容器バルブの袋ナット増締め中のモノシランガス火災
特殊材料ガス シラン (SiH4) の事故報告を見て勉強しましょう！
発生日時 １９９６年１月
発生場所 埼玉県
ガスの種類 モノシランガス
事故の概況
半導体製造工場でモノシランガス供給設備の点検中、容器バルブの
袋ナット部を増締めしようとして逆ネジ（左ネジ）であることに気付かず
緩めてしまい、ガスが漏洩し、着火しました。漏洩した後に緊急遮断弁
が作動し、、また、約２０秒間燃焼したところで酸化ケイ素の燃焼性生物
が漏洩箇所に付着したため自然に火が消えた。火が噴き出したとき、作
業員が両手に火傷を負いました。駆けつけた応援の作業員が容器の元
弁を閉じて、漏れを止めました。
被害 軽傷１名
原因 誤操作（袋ナットの増し締め）
教訓と今後の対策
１、操作手順の見直し
２、誤操作防止パネルの設置
３、ガス容器操作方法の再教育
事故の教訓
１、容器バルブのネジ部には左ネジのものと、右ネジのものがある
ので開閉方向の表示をする。
２、作業はダブルチェック体制で行う。ダブルチェック体制とは一つの
作業に対してお互いに確認しあいながらチェックをおこなうことで
あって、背を合わせながら別々の作業を行うことではない。
以上。
可燃性ガス、毒性ガス、自燃性ガス、ほかにも腐食性ガス、支燃性ガス
などの物性を複合して併せ持つ特殊材料ガス（半導体ガス）の取扱いに
は、細心の注意を払い災害に繋がらないよう作業に従事しましょう。
高圧ガスのご依頼、ご注文、ガスボンベ以降のガス設備、ガス部品、ガス配管
のご相談など、川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
３月２５日 木曜日
天気 雨
ボンベ庫の温度 朝４℃、昼４℃、夜５℃
です。
いやいや今日の屋外の寒さといったら真冬並みでした！
屋外の作業で朝から夕方まで居りましたので、すっかり
冷え切ってしまいました。
早く家へ帰って、暖かいお風呂に入り、熱燗でもいただきましょう。
ｂｙ との