ガスの知恵袋 2006年04月14日
CVD (Chemical Vapor Deposition)
高温での化学反応で酸化膜や窒化膜などの薄膜を
ウエハー上に堆積させる方法。
SiO2膜は、シランガスを酸素と反応させて作られる。
SiH4 + O2 → SiO2 + H2
層間絶縁膜に用いられる PSG を作る場合は、上記ガスに
ホスフィンを添加する。すると P が SiO2 に取り込まれて
PSG ができる。
SiH4 + PH3 +O2 → SiO2 + P2O5 + H2
保護膜の窒化膜 Si3N4 は、アンモニアとジクロルシランまたは
モノシランとの反応で作れます。
SiH2Cl2 + NH3 → Si3N4 + HCl + H2
SiH4 + NH3 → Si3N4 + H2
その他 ポリSi も、シランの熱分解で作られます。
SiH4 → Si +H2
金属膜の W も化学反応。
WH6 +Si → W + SiF4
同じく WSi2 も、化学反応により作られます。
WF6 + SiH4 → WSi2 + HF + H2
これら半導体材料ガスは、毒性が極めて強いため
シリンダーキャビネットなどの収納庫に入れて厳重に
管理する必要があるのです。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ 048-282-3665
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今日の格言
人生にとって時間とは？
「グズグズしていることは
時間を盗まれていることである。」
（エドワード・ヤング）
ガス法規 2006年04月13日
建築基準法関係では、危険物、高圧ガスの貯蔵または
処理できる限度数量を用途地域により規制を行っています。
検知器基準法関係では法第四十八条に用途地域区分により
建築できない高圧ガスの製造工場などが定められています。
それらは前述のとおりです。
そして、その内容には貯蔵量の緩和例が存在します。
（建築基準法、個別通達、平成十三年三月二十三日国住街第二百五号）
法第四十八条ただし書きより
「特例行政庁が、良好な住宅の環境を害する恐れがないと認め、または
公益上やむを得ないと認めて許可した場合においては、この限りではない。」
としており、特例措置を認めた例があります。
住宅地域 ３．５ ton
商業地域 ７．０ ton
準工業地域 ３５．０ ton
において、次の条件により行政庁の判断により、ＬＰガスの貯蔵量を
緩和しても良いとしている。主な緩和策とは？
１）地下埋設貯蔵
２）貯糟の払い出し元弁付近に緊急遮断弁を設置し、自身感震器および
漏洩警報設備と連動し閉止可とする
３）地下貯糟は貯糟室に設置されていること
４）敷地内で第二種保安距離、設備距離以上を確保すること
（障壁による距離緩和措置可）など、緩和量は住宅地で
最高７ ton 、商業地域３５ ton とする。
既存設備を含めて地下埋設が必要である模様。
以上のことから、実情に合わせ法律は改定されて規定おります。
規制緩和による数値の見直しなども行われてきており、ただし書き
の法規も見逃せません。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の格言
人生にとって時間とは？
「汝は生命を愛するか、しからば時間を浪費するな。
時間こそ生命を作り上げている材料ではないか。」
（フランクリン）
ガスの知恵袋 2006年04月12日
ここ最近のガスによる事故をピックアップしました。
３月２３日
九州 鹿児島市上福元町にて
ゴミ収集車の車両内部でガス爆発した。
ゴミ回収したなかに、卓上コンロ用のボンベか
ライターがあり何らかの要因で発火した模様。
ここ数年、こうしたガス爆発によるゴミ収集車の
爆発事故が多発しているそうです。
３月２５日
中国 重慶市開県にて
天然ガス田にてメタンガスが大量に流出したことが起因する
大規模爆発があった模様。付近住民１万人が非難。
今回の事故があったガス田でのガス爆発事故は、再発だそうです。
３月２７日
埼玉県熊谷市にて
住居内でガス爆発が発生した。
その部屋に住む男性と駆けつけた消防団員が負傷。
男性自身が意図的に屋内に生ガスを充満させ事故に至った模様。
３月２７日
中国 大邱市北区大覧にて
食堂の厨房で、ＬＰガス爆発事故発生。
事故当時２０人近いお客が食事をしていた。
付近を歩行していた方を含め、１７名負傷。
かつて日本でも飲食店での事故は多発していたが
警報機や安全器具、安全対策機器により
事故率は低下している。
４月１０日
宮城県白石市にて
食品工場で一酸化炭素ガスが発生し１３人が
変調をきたし、ＣＯ中毒になった模様。
このブログでも前述のとおり、一酸化炭素ガスは
無味無臭無色など、人間の五感に感じられないため
人体に影響があり初めてＣＯガスが充満している
ことを知りえる危険なガスです。
ほかにも病院での患者さんが利用する空気呼吸器
の不備による窒息事故など発生してます。
ガス事故は日常的に発生しています。
また、注意をしていても外部要因によっても
発生する可能性があります。
備えよ常に！
ガスを未然に防ぐ為のガス警報機、インターロック
特殊ガス供給設備、特殊ガス配管工事など
川口液化ケミカル株式会社
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今日の格言
人生にとって時間とは？
「過去にしがみついて前進するのは、鉄球についた錆を引きずって
歩くようなものだ。囚人とは罪を犯したものではなくて、自分の
罪にこだわり、それを何度も繰り返して生きている人間のことだ。」
（ヘンリー・ミラー）
ガス法規 2006年04月11日
高圧ガスに関連する法規のご紹介です。
建築基準法について、高圧ガスの設備に関する規定が
数値で示されております。
建築できない高圧ガスの製造工場、貯蔵所など
法四十八条、法別表第二、政令第百十六条、第百三十条の九）
用途区分により建築できない高圧ガスの製造工場が
規制されております。
ただし、「特定行政庁が認め、又は公益上やむを得ないと
認めて許可した場合においては、この限りでない。」としています。
以下最大貯蔵量の規定です。
都市計画区域内
市街化区域内
第一種低層住宅専用地域・第二種低層住宅専用地域・第一種中高層住居専用地域
原則として建設不可
（ただし、液化石油ガス法販売事業用施設貯蔵量 ３．５ ton 以下）
第二種中高層住宅専用地域・第一種住居地域・第二種住居地域・準居住地域
液化ガス ３．５ ton
圧縮ガス ３５０ m3
可燃性ガス ３５ m3
近隣商業地域
商業地域
液化ガス ７．０ ton
圧縮ガス ７００ m3
可燃性ガス ７０ m3
準工業地域
液化ガス ３５．０ ton
圧縮ガス ３５００ m3
可燃性ガス ３５０ m3
工業地域
工業専用地域
制限なし
都市計画区域内
市街化調整区域
原則として建設不可
ただし、既存宅地の確認済み用地は、その条件により
「可」の場合あり
都市計画区域内
区域指定なし
制限なし
都市計画区域外
制限なし
注意書き
既存不適合工場（用途地域指定時に合法的に建てられていた工場）
については、危険物数量、作業所床面積または延床面積は、基準時
（用途地域指定時）の、１．２倍までしか増改築できない。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の格言
人生にとって時間とは？
「普通人は時をつぶすことに心を用い
才能ある人間が心を用いるのは
時を利用することである。」
（ショウペンハウエル）
ガス法規 2006年04月10日
本年度も平成１８年１１月１２日(日曜日）に
高圧ｶﾞｽ関係の国家試験が行われます。
願書受付が７月中旬から始まります。
お問い合わせは、KHK試験ｾﾝﾀｰ TEL 03-3436-6106
または、高圧ｶﾞｽ保安協会サイトからご覧いただけます。
http://www.khk.or.jp
受験料は以下の通りです。
大臣試験
甲種化学・機械、第一種冷凍機械
￥１４，５００−（インターネット申込 ￥１３，９００−）
知事試験
乙種化学・機械、第二種冷凍機械
￥１０，０００−（インターネット申込 ￥９，５００−）
丙種化学、第三種冷凍機械
￥９，４００−（インターネット申込 ￥８，９００−）
第一種販売 （一般高圧ガス販売資格）
￥８，５００−（インターネット申込 ￥８，０００−）
第二種販売 （液化石油ガス販売資格）
￥６，７００−（インターネット申込 ￥６，２００−）
液化石油ガス設備士
￥２３，０００−（インターネット申込 ￥２２，５００−）
高圧ガスに携る方は必携の資格です。
チャレンジしてみませんか？
高圧ガス、低温機器、真空機器
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今日の格言
人生にとって時間とは？
「いちばん忙しい人間が、いちばんたくさんの時間を持つ。」
（アレクサンドル・ビネ）
ガスの知恵袋 2006年04月09日
高圧ガスを廃棄する場合は、可燃性ガスは燃焼させ
毒性ガスは除害装置をとおして除害して大気放出することが
原則となっています。
これらの設備がない場合は、以下の基準に従って廃棄することが
望ましいです。
（※実際に廃棄する際には、拝読者様の責任において作業していただくよう
お願い致します。弊社としての責を追いかねますのでご了承ください。）
使用済みのガスボンベ内の残ガスは、みだりに放出したりせず
、圧力計で指示する範囲の残ガスを残した状態で、容器弁を閉じ
販売業者に返却しましょう。可燃性ガス、毒性ガス、酸素ガス、
その他活性のあるガスはくれぐれも注意してください。不活性ガス
についても同様の措置が望まれます。
廃棄の基準
・廃棄は容器とともに行わないこと
・可燃性ガスの廃棄は、火気を取り扱う場所又は引火性もしくは発火性の
物を堆積した場所及びその付近を避け、かつ、大気中に放出して廃棄するときは
通風の良い場所で少量ずつ行うこと。
・毒性ガスを大気中に放出して廃棄するときは、危険又は損害を及ぼす恐れのない場所で
少量ずつ行うこと。
・可燃性ガスまたは毒性ガスを継続的に反復して廃棄するときは、当該ガスの
滞留を検知するための措置を講じておこなうこと。
・酸素の廃棄は、バルブ及び廃棄に使用する器具の石油類、油脂類その他の
可燃性のものを除去した後におこなうこと。
・廃棄した後は、バルブを閉じて、容器の転倒、バルブの損傷を防止する
措置を講ずること。
・充填容器のバルブは、静かに開閉すること。
・充填容器など、バルブ又は配管を加熱する時は、熱湿布または４０度以下の
お湯を使用すること。
以上の事項を確認し、周りの環境、責任の所在の確認、無害化
できているかどうかのガス検知機器など安全管理、準備徹底し、
処理をご検討ください。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の格言
人生にとって時間とは？
「時は偉大な医者である。」
（ディズレーリ）
ガスの知恵袋 2006年04月08日
用が済んだガスボンベを処分したい！
そんなご要望をお客様から良く受けます。
以前であれば、比較的容易に処分することができました。
現在は、ＰＬ法（製造者責任法）の関係で
メーカーで製造したことが証明できないと
みだりに処理をしたいボンベ・ガスなどを
持ち込んでも処理してもらえなくなりました。
また、古いボンベなどでは、製造した工場や事業所自体が
姿形を変え、ことによるとまったく商売をやっていない
止めてしまったケースなどに出くわします。
それではメーカーが対象ガスの製造を中止し
引取りを拒否されたらどうしましょう？
限りなく処分が難しいです。
世の中には、毒性ガスや腐食系ガスの処分をしてくれる
業者も存在します。
ですが、産業廃棄物の処分に関し、法的に厳しいことと
ガスの場合処分が、薬液と違い酸やアルカリの処理槽を
通過させただけでは中和できない（無害化できない）ケースが
少なくありません。
そうしますと処分が限りなく不可能な状態になります。
ですので、需要家様・お客様は、少なくともガスボンベを購入した際
いつ誰からどのようなルートを伝って購入したか
明確に説明できる内容を保存していることがとても大切です。
特に研究機関や大学・研究室などでは
いつ・誰が・何の目的で・どこから購入したのかさえ分からない
毒性ガスボンベが地下室に眠っていることがあります。
いつか誰かが・・・・
処分しようとしても処分できなくなりますので
早め早めに対処されることをお薦めいたします。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の格言
人生にとって時間とは？
「明日ありと思う心のあだ桜、夜半の嵐に吹かぬものかは。」
（親鸞）
ニュース 2006年04月07日
宇宙から飛来する素粒子「ニュートリノ」を観測できる施設。
「スーパーカミオカンデ」
(Super-Kamiokande、Super-Kと略されることもある）
４年前、50000トンの超純水を蓄えたタンク内にある肝心要のセンサー部
である光電子増倍管が６００００本以上（全体の７０％）破損しました。
光電子倍増管は１本数十万円と言われています。また、１本１本手作りするため
気の遠くなる作業を要します。
その設備が復旧完了したそうです。
光電子倍増管とは？
「光電子増倍管は、光電面、集束電極、電子増倍部、陽極（電子を集める電極）
を真空管の中に収めた高感度の光センサです。」
質量分析の世界では、分析装置の検出部に利用されています。
ガス残留分析計（Ｑマス）では、次のような検出原理を利用しています。
イオン源で生成したイオンが分析部を通り抜けて、極々わずかな量だけ
検出部に入ります。それを検出するには倍増が必要になるため、イオンを
金属電極に捕集し、その電荷量を電流として測りイオン量を計測するのが
ファラデーカップや二次電子倍増管です。
特に二次電子倍増管は多く用いられており、負の電荷を持つ初段の
ダイノードに＋イオンが衝突して発生し二次電子が、更に二段目以降の
ダイノードに連続的に衝突して増幅されて高感度検出を可能にするのです。
その類で、光電子倍増管、高感度変換ダイノード検出器、チャンネル電子倍増管
などがあるのです。
川口液化ケミカル株式会社
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今日の格言
人生にとって時間とは？
「寸陰を利用することが、いかなる種類の戦いにも
勝利を博す秘訣である。」
（ガーフィールド）
真空の知恵 2006年04月06日
昨日ご紹介の、真空中での熱処理の特徴は
光輝処理ができ、スケーリングを除け
汚物除去、金属中のガス除去、ガス侵入防止
寸法狂いが少ないなどでした。
では、それぞれの特徴について説明しましょう。
・酸化されること無く光輝処理
Ｃｒ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｗ などの金属は、水素ガス雰囲気で
熱処理をすると、水素中のわずかな酸素や水分により
酸化されてしまうことが多いそうです。
真空中では酸化されること無く、ピカピカに光る金属
表面の仕上げを作ることが出来ます。
・表面のスケーリングができる
金属の表面には必ず酸化物（スケーリング）の膜が形成
されています。アルミなどは特に強固な酸化被膜に覆わ
れています。
これを真空中で加熱することにより、表面の酸素分が
取れて再生するそうです。（全ての金属ではありません）
この熱処理は、焼きなましにもなります。
・表面についている汚物や潤滑材の除去ができる。
金属表面で加熱された物質が、真空中で低蒸気圧作用
で飛びやすくなるからです。
・金属中にあるガスを取り除くことができる
精錬された金属やガスを含まない真空溶解でつくられた
金属でも、さまざまな加工を施すうちにガスが入ってしまいます。
そうしたことで金属自身の元来の強さや性質が劣ってしまいます。
真空中での焼きなましにより、著しく改善されるそうです。
・他のガスや元素の侵入が防止できる
鉄鋼をガス雰囲気中で熱処理すると、表面から炭素分が抜けたり
入り込んだりします。鉄鋼のまわりにある炭素を含むガス（メタンなど）
と反応し、多くの場合望ましくないようです。硫化物があれば硫黄分が
表面に侵入するし、チタンなどでは水素や窒素などガンガン表面から
入ってくるのだそうです。
真空中ではこうしたこときわめて少ない。もしくは、まったくない。
なぜなら雰囲気中のガスを真空排気してしまうので、到達する真空
度により残留ガスをコントロールできるからです。
・寸法精度が高い
熱処理により金属は伸縮し精度が狂いがちです。
真空熱処理では、温度変化をゆっくり行うことで寸法の狂いが
非常に少なくできます。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の格言
人生にとって時間とは？
「時は人間が消費しうるもっとも価値のあるものなり。」
（テオフラストス）
真空の知恵 2006年04月05日
金属や合金は、加工によって材料が硬くなることがあります。
そこで 「焼きなまし」 「焼きいれ」 「焼き戻し」 「焼きならし」
などなどいろいろな熱処理を行って加工性を良くします。
これは、通常大気中（空気雰囲気）で行うか、不活性ガス中で行うか
水素中の還元雰囲気で熱処理されるのが一般的です。
ここで 「真空熱処理」 の登場です。
ガス雰囲気と異なり、真空中で行うと性能が向上するばかりか
危険性が少なくなり、経済的である点も見逃せません。
その特徴をご説明しましょう。
１）酸化されること無く、光輝処理ができる
２）表面のスケーリングができる
３）表面についている汚物や潤滑剤を除去できる
４）金属中にあるガスを除去できる
５）他のガスの元素の浸入防止ができる
６）寸法変化が少ない
これらはガス雰囲気では難しい処理です。
ただし、これらを逆に利用して鋼の表面に炭素や窒素を
侵入させ、表面を硬化させる方法も利用されています。
前者を 真空浸炭。
後者を 表面窒化。
といいます。
高圧ガス、低温機器、真空機器
ＴＥＬ 048-282-3665
川口液化ケミカル株式会社
ありがとうございます。
今日の格言
人生にとって時間とは？
「成年重ねて来たらず、一日ふたたび晨なりがたし。
時に及んで勉励すべし、歳月人を待たず。」
（陶淵明）
