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大学で実験中のモノシランガス爆発

 知る人ぞ知る、高圧ガスに関する法律が大きく変わるきっかけに
なった大事故です。後学のために記憶に留めておいてください。

発生日時   1991年10月
発生場所   大阪府
ガスの種類  モノシランガス
事故の概況
 大学の実験室で学生がプラズマCVD装置を使って実験中に、クリー
ンルームのシリンダーキャビネット内に設置されていたモノシランガス
容器(容量10.4L、材料マンガン鋼、圧力約4MPa)が突然破裂して
6個以上の破片となって周囲に飛散しました。この爆発によって学生
2名が死亡し、5名が負傷しました。
 事故当時、キャビネット内に4本の容器(モノシラン100%、六フッ化硫
黄、亜酸化窒素、モノシラン+水素混合ガス)が設置され、2本の窒素
ガス容器が外に設置されていた。この装置の配管系統は、4本の容器
からCVD装置にガスを供給するラインとパージラインから構成されてお
り、このパージラインは、各容器→逆止弁→ボール弁→共通パージライ
ン→窒素ガス容器へとつながっていました。この逆止弁にはOリングが
使用されており、亜酸化窒素(支燃性ガス)によってOリング(フッ素ゴム
)が劣化し逆止機能が正常に作動しなかったため逆流してパージライン
を経由してモノシランガス容器に流れ込み、亜酸化窒素とモノシランガス
の可燃性混合気を生成して、その可燃性混合気に着火して爆発が起こっ
たと推定されています。
 事故後、亜酸化窒素によってOリングが劣化し、逆流を起こすことが実
験で確かめられています。
 この事故を契機として高圧ガス保安法が改正され、モノシラン等の特殊
高圧ガスを消費する者はその消費量に関わらず都道府県知事への届出
取扱主任者の選任などが義務付けられました。

事故の教訓として・・・

1、モノシラン(可燃性ガス)と亜酸化窒素(支燃性ガス)のように混合すると
  危険性があるガスのパージラインは別系統とすること。
2、特殊材料ガスの講習・訓練を受けていないと装置に触れてはいけない。
  ガス漏れなどの異常が発生した時は近づかないで学生は逃げること。
3、弁のパッキン、Oリング等の材質で高圧ガスの使用に適さないものもある
  ので材質の選定にあたっては十分に検討すること。

などとしております。

 大学実験の研究室では、予算が無いなどの理由で安全が二の次になる
ガス設備も少なくないと思われます。法令を遵守することはもちろんですが
それ以外の汎用ガスであっても可燃性、支燃性、毒性、腐食性などの性質
を十分考慮に入れて安全第一に実験をされますようお願い致します。

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ありがとうございます

今日の埼玉川口のお天気は?
 3月16日 火曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝12℃、昼18℃、夜15℃

です。
 電車に乗っていると黒のリクルートスーツ姿の女学生が
真剣な眼差しで忙しく移動している様子に出会います。
今年の3月に卒業した学生さんが、まだ就職できずにいる
ニュースも聞いていますので、がんばって欲しいと願わずに
いられません。
 
 みなさんは、決して世の中に必要とされていないわけでは
ありません。きっと、きっと良い仕事場が必要とされる場所が
見つかると思います。がんばってくださいね。

 by との

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