モノシランガス容器交換中の爆発事故
モノシランガス容器交換中の爆発事故について、ご紹介いたします。
発生場所 １９９６年１２月
発生場所 静岡県
ガスの種類 モノシランガス
事故の概況
半導体製造工場でシリンダーキャビネット内のモノシランガス容器
（容量４７Ｌ）２本のうち１本を交換し、当該配管系のヘリウムリークテ
ストを実施しました。このリークテストは自動制御されており、開始から
１２時間後の圧力差が０．５kg/cm2以下ならば合格を表示するシステ
ムになっていました。実際には、試験開始１０秒後に圧力が５kg/cm2
以上あったものが直後に -０．５kg/cm2になっており、また、１２時間
後の圧力が -０．４kg/cm2であることから、圧力差が合格判定基準内
に入っており漏洩ガスが無いとコンピューターが判断したものでした。
その後、窒素置換が完了し、モノシランガスによる実ガスパージに入っ
たとき、容器バルブの連結管袋ナット部からガスが漏洩し、キャビネット
内に充満して爆発しました。袋ナットの締め付けが不十分であったと考
えられます。
被害 死亡 １名
原因
設計・構造上の不良（自動シリンダーキャビネットのチェック機能）、点
検不良（袋ナットの締め付け不良）
教訓と今後の対策
１、信頼性の高い自動シリンダーキャビネットの（漏洩チェック）の採用
２、納入される容器はニューマチック容器弁（窒素ガス仕様）付きとする
３、使用するガス量が小さいので、漏洩した時を考慮してオリフィス内蔵
付き容器の採用
４、使用中容器の袋ナットを誤って開けない構造及びシーケンスの採用
５、シリンダーキャビネット以外の遠隔操作室の設置
６、シリンダーキャビネットの天井部への吹き抜け口の採用
７、キャビネット内には同一ガスしか収納しない
８、安全に係る作業はダブルチェック体制とする
事故の教訓
１、容器の交換作業は、特殊高圧ガスに対する社内の専門教育及び訓練
を受けた者が実施する
２、納入された機器について、メーカー側に任せたままにせず、その機器
及び信頼性について確認する
以上です。
高圧ガスのご用意、高圧ガス機器の選定、高圧ガス配管工事の施工まで
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
３月２１日 日曜日
天気 くもり
気温 ６℃（PM11:30）
です。
昨晩からの強風で、早朝からＪＲ京浜東北線、武蔵野線などが
運転を見合わせておりました。
台風のような強風で、植木が倒れたり、何処かの家のバケツなど
プラスチック製品があちこちに吹き飛ばされて散乱しておりました。
また、駅周辺の駐輪場の自転車がことごとく倒れており、中には
風の勢いで一回転しているものもありましたね！
自然はすごい力を秘めているなと実感しました。
ｂｙ との