真空の知恵 2007年09月26日
レジストなどで作られたパターンを保護マスクにして、その
下にある SiO2 や Si3N4 、ポリシリコン、配線金属などに同じ
パターンを触刻する技術で、ドライエッチングではガスを利用し
化学反応させることで処理しています。
エッチング物質とエッチングガスの相関関係は、以下のとおり
です。
エッチング物質 エッチングガス
Si CF4,SF6,NF3,SiF4,BF3,XeF2,ClF3,SiCl4
PCl3,BCl3,Cl2,HCl,HBr,Br2,HI,I2
SiO CHF3,CF4+H2,C2F6,C3F8,c-C4F8
Al BCl3,SiCl4,Br2,BBr3,HBr
Si3N4 CF4,SiF4,NF3,C2F6,CHF3,c-C4F8
レジスト O2,CF4+O2
Mo CF4
MoSi2 SF&+O2
W CF4,SF6+O2,SF6+Cl2+O2
Ti CF4,O2,SF6+O2,Cl2+He
Ta CF4,O2,SF6+O2
Cr Cl2
a-Si CF4+O2,Cl2+SF6
SnO2 CH3OH,C2H5OH,Cl2+O2
GaAs CF4,BCl3+Cl2
特殊ガス供給系のガス設備、シリンダーキャビネット、マニホールド
現地特殊ガス配管工事などお気軽にご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
９月２６日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 夜２５℃
です。
厚木の郊外にある田圃。
コンバイン（耕作機械）で実った稲穂の刈り取り作業
が進められていました。刈り取られて残った藁は束ね
られ、ピョンピョンと装置後部から次々飛び出す様は、
一種異様でした。
いまの農業は機械で成されていると再確認しました。
ガスの知恵袋 2007年09月25日
腐食性を持つ半導体材料ガスなどは、一般的にゴム、グリース
類や潤滑油などを侵すものが多く存在します。Kel-F、石英ガラス
テフロン、ダイフロンなどは比較的影響を受け難いようです。
金属は水分が存在すると、アルミニウムは侵され易く、ステンレス
鋼、真鍮、その他モネル、ハステロイなどの特殊金属が侵され難い
とされています。
特殊ガスのアルシン、スチビン、テルル化水素、ゲルマンなどは
特に自触媒性が強く、分解性を示して金属被膜を形成すると急激に
分解します。配管や容器内面など材料の表面加工や面粗度を上げ
平滑面が必要です。
また、ハロゲン化物は加水分解する厄介者です。塩酸やフッ素を
生じると、白煙や刺激臭を発生します（フロン、六フッ化硫黄を除く）。
また、副生成物としてハロゲン酸により容器やバルブ、調整器、MFC
（マスフロコントローラー）など腐食原因となりますので、漏洩には充分
注意をしましょう。
特殊材料ガスのシリンダーキャビネット、マニホールドの任意の設計
製作、現場特殊ガス配管工事などお気軽にご相談下さい。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
宜しくお願い致します。
今日の埼玉県のお天気は？
９月２５日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２１℃、昼２７℃、夜２６℃です。
十五夜のお月見。
お団子が似合うと現代の常識かもしれませんが・・・
去る昔は、お団子など高価なものなので、里芋だったそうです。
真偽の程は、ご興味あればお調べいただくと面白いかもしれませんね。
ガスの知恵袋 2007年09月24日
ステンレス鋼の腐食は、耐蝕、耐久性に優れたステンレスでも
誤った使用方法や則さない環境で起こりえます。
酸化力が弱く、不動態被膜ができにくい環境（塩酸、硫酸、リン酸
有機酸）などで全面腐食が発生します。
溶接熱影響部など高温の環境で、結晶粒界に炭化物が析出すると
Cr濃度が低下した粒界腐食起こります。対策としては、固溶化熱処理
低C化、安定化元素の添加などが有効とされます。
CL刧などハロゲンイオンの作用により不動態膜が局部的に破壊され、
表面に点状の孔が発生し、孔食となります。同様に隙間部が選択的に
腐食され、隙間腐食となります。対策としては、ハロゲンイオンや溶存
酸素の低減や、温度の低下、PHが増加、不動態化剤の添加を試みたり
表面付着物の低減、隙間の防止、平面平滑化が有効です。
CL刧などハロゲンイオンを含む環境で引張応力がかかり発生し、不動態
被膜の破壊から亀裂発生から伝播を繰り返し、局部的に割れが進行する
応力腐食割れがあります。対策としては、上記孔食、隙間腐食同様、ハロ
ゲンイオン、溶存酸素の低減、温度の低下、残留応力の低減、表面付着物
の低減、隙間防止、表面平滑化が有効とされています。
高圧ガス設備や真空チャンバー・真空成膜装置などの材料には
金属の腐食にも考慮が必要です。
特殊ガス配管工事、真空機器溶接加工品など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
宜しくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
９月２４日
天気 くもり
気温 ２２℃です。
今日の夜、月下美人が咲いている様を
初めて目の当たりにしました。
３０ｃｍくらいの大きな花で、花の中心は
糸で細工したような繊細な作りをしていました。
辺り２０ｍほど、花の香りが充満していて
正に一夜の夢のような姿でした。
CO2 (二酸化炭素) 2007年09月23日
炭酸ガスの代表的な物性についてお知らせいたします。
炭酸ガスの性質
性状 不燃性
色・臭い （液体） 無色・透明
（気体） 無色・無臭
分子量 ４４．０１
沸点 −５５．６℃ （５３７ｋPa）
液密度 １．０３ｋｇ/L （−２０℃）
※液化ガスの単位容積当たりの質量、温度および圧力とともに
変化します。
蒸発潜熱 ２８４．０８ｋJ/ｋｇ
※その温度、圧力で液化ガスが気化して気体に変わるのに必要な
熱量をいいます。
臨界温度 ３１℃
臨界圧力 ７．３８２MPa
※この温度より高い温度では、気体にいかなる圧力を加えても液体
とならない限界の温度をいい、この温度における圧力を臨界圧力
といいます。
※液化炭酸ガスは、大型設備のタンク貯槽内では１．９MPaで、−２０℃程度で
貯蔵されていますが、圧力が０．４MPa以下になりますと液体は気体と固体
（ドライアイス）になります。
炭酸ガスの質量・容量換算
質量１ｋｇ ＝ 液体0.971L ＝ ガス0.571m3（35℃、0.1013MPa）
質量1.030kg ＝ 液体１L ＝ ガス0.588m3（35℃、0.1013MPa）
質量1.752kg ＝ 液体1.701L ＝ ガス１ｍ３（35℃、0.1013MPa）
※質量1.977kg ＝ 液体1.919L ＝ ガス１ｍ３（0℃、0.1013MPa）
炭酸ガスの化学的性質
生体に関する有害性は・・・
ACGIH （米国政府・産業衛生専門官会議）では、健康な成人に対して、1日８時間
１週間４０時間程度の労働を基準とする場合には０．５％。短時間暴露（平均許容時間
１５分）の場合には３％の許容濃度を推奨しております。NIOSH （米国国立職業安全
研究所）では、IDLH （脱出限界濃度）４％の許容濃度を提唱しております。
工業材料に対する腐食性は・・・
高温では、酸化剤として働くほか、低温でも水分があると炭酸を生じ、鋼を腐食します。
高圧化で二酸化炭素を水で洗浄する装置では、腐食によって材料が浸食され、高圧に
耐えられなくなって爆発事故を起こすことがあるので注意を要します。
炭酸ガス、炭酸ガス供給装置、炭酸ガス配管、液化ガス低温ガス設備など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
宜しくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
９月２３日
天気 くもり
気温 ２２℃
です。
道端に地面から６０〜７０ｃｍ、細い茎を伸ばして
先端に紅いつぼみ。
彼岸花が咲き始めてますね。
CO2 (二酸化炭素) 2007年09月22日
炭酸ガスは、気体の状態と液体の状態が存在します。
液化炭酸ガスの圧力が０．４１７ＭＰａ以下になると液化炭酸
ガスが、ドライアイスに変化して、通り道の配管や設備内部を
固体のドライアイスで閉塞（詰まる）させることになりますので
配管の爆発や設備不具合など注意が必要です。
ドライアイスもそうですが液化炭酸ガスは冷凍庫など目でない低温
ですので、設備のバルブなど操作をされる際には皮手などを利用する
ことが必要です。
液化炭酸ガスの流れる配管部でバルブなどの操作を誤ると、液体が
ガス化して数百倍の容量に増大します。配管も耐えられる圧力に限界
がありますので、場合によっては破裂の可能性もあります。液封状態に
ならないよう注意しましょう。
炭酸ガスが屋内に広がりますと酸素欠乏（通常２１％の酸素濃度が低下
して酸素が欠乏する状態）の状態になる恐れがありますので換気に気を付
けましょう。炭酸ガス濃度が１．５％以上になったり、酸素濃度が１８％未満
になりますと労働安全衛生規則第五百八十五条により関係者の立ち入りが
禁止されています。
ここで注意点が一つ！
空気中に炭酸ガスが混ざっているときは、酸素濃度だけで判定すると酸素
濃度１８％であっても、炭酸ガス濃度が１４％に達している可能性があり大変
危険ですので、炭酸ガス濃度計を設置し濃度測定することが必要です。
人体に影響ある炭酸ガスの許容濃度は、日本産業衛星学会で成人１人に
対して、１日に８時間、１週間に４０時間程度の労働する場合の基準となる
濃度を０．５％（５０００ｐｐｍ）に規定し勧告しております。
金属の溶接や飲料用、魚の水槽用、鋳物の生砂の固化、実験用途など
炭酸ガスをご利用の際には、川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉県のお天気は？
９月２２日
天気 はれ
気温 ２７℃
です。
今日の東名高速は、朝一番から用賀ＩＣ〜海老名ＰＡ間で
すさまじい渋滞でした。
通常ですと２０〜２５分で通過できるところが、２時間近く
かかりもう少しでガス欠とトイレが爆発するところでした。
高速に入る前に、ガソリンは満タンにして、トイレも済ませて
おくといいですね。
CO2 (二酸化炭素) 2007年09月21日
炭酸ガスは、高圧ガスの中で最も水に溶けやすいガスです。
ジュースなどの炭酸飲料やビールなどシュワシュワと水泡が水
の中からどんどん出てくるのは、水の中に溶けている炭酸ガスが
出てきているのです。
では、どういった条件でどれほどの炭酸ガスが溶けるのでしょうか？
水１リットルに溶ける炭酸ガス容量は・・・
圧力 ０．４MPa（旧単位 4kg/cm2）の場合
25℃ 約３．７L
15℃ 約５．０L
5℃ 約７．０L
0℃ 約８．４L
水1リットルに溶ける炭酸ガス容量６．０Lのときの温度と圧力は・・・
25℃ 約０．７０MPa
15℃ 約０．４８MPa
5℃ 約０．３３MPa
0℃ 約０．２５MPa
炭酸ガスは他には無い、とても不思議な物性を持つガスですね。
炭酸ガス、炭酸ガス用供給設備、液化炭酸ガス用低温機器など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
宜しくお願い致します。
今日の埼玉県川口市のお天気は？
9月21日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝26℃、昼31℃、夜30℃
です。
日中の都心では、衣替えを控えクールビズから
背広を片手にネクタイを締めたサラリーマンが
長袖のワイシャツを肘まで捲くり上げ汗を掻き掻き
歩いていました。
弊社のボンベ庫も30℃を超えてますから正に夏日でしたね！
ガスの知恵袋 2007年09月20日
水（H2O）に溶けやすいガスとは何でしょう？
水 １L に対して、以下のガスはそれぞれどれだけ溶けるでしょう？
１１４６L アンモニア（０℃、０Pa）
８０L 亜硫酸ガス
５L スチビン
３．７７０L セレン化水素（４℃）
１．７１３L 炭酸ガス（０℃、０Pa）
１．０５７L 三フッ化ホウ素
２００ｍｌ ホスフィン
２００ｍｌ アルシン
７３ｍｌ 一酸化窒素（０℃）
４８．９ｍｌ 酸素（０℃、０Pa）
２１ｍｌ 水素
９．４ｍｌ ヘリウム
１ｍｌ 六フッ化イオウ（２５℃、０Pa)
８２．３１ｇ 塩化水素（０℃）
０．００１５％ 四フッ化炭素（重量比）
溶解する トリメチルアミン
溶解する 一酸化二窒素
溶解する 二酸化窒素
溶解する フッ化水素
溶解する テルル化水素
溶解する 四塩化スズ
溶解する 臭化水素
溶解する 二酸化窒素
ダントツにアンモニアガスは水に溶解します。
液化炭酸ガス、ドライアイス、炭酸ガスに関する
お問い合わせは川口液化ケミカル株式会社まで
ご連絡下さい。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉川口のお天気は？
９月２１日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２５℃、昼３１℃、夜２９℃です。
朝方７時ごろ、首都高速湾岸線から都心中心方面の
空を眺めたら、青い空が広がった上に綿菓子のような
小さな雲の塊が、ポン、ポンと浮かんでいてほのぼの
した情景でした。
ガスの知恵袋 2007年09月19日
お客様 各位 平成１９年９月１９日
平成１９年度
高圧ガス全国一斉特別回収運動にご協力のお願い
拝啓 時下益々ご清栄のこととお慶び申し上げます。
平素は、高圧ガスの保安確保に当たり格別のご協力を賜り
厚く御礼申し上げます。さて、高圧ガス容器の全国一斉特別
回収運動は、昭和６２年開始以来第１９回目を数えるに至りま
した。
自己責任原則による自主保安の推進を理念とする高圧ガス
保安法が施工されて１０年経過し高圧ガスの製造、販売に携る
事業者は勿論のこと、高圧ガスを使用されるお客様を含め高圧
ガスを取り扱う者にとって、公共の保安を確保する上で、放置
容器の撲滅に向けより一層の自主保安の推進が求められます。
「ご使用済み容器は、早期に納入業者にご返却頂きますよう
よろしくお願い申し上げます。」
何卒趣旨ご理解の上ご協力賜りますよう宜しくお願い申し上げます。
敬具
記
１、特別回収期間 平成１９年１０月１日〜平成１９年１０月３１日
２、対象容器
（１）放置容器（路上、河川等公共用地に放置されている容器）
（２）停滞容器
・原則として、納入６ヶ月以上経過した使用済みの貸与容器は
ご返却をお願い致します。
・長期停滞容器の回収につきましては、お客様のご理解を得た
上で回収することと致します。
（３）不明容器
・所有者、又は内容物が不明で処分を依頼された容器
・お客様の容器で処分をされた容器
３、回収
（１）放置容器につきましては、地方高圧ガス容器管理委員会、又は
下記推進本部にご連絡ください。
（２）停滞容器につきましては、お客様に納入している高圧ガス販売業者
が回収させて頂きます。
（３）不明容器などにつきましては、高圧ガス販売業者が回収いたします。
但し、調査、処分等に特別の費用を要する場合は、依頼者に諸費用
のご負担をお願い致します。
推進団体
高圧ガス保安協会、中央容器管理委員会、全国高圧ガス溶材組合連合会
有限責任中間法人 日本産業ガス協会、日本ソーダ工業会、日本フルオロカー
ボン協会、日本肥料アンモニア協会
お問合せ先
（推進本部）
有限責任中間法人 日本産業ガス協会（日本産業・医療ガス協会）
TEL ０３−５４２７−６０２０
全国高圧ガス溶材組合連合会
TEL ０３−５２９６−０４３０
高圧ガス保安法、高圧ガスに関するご相談のことなら
川口液化ケミカル株式会社までお問い合わせください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
宜しくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
９月１９日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２２℃、昼２５℃、夜２５℃
です。
昨日のテレビ番組で「良い話」シリーズのような
番組を笑福亭鶴瓶さん司会で放映されていました。
なかでも戦時中、将来の日本のために自らの命を
特攻で投げ出してきた青年隊員の実話を見聞きし
て、今、彼らの思いを受け止められるように精一杯
生きているだろうかと自問自答しました。
ガスの知恵袋 2007年09月18日
バルブの取付や取り扱いに関する注意事項のお知らせです。
（社）日本バルブ工業会バルブ部会資料より
・バルブ保護パッドなどの除去を忘れずに
梱包を解いた際、バルブ内にスポンジなどのパッドが入って
いることがあり、そのまま配管を接続し使用すると開閉できず
機能しません。
・流れ方向を本体矢印に合わせること
玉型弁、逆止弁、偏芯バタフライ弁などバルブ本体にある流れ
方向通りに取り付けないと、作動不良の原因となります。
・取付向きの確認をしましょう
バタフライ弁や二枚羽逆止弁など流れ方向の９０度エルボの
入口側に接続すると弁体に均一荷重となりますが、エルボ出口
側に接続すると外周側の流速威力が増しますので作動不良の
原因となります。
・分解禁止です
バルブの分解などは漏れの原因となります。
・レンチの使い方
ネジ込み側にレンチをかけて廻しましょう。直管にバルブを
付ける場合など、ネジ込む配管にレンチをかませるようにし、
バルブ側を廻すことの無いようしないと、変形やシート漏れの
原因となります。
・パイプのネジ込みすぎに注意です
バルブ本体にネジ込み過ぎて、バルブボディ内に突き当たる
までネジ込んでしまうとバルブが変形します。
・中心形バタ弁の取付け
ガスケットなど不要で、正しく配管しましょう。フランジ両端を
３〜５ｍｍクリアランスを取りジャッキボルト、落とし止めボルト
など用意し確実に締めこみましょう。
・配管ボルトのまし締め
フランジ配管ボルトの締め付け手順は十字対角線を少しずつ
ずらしながら締め付けましょう。片締め防止の措置です。
・フラッシングの実施
配管内は綺麗に洗浄（パージ）し、バルブシート面へのゴミ噛み
などに気を付けましょう。シート漏れや機器破損の直接の原因と
なります。
・バルブの取り扱いは大切に
硬いハンドルを足で蹴ったり、バルブボディをハンマーでたたいたり
衝撃を与えると故障の原因となります。バルブ操作はゆっくりと丁寧
に行いましょう。
・パッキンの増し締め
使用を開始する前に各所増し締めを行いましょう。グランドナットも増し
締めしグランド漏れを防止しましょうj。
・ステンレス鋼製メカニカル継手の配管
適用管種：JIS G 3448,JWWA G 115 で規定するステンレス鋼管
配管方法がそれぞれ異なりますので各社の取扱説明書をお読みになり
正確な使用法を守りましょう。
高圧ガスバルブ、真空用バルブ、液化ガス用バルブなど
真鍮、ステンレス、樹脂各種材質バルブを機種選定いたします。
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉県のお天気は？
９月１８日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２５℃、昼２６℃
です。
昨日に引き続き、またまた阪神が勝ち２連勝ました。
ペナントレース終盤の熱戦が続いてます。
ガスの知恵袋 2007年09月17日
世界各国で法規制の対象になっている物質郡が、廃自動車
指令（ELV指令）やRoHS(Restriction of the Use of Certain
Hazardous Substances)指令による法規制が定められています。
重金属及び金属化合物
・カドミウム及び化合物
デンマークカドミウム含有製品の販売、輸入、製造の禁止に関
する1992年12月23日第1199法令命令、76/769/EEC(+91/338
/EEC)、91/157/EEC・93/86/EEC、2000/53/EC(EU/RoHS)、
94/62/EC、米国包装材重金属規制
・六価クロム化合物
2000/53/EC(EU/ELV)、2002/95/EC(EU/RoHS)、94/62/米国
包装材重金属規制
・鉛及びその化合物
76/769/EEC(+86/677/EEC)、91/157/EEC・93/86/EEC、2000
53/EC(EU/ELV)、2002/95/EC(EU/RoHS)、94/62/EC、米国包装
材重金属規制
・水銀及びその化合物
76/769/EEC、91/157/EEC(+98/101/EC)、2000/53/EC(EU/ELV)
2002/95/EC(EU/RoHS)、94/62/EC、米国包装材重金属規制
・ビス（トリブチルスズ）＝オキシド（TBT類）
化審法（第一種特定）
・トリブチルスズ類（TBT類）
トリフェニルスズ（TBT類）
化審法（第二種特定）
ハロゲン系有機化合物
・ポリ臭化ビフェニル類（PBB類）
2002/95/EC(EU/RoHS)、ドイツダイオキシン法令
・ポリ臭化ジフェニールエーテル類（PBDE類）
2002/95/EC(EU/RoHS)、ドイツダイオキシン法令
pentaBDE、octaBDE→76/769/EEC(+2003/11EC)
・ポリ塩化ビフェニル類（PCB類)
化審法（第一種特定）、76/769/EEC
・ポリ塩化ナフタレン（塩素数が３以上）
化審法（第一種特定）
・短鎖型塩化パラフィン
76/769/EEC(+2002/45/EC)、ドイツダイオキシン法令
その他
・アスベスト類
76/769/EEC(+91/659/EEC)
・アゾ染料・顔料
76/769/EEC(+2002/61/EC･+2003/3/EC)、ドイツ日用品規制
・オゾン層破壊物質
オゾン層保護法、モントリオール議定書、米国、1990年大気浄化法
第六百十一条、76/769/EEC(+97/64/EEC)
・放射性物質
原子炉等規正法
年々情報は更新されますので、都度ご確認ください。
高圧ガス、真空機器、低温機器のことなら
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今日の埼玉のお天気は？
９月１７日
天気 はれ
気温 ２９℃
です。
谷選手（旧姓田村選手）こと「やわらチャン」が
お母さんになって初めての世界選手権優勝となりました。
優勝して仲間と嬉し泣きする姿は、私達一般人とおなじ
感情を持ちながら、あらゆる状況でも結果を出す強さを
改めて感じました。
すばらしいですね。
