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真空測定・測ります

真空を測定する方法は、真空計により行います。JISによる規格などがないためゼロ点のトレーサビリティーを取れません。よって真空計測機器メーカーの社内基準に依存することになります。これまで数々の測定方法が実用化され真空計として世の中で使用されています。
低真空から超高真空まで、お客様のご希望する領域の最適な真空測定の機器をご紹介いたします。

ピラニゲージ・ペニングゲージ

ピラニゲージ・ペニングゲージ
もっともポピュラーな真空計です。大気から低真空領域まで計測するのがピラニゲージです。ペニングゲージは、低真空から高真空まで計測可能です。※奥手がピラニ、手前がペニングです。

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コンパクトピラニキャパシタンスゲージ

真空計

真空計とは、一般的には真空度を示す表示機のことを指します。真空を実際に計測するセンサー部を、「真空ヘッド」などと呼びます。真空計には、アナログ式の針による指示計のものから、デジタル表示で目盛りもデジタルランプの点灯で表現するものまで様々です。

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TPG201 携帯型ピラニー真空計
ベンチトップガスモニター OmniiStar/ThermoStar

ヌードイオンゲージ

ヌードイオンゲージ
真空度を計測するフィラメントを、チャンバー内に突っ込み、加熱されたフィラメントにガス分子が接触した際の電気的な変位を真空度に表すゲージです。
フィラメント部は非常な高温になりますので、ハウジング部の管理に注意しないと火傷しますの後注意ください。

エクストラクターゲージ

エクストラクターゲージ
真空計の王様です。もっとも真空度の良い雰囲気を計測できる市販の真空計です。

残留ガス分析計(Qマス)

真空中のガス分子が、どれだけを占めているか計測できる優れものです。これさえあればチャンバー内で何が起こっているのか確認することや、ヘリウムリーク試験でチャンバーリークにも使用できます。

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質量分析計 Prisma QMS200

露点計

エクストラクターゲージ
真空計とは異なりますが、大気中や大気圧下での水分量を計測するセンサーです。窒素ガスによるグローブボックス中であっても水分がどれだけ枯れたかを計測しないことには、製品のものづくりに大きな影響を与えることになります。

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