ガスの知恵袋 2008年03月11日
薄膜にしたい材料であるシリコンの化合物としてモノシラン
（シリコンと水素の化合物）や塩化シリコンの気体を高温に
加熱された基板表面で化学反応を起こさせて基板の表面に
シリコン薄膜をつくり残った水素を排気します。
常圧で反応を起こさせる常圧ＣＶＤ法と、１０〜１００Ｐａの真
空下で反応を起こさせる低圧ＣＶＤ法があります。より均一な
薄膜ができる低圧ＣＶＤは基盤の加熱温度を約１０００℃にし
なけらばならず、高温加熱が不可欠です。そのため高周波を
組み合わせることでプラズマを発生させて３００〜４００℃の加
熱でも効果があるのがプラズマＣＶＤです。
ＣＶＤ法は、炭化物から窒化物、酸化物などの化合物の薄膜
を作れます。
ウエハや薄膜の材料、薄膜の用途など最適な方法で薄膜を
作りますが、問題はウエハとの付着強度や薄膜内部の欠陥など
があります。付着強度は、基盤が汚れていることによる問題です
ので表面上のクリーニングは重要です。微小なゴミは配線の断
線や短絡、薄膜成長の欠陥の核になるのです。
薄膜が出来上がるとＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）で検査をし、
超格子を作成する場合は真空を破ることなく、ＡＥＳ（オージェ電子
分光法）やＸＰＳ（光電子Ｘ線分光法）、ＲＨＥＥＤ（反射高速電子
回折）などで薄膜の出来上がりを検査するのです。
真空装置のコンポーネントや真空計、真空ポンプなど
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
３月１１日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝６℃、昼１３℃
です。
水素と二酸化炭素があれば生物は誕生する。
生物はなんで生きているのか？
頭の良い先生とは、単純に物事の説明ができる
ことなのだそうです。
真空の知恵 2008年03月10日
真空チャンバーをポンプで排気しても超高真空に
到達するためには長時間をかけてもなかなか達し
ません。一般的にベーキングと呼ばれるか加熱脱
ガス処理を行います。
ベーキングは、真空排気しながら真空チャンバー
全体をヒーターなどで１００〜４００℃に加熱し材料
表面に吸着している水分などのガス分子のエネル
ギーが吸着の結合エネルギーに近づいたり、または
大きくなることで蒸発します。ベーキングしているとき
は、水分などの蒸発が進み圧力が一時的に上昇しま
すが、徐々に減少していきます。
ベーキング温度はステンレスの場合２００〜４００℃
で、アルミの場合は１５０℃です、
ベーキング時間は、高真空の場合数時間で、超高真
空では１〜２日間かかり、ベーキングを終了すると真空
チャンバーが徐々に常温に戻るにつれて圧力が急激に
減少し超高真空に到達するのです。
真空チャンバーの製作や修理、改造、真空ポンプの
更新など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご
相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
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今日の埼玉のお天気は？
３月１０日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝６℃、昼９℃
です。
そろそろ国際宇宙ステーションの日本の
実験棟「きぼう」がさまざまな宇宙での
ミッションを行うた地球から放たれます。
最高の成果が出ることを希望します。
ガス法規 2008年03月09日
高圧ガスの取り扱いに関する法律の規制は、次の七つに
区分されています。
・製造
・販売
・輸入
・貯蔵
・移動
・消費
・廃棄
このうち、高圧ガスの製造に関する規制が厳しく、その他の
販売、貯蔵、消費などに関連づけされています。それでは規制
を受ける者それぞれの対象物との関係は以下の通りです。
１、高圧ガス
製造・販売・輸入・貯蔵・移動(貯蔵）・消費・廃棄・検査
をしようとする者
２、圧縮天然ガスの家庭用設備
設備やその変更の工事をする者
３、高圧ガスを充填する容器とバルブなどの附属品
製造・輸入・検査する機関、所有、再検査する者
４、高圧ガスを製造する設備
製造・輸入・検査する者、検査・認定する機関
５、冷凍設備
製造、検査・認定する機関
※上記言葉の表現や細目については、法律に則し
御客様各位で都度ご確認ください。
高圧ガス、高圧ガス設備、高圧ガス配管工事の
ことなら川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
３月９日（日曜日）
天気 はれ
気温 １３℃
です。
ＪＲ大宮駅から第三セクターのニューシャトルに
乗り換え一駅目に、新しい「鉄道博物館」があります。
古くからの実際の車両やシュミレーターによる運転
の実践、小型鉄道の実際の運転、日本最大の鉄道模型
ジオラマ展示場（25m x 8m)、などなど盛りだくさんです。
人気の実演コーナーはそれぞれ一時間以上待つことが
必要ですので、家族でお父さんが長蛇の列に並ぶ役を
引き受けるとその間子供とお母さんは遊んでいられる
かもしれません。
ガスの知恵袋 2008年03月08日
小流量の気体・液体測定分野で困難とされてきた
高精度とゼロ安定性を確立したﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰが
ブルックス製 QUANTIM シリーズです。
心臓部がコリオリ式質量流量センサー（特許）を採用して
おり、流体の種類やプロセス変量(粘度・密度など）の影響を
受けることなく流量制御が可能です。
直接質量流量を計測するため流量計機器の交換や再校正
をすることなくプロセスの化学作用やプロセス条件を変えること
ができ、内部に可動部がないのでメンテナンスの必要性が抑
えられ全体の維持管理費用を低減することができます。
どのような液体でも実質的にその性質に影響されることなく
小流量を正確に計測・制御できるため、特殊薬品、石油化学品
医薬品、半導体、分析器、研究室などの分野で、食品添加物
ＣＶＤ原料、触媒、炭化水素、抑制剤、栄養素など取り扱いの
難しいプロセス流体の管理に最適です。
ブルックス製 QUANTIM シリーズのご用命は
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談
ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
3月8日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 昼10℃
です。
Ｊリーグが開幕し、野球もそろそろペナントレース開始。
一年が始まりますね。
ガスの知恵袋 2008年03月07日
透明な塩ビなどでのダクト加工品の製作のことならご相談ください。
排ガスダクトやスクラバーなどハンドメイドの箱状のものから
クリーンルーム仕様の塩ビ配管、ステンレス製ダクトまでお気
軽にご相談ください。
川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
3月7日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝5℃、夜8℃
です。
今のインドでは、日本のお菓子の柿ピーと
山葵ポテトチップが流行っているそうです。
アメリカのニューヨークでは雪見大福が・・・
ロシアでは寒さ対策の使い捨てカイロが・・・
流行っているのだそうです。
面白いですね〜
H2 (水素) 2008年03月06日
高温高圧の水素は、炭素鋼を短時間のうちに
脆くしてしまいます。これを水素脆性・水素の脱炭
作用といいます。
もともと人の手により作られた鋼材は小さな隙間が
あります。そこに軽くて浸透性の大きな高温高圧状態
の水素ガスがその微細な隙間から鋼材内部に浸透し
鋼材の中の炭素と化合してメタンに変化するといわれ
ており、このメタンが鋼材内部で膨張すると無数の亀
裂を生じさせてしまうのだそうです。
したがって、高温高圧の水素ガスに曝される金属材
料に通常の鋼材を使用することはできないため、クロム
約１８％、ニッケル約８％を含む 18-8 ステンレス鋼を
使用します。
この水素脆性は経年劣化というレベルでなく、わずか
数時間で状態変化が進み、装置などを破壊してしまい
ます。極めて危険な現象なのです。
水素ガス、水素ガス供給設備、特殊ガス配管工事など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
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今日の埼玉川口のお天気は？
３月６日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝４℃、昼９℃、夜８℃
です。
「桃の節句」とは？
女の子の成長と幸せを願い、祝う行事で雛人形や桃の花
を飾って祝う雛祭りの別名です。
昔から桃は邪気（病気などをおこすと考えられる悪い気）
をはらう力があると考えられ、旧暦の３月３日ごろ桃の花
の季節だったことからひな祭りに欠かせない花となったの
だそうです。
真空の知恵 2008年03月05日
ＮＷ２５やＮＷ４０など汎用の真空フレキホースは、成形ベローズ
構造で、溶接によりリングに接合され、波状の部分が延び縮みし、
左右、上下に曲げることができるのです。
ホース部を輪切りにしますと・・・
こんな断面になっております。
通常はここにＮＷ２5などの真空フランジを溶接し、フレキホース
の完成です。お客様の用途や様々な機器との接続継手によっては
Ｒ or Ｒｃ などのネジ継手仕様として使う場合もあります。
ＳＷＬ（スウェージロック）タイプやＵＪＲ継手などのガス
継手で製作することも可能です。
真空フレキのことなら川口液化ケミカル株式会社
までお気軽にご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
3月5日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝5℃、昼8℃
です。
4月に入ると、素形材や副資材などあらゆる
材料という材料が値上げ基調です。
高圧ガスもメーカーより値上げの要請が
あることが新聞発表されております。
製造業様は戦々恐々とされております。
ガスの知恵袋 2008年03月04日
ＣＥとは何でしょうか？
高圧ガス関係でＣＥといえば液化窒素などを製造した
工場からタンクローリーにより輸送し、液化ガス消費先の
貯槽に移送され、この貯槽で貯蔵されます。そして、消費
の際に、この貯槽から液化ガスを取り出して蒸発させ消費
する系統に送り出し使用するものをＣＥと称します。
ちなみにＣＥは、貯槽のみをいうものではなく、貯槽から
液化ガスの取り出しを促進するための液面加圧用蒸発器
や消費の系統に送る液化ガスを蒸発させるための送ガス
用蒸発器などの機器類を含んだ総称す。
７ｍ３ボンベでは間に合わず、ＬＧＣにしても足りず、複数本
配送しても十分でない場合にＣＥによるガス供給を検討しま
す。
維持管理費用も含めた上でＣＥの設備を設置するかどうか
判断が求められます。
液化ガス、液化ガス供給設備、超低温液化ガス容器など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談下さい。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
３月４日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝６℃、昼１０℃、夜８℃
です。
乗用車のフロントガラスが砂のような粉上のもので
真っ白になりました。
花粉かなとも思いますが、黄砂のようですね。
ガスの知恵袋 2008年03月03日
可燃性ガスと酸素ガスは非常によく反応します。
空気中や酸素雰囲気中で所定の温度になると発火
する温度があります。これを発火温度と称します。
それでは可燃性ガスの発火温度を見てみましょう。
メタン ５３７℃
エタン ５１５℃ （５０７℃：酸素中）
ｱｾﾁﾚﾝ ３０５℃ （２９６℃：酸素中）
ｴﾁﾚﾝ ４９０℃ （４８５℃：酸素中）
ｼｸﾛﾌﾟﾛﾊﾟﾝ ５００℃ （４５５℃：酸素中）
ｴﾁﾙｴｰﾃﾙ １９４℃ （１８３℃：酸素中）
アセトン ４６５℃
水素 ５８０℃ （５３８℃：酸素中）
アンモニア ６５１℃
ｱｾﾄｱﾙﾃﾞﾋﾄﾞ １８５℃
これらの温度に達しないような環境が最低限必要
ということですね。
可燃性ガス（CH4,C2H6,C2H2,C2H4,H2,NH3など）のことなら
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今日の埼玉のお天気は？
３月３日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝５℃、昼１０℃
です。
今日は楽しいひな祭り♪
お内裏様とお姫様は、地域によって左右それぞれ
存在するようですね。
HF (フッ化水素) 2008年03月02日
フッ化水素は、それ自体に引火性、爆発性はありませんが
腐食により発生した水素ガスが爆発することがあります。
更に極めて強い腐食性により金属はほぼ全て侵されます。
ガラスもよく腐食されます。
製造方法は、蛍石を砕き鉄製の反応炉の中で濃硫酸を加え
加熱することでフッ化水素を得られます。これを冷却し混入した
硫酸などを凝縮して除去し吸収装置で水に吸収させます。
反応炉は鉄製ですが、生成する石膏により内面が覆われる
ためフッ酸で侵されることは比較的少ないようです。
原料の蛍石の中にケイ酸分が含まれていると、フッ化水素と
反応するので蛍石はシリカ分の少ないものが望ましいようです。
無水フッ酸はフッ化水素酸を数段階蒸留して得られますが、装
置の材質として鉛が使用できないので銅・モネルなど耐蝕材料
が利用されます。
そのほか発生したフッ化水素を空冷し硫酸を除去した後に凝縮
し粗製無水フッ酸とし、精留してケイフッ化水素を分離除去し精製
無水フッ酸をつくり、所定の濃度に水で薄めて作る場合もあります。
前者を吸収法、後者を乾式法（凝縮法）と呼びます。
高圧ガス、高圧ガス供給設備、高圧ガス配管工事のことなら
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今日の埼玉のお天気は？
３月２日
天気 晴れ
気温 ９℃
です。
中国の農村部で貧困にあえぐ地域に
上海の成績優秀な若者が短期の教師として
ボランティアするテレビ番組を見ました。
格差が活力になるとも言われますが
経済発展の歪を垣間見た気がしました。
