真空部品
低真空(数Pa)から超高真空(10-9Pa以下)まで、規格品から製作品(溶接・加工品)の各種真空機器をご用意致します。
川口液化ケミカル(株)は、VacGen社(丸文社)製品の正規代理店です。
| 真空ポンプ | 真空バルブ |
|---|---|
| ロータリポンプ ＲＰ 拡散ポンプ ＤＰ ターボ分子ポンプ ＴＭＰ クライオポンプ ＣＲＹＯ ドライポンプ ＤＲＹ 他 |
材質 ＳＵＳ、ＡＬ他 形状 ストレート、アングル 弁体 ダイヤフラム、ベローズ、 ゲート |
| 真空計 | 真空排気セット |
| ブルドン管 キャパシタンスマノメータ ピラニゲージ ペニングゲージ ＢＡゲージ エクストラクタゲージ |
ＲＰ＋ＤＰ ＲＰ＋ＴＭＰ ＤＲＹ＋ＴＭＰ ＤＲＹ＋ＣＲＹＯ 他 |
| 真空部品 | |
| 溶接加工部品(ヘリウムリーク検査品) ＪＩＳｘＮＷ、ＮＷｘＩＣＦ、ＩＣＦｘＶＣＲ他 真空ブレージング加工品 |
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VacGen社のパンフ画像
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真空加工部品 ＮＷ４０ｘ１／４ ストレートパイプ５系統
既設装置の拡散ポンプからクライオポンプへの交換工事