MFC/MFM (マスフローコントローラ) 2009年07月01日
アプリケーションから観たマスフローコントローラの適用常識
マスフローコントローラ (MFC) を採用する側から観たＭＦＣの適用常識において
圧力条件で考慮するとき、一般に出回っているＭＦＣは最高使用圧力1MPa以下
動作差圧 0.3MPa 以下が常識になっています。
したがって、アプリケーションがこれら圧力範囲を超える条件下で MFC を適用す
る場合には、 MFC の適用範囲になるよう、例えば、MFC の1次圧力を最高使用
圧力以下になるように減圧弁などで調節する必要がでてきてしまいます。 更に、
MFC 前後（入口、出口側）の圧力差（差圧）が運転条件上、0.3MPa 以上の場合
MFC の動作差圧を考慮してバックプレッシャーレギュレーターなどを設置してMFC
差圧を 0.3MPa 以下にしてあげなければなりません。
つまり、MFC のために1次プレッシャーレギュレーター及びバックプレッシャーレ
ギュレーターを設置しなければいけないということです。このことはアプリケーション
系全体を複雑にすることに繋がりますし、且つ、系全体のフレキシビリティーを制限
する結果となりますので、運転上の自由度がかなり制限されてしまう結果となります。
しかし！
世の中にはこれら MFC の適用常識を覆すとんでもない MFC があるんです！
それは、「Ｖａｒｙ－Ｐ マスフローコントローラ」という MFC で流量制御レンジが
0.2～10mln/min から100ln/minまでカバーするでき、最高使用圧力は 70MPa まで
なんと！ 動作差圧は 0.6MPa ～ 40MPa までカバーしてしまうのです。
何故このように広範囲な適用圧力及び差圧を持てるのか？
その理由は・・・採用されている圧力補償型調節弁（パテント済み）にあります。
コンセプトを下記の通りです。
圧力補償機能付直動電磁式調節
動作ポイントは！！
P1-P1′ 間圧力を常に1定差圧になるよう右側の弁で調節します。
したがって、P1圧力が時々刻々変動しても、又2次側圧力P2が
時々刻々変動しても、常にP1-P1’間圧力は一定に保たれるので
これら圧力変動に影響されなく安定した流量コントロールが可能
になります。更に、この調節弁はプレッシャーコントローラにも適用
可能です。
この MFC を適用するメリットとして考えられるのは？
その一
1次圧変動、2次圧変動するアプリケーションに最適、安定した流量コントロールが得られます
その二
運転圧力及び差圧の大きいアプリケーションでもほとんどどカバーできるので、減圧弁や背圧
弁を MFC 前後に設置する必要がなくなるので設備が単純になり、運転に柔軟性がでて参りま
す。また、コストオブオーナーシップの低減に繋がります。
それでは早速その適用例を見てみましょう！
その一
多くのパイロットプラントやテスト装置や設備
その二
ガスボンベからＭＦＣを介してプロセスにガスを供給する設備など
微少流量から大流量、高圧ガス申請の必要な高圧仕様のﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰまで
川口液化ケミカル株式会社へご相談ください。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
E-mail : info★klchem.co.jp
※★を@に変えてお知らせ下さい。
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
７月１日 水曜日
天気 曇り
ボンベ庫の温度 昼２３℃、夜２１℃
です。
サッカーのリアルマドリードにイタリアリーグＡＣミランから
カカ選手が移籍されました。
移籍金は６年契約の八十八億円です。
凄い！
真空の知恵 2009年06月30日
真空用のバルブは、ダイヤフラム構造かＯリングシール、銅ガスケットシール
などが一般的なカタログ商品です。当然ですが、バルブの内部は流路に対し
バルブシート面を押しつけるような構造のためジグザグもしくは９０度方向に
なります。
そこでご紹介したいのが空気や水などでも使われているボールバルブタイプの
ＮＷフランジ真空仕様商品です。
ＮＷ２５ボールバルブ
流路に対しボール状のシート面が回転するため、全開のときには入口側から出口
側が見通せる（ストレート状）ように邪魔がありません。当然ですが抵抗が少ないので
ロータリーポンプやドライポンプのような低真空ポンプの開閉バルブ（元バルブ）には
最適です。対流物が溜まりやすいようなアプリケーションでも流路がストレートなボール
バルブならばこそバルブでトラップされ憎いメリットもあります。
真空用バルブ、真空用配管、真空用容器の製作など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談下さい。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
６月３０日 火曜日
天気 雨のち晴れ
ボンベ庫の温度 朝２１℃、昼２３℃、夜２３℃
です。
近所の神社で大祓いを受けてきました。
以下、神社からの説明文です。
古くより、毎年六月と十二月の晦日に大祓いの行事が行われております。
氏神様の御神前で行うこの神事は、心身の罪（いわゆる悪行）や穢（災いや
不吉な事）を祓い清め、神々の御照覧に恥じない、明るく清く正しき心を保つ
という大切な意義を持つ日本の伝統的信仰です。
特にこの六月の大祓いは「夏越の祓い」とも云われ、「水無月の夏越の祓い
する人は、千歳の命のぶとこそきけ」と、古くより歌われてきたように、神々の
ご加護を受け、延命長寿を祈ってきた、意義深い神事です。御多幸な日常生
活を送る為にも、有意義のことと存じますので、このお祓いをお受けになること
をお勧め致します。
延喜式内社 調神社
環境関連 2009年06月29日
燃料電池は水素ガスを使って発電します。直接水素ガスをセルに導入したり
天然ガスや灯油から改質して取り出した水素をセルに導入したりします。水素
ガスと聞と、少し危ない印象があります。高圧で充填された水素ガスボンベ を
乗せて走る燃料電池自動車は、何となく危なっかしい印象があります。メタ ノー
ルから発電する方式もあるのですが、あまり普及していないですね。
京都にあるアクアフェアリーが開発した燃料電池は、水から電力を取り出せる
仕組みだそうです。しかも間もなく、コンビニで販売されるということです。 発電の
ミソは独自開発の水素発生剤だそうで、これと水とを反応させることで 水素を発生
させてます。その水素と空気中の酸素と反応させて電力を得るとい う仕掛けなの
だそうです。水とこの水素発生剤だけで発電させるのであれば、 なんとなく危険か
ら少し遠ざかる気がします。
この燃料電池は価格が本体が5000円程度だそうで。それと水素発生剤を含む
燃料カートリッジが1個100円程度を目標としているのだそうです。普及すれば 携
帯電話やゲーム機、ノートパソコン用の充電に、気軽に買ってて使えると思 います。
災害用にも買っておきたいですね。
by toshi_matsu
燃料電池用高純度酸素、高純度水素ガスなど
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
6月29日 月曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝24℃、昼30℃、夜28℃
です。
日中、東武東上線乗り入れの有楽町線に乗って都内まで
行きました。その間、地上を走っていたときはそれほど感じませんでしたが
地下に入ると冷房がガンガンに利いたままだったので車内が
冷蔵庫のようになり、みな鳥肌を立てながら寒い寒いと
腕を擦りながら乗っていました。
ある意味、太陽のエネルギーは相当なものなんだなと実感しつつも
風邪を引かなくてよかったなと本気で思いました。
ガスの知恵袋 2009年06月28日
電圧をかけると電子のエネルギーが変わって電子が移動するのが半導体です。
正の電圧をかけた電極には、電子が引き付けられエネルギーが小さくなることによ
り電子のエネルギー変化するわけです。
その半導体になる元素は単体ですとケイ素（Ｓｉ）とゲルマニウム（Ｇｅ）です。今ま
ではケイ素の半導体が主な材料として利用されてきましたが、近年、化合物半導体
と呼ばれ異なる物質を組み合わせた化合物が半導体として多く利用されています。
例えば、赤色に光る発光ダイオードは、ヒ素（Ａｓ）とガリウム（Ｇａ）の化合物ヒ化ガリ
ウム（通称：ガリウムヒ素）にアルミニウムなどなどを加えた化合物が使われていま
す。一般的には周期表１３族と１５族、１２族と１６族の元素は半導体になります。
窒化ガリウムやヒ化ガリウムは１３族のガリウムと１５族の窒素やヒ素が化合した
化合物なのです。
こうしたことから旧来のＳｉやＧｅなどを含むガス体から、化合物の材料となる液体に
材料が変化してきています。装置に使用する材料供給系も単純なガス制御から、液
体を温度制御した上でガス化させたり液体のまま流量制御をして成膜装置に導入す
ることが必要になってきているのです。
特殊ガス、化合物用液体ソースまで川口液化ケミカル株式会社
までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
６月２８日 土曜日
天気 晴れのち雨
気温 ２２℃（PM6:30）
です。
音楽とダンスなどを組み合わせＭＴＶ創世記から
最高のエンターテイナーだったマイケルジャクソンさんが
お亡くなりになりました。
音楽にのせムーンウォークをするシーンは４０歳代の方には
いつまでも記憶に残ることでしょう。
LPG (液化石油ガス) 2009年06月27日
日頃、ご家庭でなにげなく使われているプロパンガス（ＬＰガス）は
さまざまなガス専用機器を通って、安全なガス圧力、ガス流量など
制御されてベストな燃焼環境になり、お台所やお風呂などで青い
炎になっています。
先ずは、ご家庭の屋外壁面などにガスボンベ（液体・マイナス４２度
圧力約１．６Ｍｐａ）が設置されています。ボンベ内の液状のプロパンが
ボンベの中の一定の圧力までは自然に蒸発し、バルブからガスが出
てきます。次に、ガスボンベから出てきた圧力が高いプロパンガスを調
整器で調整して２．８Ｋｐａの圧力まで下げます。ボンベの中の高圧の状
態からすると約１／５００にまで下げるのです。そして低圧状態となった
プロパンガスはガス流量計測機器のガスメーターを通り、一日２４時間の
あいだ圧力、流量、使用状態を観測し、正確な計量を行って、毎月のガス
代の基になる検針伝票に記載され、使用量として明記されます。
ここまできてようやく家の中（室内）にガス配管を通ってガス消費器具まで
到達します。例えばお台所のガスコンロの場合には、点火バーナーに着火
されると安全装置により、確実に炎がついているかどうか状態を確認してから
メインバーナーに点火し、綺麗なマリンブルーの炎になります。さらに使ってい
るコンロの上の熱を感知し、最新機種では天ぷらの温度まで調整してしまう機
能もあります。
姿魚がボタン一つで最高のお味に焼き上げる「ガラストップガスコンロ」
のご用命は川口液化ケミカル株式会社までどうぞご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
６月２７日 土曜日
お天気 晴れ
気温 33℃
です。
海開きの時期になり外もかなり熱くなってきましたね。
子供たちも夏休みなるとプールや、海、川へと出かけますが
くれぐれも水難事故には注意しましょう！！
ｂｙ mitono
埼玉久喜にある無農薬の田んぼの中で、稲以上に元気な
雑草を手積みしておりました。サンサンと降り注ぐ太陽光線で
田んぼの水はお風呂のお湯のようでしたね。
それでも夕方になると、田んぼの上を涼やかな風が流れ
炎天下での一日の作業を忘れさせてくれるほど気持ちが
良かったです。
自然は最高ですね！
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2009年06月26日
高純度ガスが必要な場合、一番簡単な方法は高純度ガスボンベを利用し
調整器、バルブ、配管など十分吟味して機種選定し、目的の装置などへ導く
ことが準備も簡単ですし、費用も割安です。
ところが連続使用をして相当量のガスを連続使用する場合には、ボンベの
ガスでは直ぐ無くなってしまい、費用もばかにならないことになります。
そうした時には液化ガスなどを気化させた安価なガスを、ガス精製器などを
通過させ純度を上げて使用する方法が最適です。
※ガスの種類、圧力、流量などにより適当でない場合もございます。
ゲッター式ガス精製ユニット
最大定格流量 ： 20L/min
操作温度 ： 400℃
最大消費電力 ： 300W
ゲッター式と呼ばれる精製器では、化学的に活性な非蒸発型のゲッター材を利用して
熱処理をすることで不要なガスを吸着させ、精製する対象ガスの純度を上げるものです。
精製対象ガスに対し不純物を Ｈ２Ｏ、Ｏ２、Ｈ２、ＣＯ、ＣＯ２、Ｎ２、ＣＨ４ などを １ｐｐｔ
以下まで取り除くことができます。
キャリア―ガスや露点の低い大量の不活性ガスなどが必要な場合には、精製器の
検討をお薦め致します。
特殊ガス、特殊ガス調整器、特殊ガスバルブ、特殊ガス流量計、特殊ガス配管工事など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご用命下さい。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
6月26日 金曜日
天気 晴れ
ボンベ庫の温度 朝24℃、昼32℃、夜30℃
です。
サッカーの話で恐縮ですが、連勝中のスペインチームが
アメリカに負けてしまいました。
アメリカのサッカーの文化はまだまだ未成熟なものの
もともと身体能力の高いスポーツ選手が多いお国柄ですので
これからのサッカー界を大いににぎわせてくれる予感がしますね。
ガスの知恵袋 2009年06月25日
ＣＧＡやＤＩＮなど、アメリカやドイツなどのガス継手は日本にもなじみのあるところですが
最近、ロシア製の装置や機械などに付随してロシア製ガス機器が入ってきているようです。
アメリカ製品のネジ切削加工精度は、言わずと知れた粗いものですが、さらに粗雑なイメー
ジです。継手の規格についても不明なため、日本製ガス継手との変換ジョイントを製作する
場合には、現物確認をして製作するしか方法がないようです。
ロシア製アルゴンガス用調整器
ロシア製アルゴンガス用継手部
ロシア製プロパンガス用調整器
ロシア製プロパンガス用継手部
アルゴン、プロパンともに平パッキンでシールする構造です。
精度的にはあまりお勧めできるようなものではありませんが
必要に応じて変換継ぎ手の製作など承ります。
アメリカ製、イギリス製、ドイツ製など海外製ガス継手と日本製継手との
変換継ぎ手（ジョイント）の製作のことなら川口液化ケミカル株式会社まで
ご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
6月25日 木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝21℃、昼23℃、夜22℃
です。
午後から強い日差しが照りつけ、外回りのサラリーマンには
酷暑となりました。ハンカチが手放せなくなりましたね。
MFC/MFM (マスフローコントローラ) 2009年06月24日
液体を送り出すポンプには、人間の血管のように流れが脈を打つような脈動が
出やすいものです。
実際、人間の心臓も吸って、吐いて、を繰り返していますので、ドドッ、ドドッ、と
脈を打つ流れになっています。
産業界や繊細微妙な実験を行う分野では、この脈動がすべてを台無しにしてし
まうこともあります。
5L/min（300L/hr , 300g/hr） 定量ﾎﾟﾝﾌﾟ＋ｺﾘｵﾘ式ﾏｽﾌﾛｰﾒｰﾀｰ
この写真のポンプと流量計の組合せであれば・・・
脈動なく、定流量を流し続けることが可能です！
また、たとえば流体の希釈率が変わったとしても、精度には影響ありません。
重さは流体の物理組成に影響されない「質量流量」を高精度に測定し、同時に
密度も定しますので、演算処理して正確な体積流量で表示できます！
その数値を、高精度に測定しポンプへフィードバックすることで、ポンプの回転
数をより正確に制御します。
これらの組合せによって、考えられないような高精度の液体流量制御が可能です。
「ポンプの性能を信じ、それだけで定量送液している」 と思われますか？
現在の体積流量方式では、流体の密度が変わった場合はどうなりますでしょうか？
流体の温度が変わったらどうなりますでしょうか？
誤差に繋がる要素が、後から後から、キリがありませんね。
マスフロコントローラーのことなら川口液化ケミカル株式会社
まで、お問い合わせください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
6月24日 水曜日
天気 雨のち晴れ
ボンベ庫の温度 朝22℃、昼23℃、夜25℃
です。
昨日の暑さから一転、今日は大雨でした。
電車の車内放送で傘を忘れるお客様が相当いらっしゃるようで
くれぐれも注意してくださいと投げかけられていました。
その声のトーンからすると、ハンパでない量ではないのでは
ないかと想像させました。
傘の置き忘れに注意しましょうね！
真空の知恵 2009年06月23日
熱の伝わり方には、対流、熱伝導、輻射の三種類が知られております。
空気中では空気を介して熱が伝わりますが、空気の無い真空中では対流
起こりません。熱伝導は真空容器（チャンバー）の壁面を伝い伝わります。
チャンバー外面に冷却水が流れる熱交換コイルや二重にしたジャケット構
造などを取るのはこのためです。輻射の場合には大気中とそれほど変わら
ず熱が伝わります。その効果を利用してハロゲンヒーターなどでチャンバー
内の対象物を加熱する熱処理炉などに利用されています。
マグカップや魔法瓶は、一般汎用品に真空断熱効果を利用した商品です。
それでも熱は伝わり、熱いコーヒーも冷めますが、それは容器の外面から内
面に輻射により伝わるものです。これを防ぐにはシールドと呼ばれる輻射を遮
る反射板を設けるのが効果的です。そこでアルミ箔を反射板に利用し、更に
熱伝導の悪い極細のガラスウール製の線を入れたもので断熱がされるものが
「スーパーインシュレーション」です。液体窒素や液体ヘリウムのクライオスタッ
トなど低温機器にはよく利用されております。
液体窒素、液体窒素用容器、液体窒素配管、液体窒素自動供給装置など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
６月２３日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝23℃、昼29℃、夜28℃
です。
午後一番からかなりの日差しとなり、弊社のボンベ庫では
お昼時間に３０℃を記録しました。
夏本番を前に、基礎体力と自然治癒力を養っておく必要がありますね。
環境関連 2009年06月22日
CO2排出抑制に逆行しているような印象を与えている発電方式が、石炭での
火力発電です。これはいわゆる工業団地でよく目にする、煙突からモクモクと灰
色 の煙を出しているイメージがあるからでしょうか。そんな石炭火力発電も新た
な技術でCO2を抑制することが出来るようです。
経済産業省はCO2の排出を限りなくゼロに近づける「ゼロエミッション石炭火力
発電」の実用化を支援すると発表がありました。発電には燃料電池やガス、蒸気
タービンの3種類の発電方式を併用し、発電効率を大幅に高めます。このハイブリ
ッドな「石炭ガス化燃料電池複合発電システム」と、排出されたCO2を地層に貯留
する技術を組み合わせることを想定し補助金などで開発を後押しするようです。
石炭は原油などの化石燃料に比べて安価で、かつ世界的に豊富な埋蔵量が確認
されています。このため途上国を含む各国で火力発電の燃料として利用が進ん でい
ます。しかし従来の方式では燃焼時のCO2排出量が石油や天然ガスに比べて 多い
難点があります。そのCO2の排出をいかに抑えるかが課題となっていいま す。今後
このゼロエミッション石炭火力発電の技術開発が進み、世界中に広ま って行けば中
長期的なCO2昨年には寄与するのではないかと思います。
by toshi_matsu
環境分析用高純度ガス、特殊ガス、標準ガス（スパンガス）など
川口液化ケミカル株式会社まで、お問い合わせください。
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今日の埼玉のお天気は？
6月22日 月曜日
天気 くもり
ボンベ庫の温度 朝２１℃、昼２３℃、夜２２℃
です。
アジサイの花が見頃です。
紫や水色の独特な色合いと大きな緑の葉のバランスが
今の季節を象徴するようなみずみずしさを感じさせます。
一年に一度、花を咲かせこうして楽しませてくれるのですね。
