MFC/MFM (マスフローコントローラ) 2008年10月08日
高圧ガスには様々なガス種があり、それぞれ物性も異なります。
その中でもガス機器や配管を腐食させてしまう性質を持つ腐食性ガスは対応
機種が限られ、機種選定の際にも注意が必要なガスになります。
その腐食性ガスであり、尚且つ低べーパープレッシャーライン特性を持つガス
のハンドリングは更に難しくなります。そうしたガスの場合、その特性からべー
パーの状態を維持するための元圧を十分に採ることができませんし、ユースポ
イントで必要な圧力を確保するために出来るだけ上流側で圧力が下がってしま
うような要因、いわゆる「圧損」の原因を避けたいものです。
そのような環境、ガスハンドリングを求められるニーズに合致する最適な
「マスフローメータおよびマスフローコントローラ LOW-ΔP-FLOW」 があります！
※ブロンコスト・ハイテック社製
特許の層流素子を採用し 2ln/min の流量まで、なんと！！
圧損が 1hPa (1mbar) 以下で計測可能で
大流量の場合でも最大圧損は 15hPa (15mbar) 以下
という優れものです！！
このシリーズでは、マスフローメーターとして 0…10mln/min から 0…1000m3n/h
の流量計測範囲でご利用が可能です。
マスフローコントローラの場合には、通常調節弁が必要になりますが、この調節弁で
適切な圧損を食わすことによって制御性を高めていますが、これらのガスへはこの
論理は当てはまりません。 なぜならば圧損を出来るだけ食わせたくないからです。
この相反する要求を満たす調節弁が圧力補償型ベローズ調節弁です。
調節弁前後（1次/2次圧）の圧損が 1hPa(1mbar) 程度で動作するよう
ベローズで補償しています。
計測・制御範囲は 0.2…10mln/min から 4…200ln/min までになります。
※それより大きい流量の場合には御相談ください。
左から「ｿｰｽﾀﾝｸ」 「気化器」 「IP65（防塵・防滴型）低圧損型ＭＦＣ」 「ﾕｰｽﾎﾟｲﾝﾄ」
適用ｶﾞｽ ： H2S, H3Se, NH3, AsH3, C4H8, CO2, SiH2CL2,HCl, SF6, Xe、その他
ラボラトリータイプ低圧損型マスフローコントローラー
IP65（防塵・防滴型）大流量マスフローメーター
IP65（防塵・防滴型）ウエファータイプマスフローメーター
IP65（防塵・防滴型）ベローズ調節弁
低差圧、腐食対応、高圧ｶﾞｽ申請仕様（1MPa以上）、液体MFC・MFMまで
特殊仕様のﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰやﾏｽﾌﾛｰﾒｰﾀｰのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
１０月８日 水曜日
天気 雨のちくもり
ボンベ庫の温度 朝１７℃、昼１８℃、夜１８℃
です。
ノーベル賞に日本人３名の方がいっぺんに受賞されましたね！
これは相当に凄いことです！
日本の研究者に夢を見ていただく大きな目標となりますよね。
今日の環境情報は？
エネルギー枯渇時代を迎えて
全てを掘りつくすことはできるのか？
最後の石油の一滴、最後の石炭のひとかけを
採掘するのは、最初の石油や石炭よりもだんだんと
掘り難くなります。
このため、油田や鉱区の半分の採掘を過ぎると
だんだんと採掘量が減り始めます。
真空の知恵 2008年10月07日
真空用のバタフライバルブは、開口部のコンダクタンスが大きい
ものの、ゲートバルブのように開口部が完全にフリーの空間になら
ないので、試料の移動などはできません。また、軸シールはＯリン
グシールのみですので、超高真空には使用できません。
ですがバルブ構造が簡単なので故障が少なく、トラブル対応も
容易です。フランジ口径は、最大２００ｍｍ程度です。
バタフライバルブやほかのバルブも大気圧と真空側とのＩＮ，ＯＵＴ
側を併用できますが、ゲートバルブだけは真空側と大気側の開閉
方向を確認することが大切です。ただし、逆圧がかかりますので、ポ
ンプやチャンバーなどに影響があることをあらかじめ考慮に入れましょ
う。
真空バルブ、真空ゲージ、真空チャンバーのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
10月7日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１７℃、昼２０℃、夜２０℃
です。
今日の京都は、小雨混じりで少々気温も高かったようで
しばらく歩いていると汗ばむような感じでした。
それでも大雨でなくて良かったです。
今日の環境情報は？
エネルギー資源の残余は？
（採掘可能年数：２００６年ＢＰ資料）
石油 ４０年
石炭 １４７年
天然ガス ６３年
ウラン ７３年
ニュース 2008年10月06日
平成19年度における「高圧ガス保安法」関係の全国の
事故件数は283件（前年193件）と過去最高件数を記録し
ていますが、災害に伴う人的被害（死傷者）については
85名（同95名）と前年より減少しています。埼玉県内の
昨年度は、容器の盗難21件、紛失1件、さらに漏えい11件
漏えい着火1件、火災2件、爆発2件、漏えい3件、漏えい着
火1件が発生し、合計10件と昨年より減少傾向にあります。
また、「液化石油ガスの保安の確保及び取引の適正化
に関する法律」関係の事故件数も、全国的に見ますと平成
19年は238件と前年（219件）に引き続き高水準となっていま
す。埼玉県内において、昨年度は25件発生し、今年度は8月
末までに6件発生しています。
そこで、より一層の保安意識の高揚と保安活動の促進を
図るために、経済産業省が主導する高圧ガス保安活動促進
週間に併せて、埼玉県、高圧ガス関係団体、事業者が連携し
高圧ガスに係る保安の確保に万全を期することを目的とし
平成20年10月23日（木曜日）から平成20年10月29日（水曜日）
まで
実施するものであります。埼玉県が実施する事業として
・高圧ガス防災訓練
平成20年10月17日 金曜日
午後0時30分から午後3時30分
場所 川越水上公園（川越市大字池辺８８０）
・平成20年度埼玉県高圧ガス保安大会
平成20年10月20日 月曜日
場所 ラフレさいたま（さいたま市中央区新都心３−２）
・高圧ガス関係事業所の点検・指導
・高圧ガス保安活動促進週間のポスターによる啓発
などが行われます。
高圧ガスの取り扱いにはご注意ください。
川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
10月6日 月曜日
天気 あめのち曇り
ボンベ庫の温度 朝15℃、夜17.5℃
です。
すっかり涼しく、というか寒いくらいになってきましたね。
昨日、耳鼻科医院の前を通ったら、患者さんがたくさん
押しかけ、出入口から大人子供が溢れてました。
風邪に注意ですね。
今日の環境情報は？
エネルギー資源の残余は？
石油が無くなれば、代わりに天然ガス、石炭などが
より多く使われるようになるため、全ての資源を消費
し尽くすのは、単純計算で２０９０年ごろとなり、あと
１００年を切っているのです。
※６日月曜日投稿が、５日分としてＵＰしておりました。
失礼いたしました。
真空の知恵 2008年10月05日
真空用のストレートバルブは、ガスと異なりゲートバルブのように
バルブの中を試料が移動できるような目的で利用されることがある
ので比較的小口径に限られます。
シールの構造はＬ型アングルバルブと同じようにバイトン製とメタル
シール製の２種類あります。用途が限られるためか、この種のバル
ブは駆動方法が手動型がほとんどです。構造としてはガス用のＹ型
ストレーナー（フィルター）のように、流路に対して斜め45度からバル
ブ軸がシート部を押しあてたり遠ざけたりする機構ですので、このタ
イプは一般高圧ガスの汎用バルブではあまり見られないようです。
価格も高価なため、実用上支障がなければＬ型アングルバルブを
お使いいただいたほうがコストメリットも大きいかと思います。
但し、試料を通貨させる必要が無い場合には、ガス同様の流路に
対して９０度の方向からバルブステムが移動し、流路としてはＺ状の
イナズマのように流れますので真空排気など抵抗を考慮する必要が
あります。すべての真空領域に対応していませんが、ボールバルブ
タイプもありますので条件を加味して機種選定することが必要です。
真空バルブ、真空ポンプ、真空チャンバーのご用命ご相談は
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日のさいたま市のお天気は？
１０月７日 日曜日
天気 くもり
気温 ２２℃（PM6:00）
です。
ＩＰＳ細胞で損傷を受けた脊髄の神経細胞に
利用することで症状の改善がみられるかもしれない
希望が見えてきたそうです。
凄いことですね。
今日の環境情報は？
「軍隊のない国家 ２７の国の人びと」（書籍紹介）
世界には軍隊を持たない国家が２７あります。
日本よりも小国といわれるこの国々は「他国が攻めてきたら」
という仮想ではなく、自ら軍隊を無くし、平和に貢献するという
一歩をすでに踏み出している国々です。
それぞれの国に歴史的経緯、平和学習、平和外交なども
紹介されており、平和憲法をもつ今の日本の状況を考える上で
大切な示唆を与えてくれる一冊です。
真空の知恵 2008年10月04日
真空バルブのご紹介２回目です。高圧ガスのバルブ
では、ボールバルブ、トルグバルブ、ニードルバルブ、
ベローズバルブ、ダイアフラムバルブ、バフタフライバルブ
ゲードバルブなどありますが機構自体は同様のものが多く
含まれています。
低真空領域であれば陽圧である高圧ガス用バルブが
低真空でも用途によっては使用可能です。中真空、高真空
になりますとバルブの内部リーク、外部リークともに真空で
耐えうるものではなくなるため、真空専用のバルブを選択さ
れることをお薦め致します。
真空用のゲートバルブとは？
バルブを開いたときコンダクタンスが大きいバルブで、開口部
にバルブＩＮ、ＯＵＴ側を通過させてサンプルやウエハーや試料
をまるごと移動できるなどの用途には最適です。
バルブのゲート部が駆動する機構にコストのかかる複雑な構造
を取らざる得ないため他のバルブと比べて高価です。
バルブの内部でスライダーと呼ばれるバルブ弁のマウントが移動
して、逆に閉止するときは移動方向が９０度変わってシールします。
このときバルブ弁が全周に渡り均等に同じ圧力で押しあてられるか
がシールの性能や内部リーク性能などメーカーにより差が出るとこ
ろです。バルブの口径はφ１０００以上の大口径まで幅広くライン
ナップされています。シール部はバイトンとメタルシールなどあり、
手動と圧空駆動があります。
高真空から超高真空ではＶＡＴ製（スイス）が圧倒的に信頼性と
性能、実績でメジャーなバルブとなっています。最近ではVG社など
でも取扱いを始めています。
高真空バルブ、ゲートバルブ、ＶＡＴ・VGなどお問い合わせください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
１０月４日 土曜日
天気 はれ
気温 ２３℃（PM6:40）
です。
今更ながらですが、オリックスの清原選手はプロ野球選手として
世の中に注目され、また、その期待に応え、才能を発揮したこと
を鮮明に記憶に残しました。
私の同世代で高校時代から騒がれたことのプライベート側では
さまざまな想いがあっただろうことが容易に想像されます。
感動をありがとうございました。
今日の環境情報は？
日本人の一人当たりの魚介類の消費は約６５キログラム（２００３年）
で世界平均の４倍以上を消費しています。
無駄な食べ残し、残飯など意識して減らしていくことが大切ですね。
真空の知恵 2008年10月03日
真空用のバルブには、Ｌ型アングルバルブ、ゲートバルブ
ストレートバルブ、バタフライバルブの4種類が主に使用され
ています。
Ｌ型アングルバルブは、ハンドルの回転する軸シール部を
Ｏリングによりシールするものと、ベローズによりシールする
ものが、それぞれ中真空用、高真空用としてタイプ分けされ
ております。
バルブのシートはバイトン製が多く、超高真空でもバイトン
を使用していたりしますがベーキング温度２００℃まで行う際
にはバルブシートが接地しない全開状態(フルオープン）で行
えばベーキングできます。それでもバイトンは洗浄した上、十
分な脱ガスをさせないとガス放出はいつまでも収まりません。
バルブシートを銅ガスケット製にした超高真空仕様の場合に
は約３００℃までベーキング可能です。
汎用性の高いＬ型アングルバルブは口径の小さなものが多く
開閉を繰り返し使用する部位に使われてますので、シート部の
エラストマーが劣化した場合にはシール部またはバルブ自体の
交換が必要です。
マニュアル、圧空（アクチュエーター）製真空バルブのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口市のお天気は？
１０月３日金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１７℃、昼２１℃、夜２０℃
です。
ぽにょの映画が大人気ですね。
今夜のテレビでハウルの動く城が放映されてましたが
子供たちはクギ付けですね。
そう。見るのは数回目ですが、子供？(大人も）の心を惹きつける
魔法がかけてあるのでしょうね。
今日の環境情報は？
世界の漁獲消費量は過去最高へ
国連食糧農業機関（ＦＡO)の世界漁業養殖白書によりますと
世界の一人当たりの魚介類消費量は過去４０年にわたり増え続け
１９６１年の９ｋｇから２００３年には約１６．５ｋｇになりました。
この間、世界人口は３０億人から約６５億人へと増加し、今後も
増え続ける見込み。
一方で世界の水産資源は約７７％持続的に漁獲できる上限ぎりぎり
の過剰の状態で獲られています。
資源の枯渇が叫ばれているのはこれを謳っているものです。
ガスの知恵袋 2008年10月02日
一般工業用ガスの配管は、1/4″,3/8″,1/2″ 外径で、材質が
SUS304、SUS316L などで、内面加工が BA,EP処理などが汎用
パイプで加工されています。ＳＷＬやＶＣＲ（ＵＪＲ）の継手は、ほと
んどの材質がSUS316L です。パイプとの材質の違いがあります
ので、実際に流す反応性のガスなどはパイプの材質を確認する
必要があります。
曲げ加工、自動溶接加工、Heリーク漏れ検査、耐圧検査、気密
検査などが必要なガス配管のマニホールドや集合装置などの製作
のことなら川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
10月2日 木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝15℃、昼20℃、夜19℃
です。
朝と昼の温度差が大きくなってます。
体調管理に注意をしましょう！
今日の環境情報は？
アメリカＣＩＡは、アメリカ沿岸部での製油所や核関連施設
軍事関連施設が温暖化で多発・激化する暴風雨で損害を受け
アメリカ国土安全保障にも影響を与えると指摘しています。
MFC/MFM (マスフローコントローラ) 2008年10月01日
液体の充填装置では、投入する液量をいかに正確に計測し、制御し、実際の
混合などが不具合なく行うことができるか？
突き詰めておられます。
送液ポンプ＋コリオリ式マスフローシステム
このシステムを利用すればできます！
送液ポンプを正確に回転数制御し、さらに実際の液体の流量を超精密に計測
することができます。
本来、ポンプの弱点である容積式の誤差を、超精密流量計であるコリオリ式
マスフローで質量補正し、精密充填が可能になります。
マスフローコントローラー、マスフローメーター
圧力コントローラー、コリオリ式マスフローまで
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉川口のお天気は？
１０月１日 水曜日
天気 雨のち晴れ
ボンベ庫の温度 朝１６℃、昼１６℃、夜１５℃
です。
朝、自宅の布団から抜け出難い季節になりました。
あと５分。
あとちょっと。
これがに最高に気持ちの良い瞬間ですよね！
今日の環境情報は？
アジアでは２０２０年までに５０００万人が新たに食糧不足に
苦しみ、特にサハラ砂漠以南のアフリカは水不足や食糧難で
政情不安や民族紛争が拡大すると予想されています。
アメリカでも、沿岸部の製油所や核関連施設、軍事関連施設
が、温暖化で多発・激化する暴風雨で損害を受け、米国土
安全保障にも影響を与えると指摘しております。
真空の知恵 2008年09月30日
マクラウド真空計は、Ｕ字管マノメーターの測定圧力
を １０ -1Pa まで拡大した真空計です。
絶対圧力を重力の加速度とか比重など正確に知られた
物理量のみでもっとも低い圧力まで計測できるのだそうで
す。マクラウド真空計は前述したように実測圧力を一度圧
縮して計測しますので、その結果を圧縮比で逆算して求
める方式なので凝縮性の気体は測定できないようです。
この真空計は、実用的な真空計ではなく、真空度の標準
に使用されることが多いようです。日本の真空圧力の国家
標準は、電子技術総合研究所の標準マクラウド真空計が
１〜１０ -2Pa の範囲で ±２％の精度をもって絶対圧を
標示する原器となっています。操作する人の技量によって
低圧部の精度が大きく異なることもあるようですので、この
計器は実用真空計ではなく、他の真空計を校正するために
用いられる場合が多いようです。
真空ポンプ、真空配管、真空リークテストなど
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
９月３０日 火曜日
天気 あめ
ボンベ庫の温度 朝１５℃、昼１６℃、夜１５℃
です。
テニスのプロ選手で、錦織圭選手が活躍していますね。
アメリカの有力選手を輩出させたテニスアカデミーの出身で
これから世界を舞台にひょっとしたらひょっとするかもしれない
逸材なのだそうです。
応援していきましょう！
今日の環境情報は？
ｱﾒﾘｶＣＩＡなどで、温暖化進行で「安全保障に影響」と報告しています。
ｱﾒﾘｶ中央情報局（ＣＩＡ）などで組織する国家情報会議は、地球温暖化
の進行がアフリカやアジア、中南米の途上国で民族紛争や環境難民
を拡大させ、アメリカの安全保障が重大な影響を与えるとして報告書を
まとめております。
真空の知恵 2008年09月29日
水銀柱で高さが７６０ｍｍが大気圧に相当します。大気圧と
真空の圧力との差を水銀柱の高さの差で直接読み取る形式の
真空計を水銀Ｕ字管マノメーターと呼ばれます。気体を分縮して
より低圧までの領域を測定可能にしたものをマクラドウ真空計
と呼ばれております。
Ｕ字管マノメーターは、真空圧を直接測定するものであるから
絶対圧真空計です。真空度の標準の基準圧力計としてこのＵ字
管マノメーターが使われているそうです。日本の国家標準も大気
圧から１０ 3Pa の圧力範囲では水銀柱の高さを光干渉方式で
精密測定する水銀マノメーターが標準気圧計として、計量研究所
に設置されています。実用真空計として、保存装置などの１０ 3Pa
程度の圧力表示器として利用されています。
真空チャンバー、真空溶接加工品、真空ポンプなど
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
９月２９日 月曜日
天気 あめ
ボンベ庫の温度 朝２２℃、昼１５℃、夜１６℃
です。
王寺駅近くの飛鳥山を周回する北本通りで、土を満載した
ダンプカーが横転していました。
ダンプが横倒しになることもあるんです。
注意一秒怪我一生。
今日の環境情報は？
信号制御や税金で渋滞を減らすことに成功した世界の街
全米で信号交差点の１／５で導入され、他にも渋滞税として
都市部に昼間に乗り入れる場合１６００円を払うロンドンの制度
や一人乗りマイカーは通行料１０００円を支払うアメリカの
ヒューストン、デンバー、ミネアポリスなどでの導入が進んでいます。
