シランの燃焼
半導体産業に欠かせないガスであるシラン（モノシラン）は
エピタキシャル成長、ポリシリコン、酸化シリコン、窒化シリコン
など、半導体用特殊ガスの中で最も多く大量に利用されております。
有毒であり可燃性であるシランは、空気に触れると自然発火します。
また、滞留した場合には爆発の可能性もあります。
強酸化剤であり、酸化性物質及び重金属ハロゲン化物と激しく反応するので
注意が必要です。
以下の映像は、高圧ガスの防災訓練で燃焼・消化実験をしている様子です。
シランの燃焼
シランのような自燃性ガスは、一旦着火すると消火することは難しいため
付近にある燃えやすいものなどを遠ざけ、散水などしながら燃焼させる
しかありません。消火したとしても再発火する危険があるので、容器温度が
下がるまで散水を継続する必要があります。
※もちろん緊急遮断弁、容器元バルブの自動閉止など遠隔操作で
ガス供給を遮断できる場合には、空気呼吸器などの安全器具を装着
した上で、速やかに容器バルブ閉止をしましょう。
映像でもありますが、消化剤は粉末消火器、水、泡材でおこないます。
ハロン（１３Ｂ１）は支燃剤としての働くので注意が必要です。
詳しくは、製品安全データーシートなどをご参照ください。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の格言
成功と失敗を生かすとは？
「私たちのつとめは成功ではない。
失敗にも負けずにさらに進むことである。」
（スチーブンソン）