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真空用語解説(真空ポンプ関連)

真空ポンプ Vacuum pomp
真空を作り、または維持するための機器
気体の輸送式ポンプ及び気体の溜め込み式真空ポンプの二つに大別されます
油回転ポンプ Oil-sealed rotary vacuum pump
油によって、ローター・ステーター・翼板などの部品の間の気密および無効空間の減少を図っている容積移送式真空ポンプです
ルーツポンプ Roots vacuum pump
ポンプケースの中を互いに反対方向に回転する一対のマユ型ローターによって、気体の輸送を行う容積移送式真空ポンプ
ターボ分子ポンプ Turbo-molecular pump
軸流タービン型の翼を持つローターおよびステーターからなる分子ポンプ
拡散ポンプ Diffsion pump
蒸気噴流中に拡散した気体分子に蒸気分子が運動量を与えることにより気体輸送を行う蒸気噴射真空ポンプ
ソープションポンプ Adsorption pump
単位質量当たりの表面積の大きな物質(たとえば多孔質物質)の収着作用を利用する気体溜め込み式真空ポンプ
ゲッターポンプ Getter pump
ゲッタ作用(化学的には活性な固体表面の収着作用)を利用する気体の溜め込み式真空ポンプ
サブリメーションポンプ Sublimation pump
連続または非連続な昇華・蒸発によって作成されたゲッタ作用を持つ面(ゲッタ面)を利用するゲッターポンプ
ゲッターイオンポンプ Getter ion pump
電解・磁界中での気体分子の励起、イオン化などを利用するゲッターポンプ
蒸着イオンポンプ Evaporation ion pump
連続または非連続な昇華・蒸発によってゲッタ面を更新するゲッターイオンポンプ
スパッタイオンポンプ Sputter ion pump
陰極スパッタリングによってゲッタ面を更新するゲッタイオンポンプ
クライオポンプ Cryo pump
気体分子を極低温面に凝縮または収着させて補足する気体溜め込み式真空ポンプ
ポンプの排気量 throughput of a vacuum pump
ポンプの吸引口を通る気体の流量
量記号 Q 単位記号 Pa・m3・s-1
ポンプの排気速度 pumping speed
ポンプの体積流量 Volume flow of a vacuum pump
ポンプの吸気口を通る気体の流量
量記号 S 単位記号 m3・s-1
吸入圧 inlet pressure
ポンプの吸引口における圧力
最大吸入量 maximum working pressure
蒸気噴射真空ポンプが正常な機能を維持できる吸入圧の最大値
背圧 backing pressure
気体を大気圧以下の圧力空間に排出する場合の真空ポンプの排気口での圧力
量記号 Pb 単位記号 Pa
ポンプの排気量に関する値
臨界背圧 Critical backing pressure
蒸気噴流または蒸気噴流真空ポンプが正常な機能を維持できる最大の圧力
量記号 Pb 単位記号 Pa
ポンプの排気量に関係する値
始動圧力 starting pressure
真空ポンプが損傷することなく始動できて、尚且つ正常な排気作用を得られる圧力
ポンプの到達圧力 Ultimate preassure of pump
気体を導入せずにポンプを長時間作動させたとき、圧力の減少がほとんど無視できるようになったときの圧力
量記号 Pu 単位記号 Pa
圧縮比 Comression ratio
ポンプに気体を流入したときの背圧の増加分を吸入圧の増加分で除した値
量記号 γ
逆拡散 back-diffusion of gas
真空ポンプの作動状態において、ポンプの排気口から吸入口に向かう気体の移動
逆流 Back-streaming
真空ポンプの吸引口を通って高真空側へ向かう作動蒸気またはポンプの油蒸気の移動
逆移動 Back-imigretion
真空ポンプの作動液分子が、容器の壁面上における再蒸発および表面拡散によって高真空側へ移動する現象

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