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真空用語解説(基本用語)

真空 Vacuum
通常の大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間内の状態。圧力そのものをいうのではなく、真空領域は習慣的に低真空から超高真空、極高真空に示す圧力間隔で区分する。
低真空 Low(rough) vacuum
圧力100Pa 以上(102Pa以上)の真空
中真空 Medium vacuum
圧力100 ~ 0.1Pa (102Pa ~ 10-1Pa)の真空
高真空 High vacuum :HV
圧力 10-1 ~ 10-5Pa の真空
超高真空 Ultla-high vacuum :UHV
圧力 10-5 ~ 10-8Pa の真空
極高真空 Extreme- high vacuum :EHV
圧力 10-9Pa 以下の真空
パスカル pascal
国際単位系の圧力単位の名称
単位記号 Pa  1Pa = 1 N・m2
トール Torr
1標準気圧(101,325 Pa) の 760 分の 1
1 Torr = 133.322 Pa
分圧 Partical pressure
混合気体中の特定成分の圧力
全圧 Total pressure
混合気体中の全成分の分圧の総和
蒸気 Vapour
温度がその物質の臨界温度以下になっていて、圧力の増加だけで凝縮相に変化させることができる気体
飽和蒸気圧 Saturation vapour pressure
その温度で凝縮相と熱力学的平衡に達している蒸気が示す圧力
気体密度 number density of molecules
気体分子の単位あたりの数
平均自由工程 Mean free path
気体(一般には粒子の集合体)の中を自由に動き回る粒子(分子・原子・電子・イオン・中性子など)が同種または異種の粒子と次々に衝突する場合、相次ぐ衝突間に粒子が飛行した距離の平均
量記号 λ,l,  単位記号 m
衝突頻度 Collision rate
気体(一般には粒子の集合体)の中を自由に動き回る粒子が単位時間に受ける衝突の平均回数
量記号 φ  単位記号 s-1
体積衝突頻度 Volume collison rate
気体(一般には粒子の集合体)の中で起こる粒子間衝突の単位時間、単位体積当たりの平均回数
量記号 x  単位記号 m-3・s-1
PV値 Quantity of gas
気体の体積と圧力の積
単位記号 Pa・m3
粘性流 Viscos flow
気体分子の平均自由工程が導管断面の寸法よりも十分小さい場合に起こる導管内の気体の流れ
気体は気体の粘性に依存し、層流または乱流となる
分子流 Molecular flow
気体分子の平均自由工程が導管断面の最大寸法よりも十分に大きい場合の導管内の気体の流れ
中間流 Intermedtate flow
粘性層流と分子流の中間の条件下にある導管内の気体の流れ
気体の流量 throughput
導管のある断面またはオリフィスを単位時間に通過するPV値
量記号 Q  単位記号 Pa・m3・s-1
質量流量 Mass flow rate
空間内のある面を単位時間に通過する気体の質量
量単位 Qm  単位記号 kg・s-1
コンダクタンス Conductance
流量をオリフィスの両側、導管などの二つの断面における圧力差で除した量、この場合等温条件を仮定しています
量記号 C・U・G  単位記号 m3・s-1
吸収 Absorption
気体または蒸気分子(吸収量:adsorbate)が固体または液体(吸収媒:absorbente)の表面にとどまっている現象
高真空になるほど、器壁におけるガスの凝縮、離脱が大きな影響を持つようになります
気体放出 Outgassing
物質からの気体の放出
脱ガス Degassing
人為的な操作による物質からの気体放出
蒸発速度 Evaporetion rate
表面の単位面積から単位時間に放出されるPV値または分子の数
量記号 qd  量単位 Pa・m・s-1、m2・s-1

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