溜まった量であっても爆発して負傷を負うのです。慣れているからこそ慎重に
万が一のことを想定してバルブ操作や装置の運転を行っていただけますよう
お願い致します。
特殊ガスシリンダーキャビネットや特殊ガス調整器、特殊ガスバルブ
特殊ガス流量計、特殊ガス配管工事まで
川口液化ケミカル株式会社へご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
３月１９日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝７℃、昼９℃、夜１０℃
です。
先日のヨーロッパサッカーの最高峰 欧州チャンピオンズリーグで
ＣＳＫＡモスクワに所属する本田圭佑選手が、１ゴール、１アシストと
大活躍しました！
「日本人初とか興味がない。僕が目指しているところははるか上なんで」
「ＧＫのはじいた場所が僕の幸せな場所だった」
以上のコメントですが、プレーといい、活躍した場面と言い
凄すぎるとしか言いようがありません。
本田選手！ 本当にすごいです！！
次のインテルに勝利したら次は、アーセナルとバルセロナの勝者と対決です。
今からスカパーを申し込もうかな？
ｂｙ との