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ガス・真空などにまつわる様々な事をお伝えいたします。

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半導体用MOCVD/LD

周期律3.jpg
 

 半導体CVD(Chemical Vapor Deposhition :化学気相法)材料を
中心に化学材料を取り扱う素材メーカーであるJAC(Japan Advanced
Chemicals)取り扱い商品をご紹介いたします。

 常に最先端の技術に適した製品を供給し続けることを使命とし
半導体業界で培った経験・知識を生かして、さまざまな分野から
の要求に材料面からお応えいたしております。

・Si 半導体用材料
 低誘電率
 高誘電率
 SIN
 その他貴金属元素

・化合物半導体用材料
 LED
 青色LED

・コーティング用材料その他特殊化学製品
 耐熱性
 耐腐食性
 耐摩耗性

・ステンレス容器
 液体用
 固体用
 カスタムメイド

各種合成、生成技術。品質管理技術FMEA,AQC,AAQA
金属加工技術、PECVD,Cat-CVD成膜技術

 JAC社は、SAFCシグマアルドリッチファインケミカルのグローバル
パートナーとして半導体用MOCVD/ALD材料の開発から商業生産
まで、お客様のさまざまなご要望に合わせたサービスが可能です。
 SAFCシグマアルドリッチファインケミカルは、研究開発用特殊材料
から量産工業原料まで、世界の多くのハイテク企業の製品開発に
最先端の化学合成、精製とプロセス開発技術を通じて貢献しており
ます。
 JAC(株式会社ジャパンアドバンスドケミカルズ)社は、半導体プロセス材料
分野で蓄積したノウハウをもとにしてSAFCシグマアルドリッチファイン
ケミカル社の半導体用MOCVD/ALD材料の開発、製造、品質管理まで
をサポートしております。高誘電、低誘電材料など次なる世代の半導体
材料を中心に、特殊材料用装置や部品、その他、お客様の多岐に渡る
研究開発のニーズに対応しております。

JAC :株式会社ジャパン・アドバンス・ケミカルズ
神奈川県相模原市西橋本5?4?21
 ?さがみはら産業創造センター SIC-1 105号室

特殊化学材料、特殊ガス材料
同上用特殊容器、プロセスガス供給設備
現場特殊ガス配管工事まで
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

TEL 050?8881?7393

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は?
 8月31日
 天気 くもり
 ボンベ庫の温度 朝23℃、昼24℃、夜24℃

です。
夏の風物詩、海岸縁の海の家も
秋の装いを増した8月最終日となり
解体作業されています。
秋は秋の楽しみがもうそこまで来てますね。


これはなんでしょう?

ベローズ.jpg
 
毛虫のような、ノズルのような・・・

答えは
「ベローズバルブ内部のステム・ベロー・シート部品」
です。

 段々になっている部分は伸び縮みする「ベローズ」と呼ばれる
ステンレス製の可動部品です。この部分の動きによりバルブを
締めたり開けたりするとても重要な部分です。
 逆側の丸い半円球の部分がステム・チップ部分で、バルブボディ
にこの丸い部分を押し当ててガスを止める(遮断する)シート部分
になります。この部分にゴミや腐食系ガスによる変質を起こすと
バルブが止まらなくなります。

8BK.jpg
ベローズバルブ外観

 ちなみにこのバルブは、最高使用圧力6.8MPa(69.3kg/cm2)
最高使用温度482℃ですので、バルブを丸ごとフルベーキング
可能です。
※ベーキングは、お客様のご判断で行ってください。上記温度で
 全ての条件を保証するものではございません。

高圧ガス用ベローバルブ、ダイヤフラムバルブ、ボールバルブなど
特殊ガス用(可燃性、腐食系、毒性、自燃性など)バルブまで
お気軽に川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。

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今日の埼玉のお天気は?
 8月30日
 天気 くもり
 ボンベ庫の温度 昼24℃

です。
鈴鹿8耐で、ヨシムラとスズキの混成チームで
二十数年ぶりに優勝をしました!
当時のオートバイ漫画バリバリ伝説やふたり鷹など
でも紹介されたヨシムラ・モリワキといえばプライ
ベーターの若者憧れのチームでありバイクのマフラー
など欲しくて一生懸命アルバイトしたものです。


テトラメチルシラン 製品安全データーシート

昨日に引き続き TMS MSDSのご紹介です。

取り扱い及び保管上の注意
※現在の規制及び標準を遵守すること
 取り扱い
  危険物の取り扱いに慣れた人が行う。操作は、閉鎖系または
  局所排気装置の元で行います。呼吸器具及び保護具を着用し
  眼、皮膚、衣類への接触を避けましょう。熱、スパーク、裸火
  反応しやすい物質から遠ざけます。取り扱いの後は、手洗いを
  しましょう。
 保管
  保管規制に従って、容器はしっかりと密閉し、直射日光を避けて
  乾燥、換気設備の整った冷暗所に保管して(10℃以下)、熱
  スパーク、裸火、強酸化剤、強塩基など反応しやすい物質から
  遠ざけます。落下、摩擦、物理的衝撃を避けましょう。

暴露防止
 設備対策
  閉鎖系装置または排気フード(排気装置)
 保護具
  眼  安全ゴーグル、緊急用の眼球洗浄シャワーおよび緊急用
      シャワーが現場内にあること。
  手  PVC(レーザーナイロントリコット裏張り)製保護手袋
  体  PVC(レーザーナイロントリコット裏張り)製保護衣
  呼吸器 試験、認証済み呼吸用保護具、フルフェースタイプの
     空気呼吸器
 暴露限界
  ACGIH   設定されていません
  日本産業衛生学会
         設定されていません

物理的および化学的性質
 色    無色透明
 外観   液体
 分子量  88.23
 分子式  Si(CH3)4
 沸点   26〜28℃
 融点   −99℃
 比重   0.648(25℃)
 蒸気圧  11.66psi(20℃)
 引火点  −27℃
 発火点  450℃
 溶解性(水)  不溶
 溶解性(その他)  アルコール、エーテル、トルエンなど
             有機溶剤に可溶

安全性及び反応性
 安定性及び反応性
  通常の状況下では安定
 混色禁止条件
  強酸化剤、強酸、強塩基
 不安定条件
  熱、炎、スパーク、着火源、摩擦、物理的衝撃、直射日光、高温
 分解生成物
  熱分解生成物:一酸化炭素、二酸化炭素、酸化ケイ素

有害性情報
 人体に対する慢性毒性
  知見なし
 人体に対する急性毒性
  目に入った場合、危険、皮膚に接触した場合危険(刺激)。
  吸引した場合危険(頭痛、めまい、呼吸困難)
  飲み込んだ場合、危険の可能性あり。
 発癌性
  知見なし
 変異原性
  知見なし

環境影響情報
 一般    製品が、地中、下水、排水設備を汚染しないよう注意が必要
 環境毒性 知見なし
 
廃棄上の注意
 残余廃棄物の推奨廃棄方法
  認可業者に廃棄を依頼する
 汚染容器、包装の推奨廃棄
  残余物質を完全に取り除いた後、材質に応じて廃棄する。
  廃棄については認可業者に依頼すること。

輸送上の注意
 国連番号   2749
 国連分類   3
 海上      IMDG CODE クラス3
 航空      ICAO IATA クラス3
 輸送の安全対策 容器は転倒、落下、衝撃を加える、引きずるなどの  
          乱暴な扱いをしないこと。容器の温度が上昇しないよう
          に直射日光を避けるなど適当な措置を取りましょう。
          容器は寝かさず立てた状態を保ち輸送しましょう。

適用法令
 適用される法規制
  消防法   第二条危険物第四類特殊引火物
  労働安全衛生法 施行令別表第一危険物(引火性のもの)
  危規則   第三条危険物告示別表第五引火性液体類
  港則法   施行規則第十二条危険物告示引火性液体類
  航空法   施行規則第百九十四条危険物告示別表第三引火性液体

以上。

有機系配合材料、その他薬液の新規開発用材料など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

TEL 048-282-3665

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は?
 8月29日
 天気 はれ 
 ボンベ庫の温度 朝24℃、昼25℃

です。
今日も神奈川藤沢地区の道路は渋滞が激しかったです。
あわせて首都高速とその沿線渋滞が、事故も合わせて
忙しかったようです。
注意一秒怪我一生!
事故にはくれぐれも注意しましょう。


テトラメチルシラン MSDS

テトラメチルシランの製品安全データーシートのご紹介です。

組成・成分情報
化学名   テトラメチルシラン
化学式   Si(CH3)4
CAS NO. 75−76−3
官報公示整理番号 2−660(化審法)

危険有害性の要約
化学物質の分類 引火性液体
緊急時の対応   引火性が大きいため注意する
            吸引、摂取、接触により有害
急性の健康影響の可能性
 眼   眼を刺激する場合がある
 皮膚  皮膚を刺激する場合がある
 吸引  呼吸困難、頭痛、めまいに陥る場合がある
 摂取  炎症を起こす場合がある
慢性の健康への影響の可能性
 発癌性情報 知見なし

緊急措置
 目に入った場合
  目に入った場合、少なくとも15分間、大量の水で洗い流す。
  可能なら、コンタクトレンズを外す。直ちに医師の診察を受ける。
 皮膚に接触した場合
  皮膚に接触した場合、痛みがなくなるまで直ちに大量の水と
  石鹸で洗い流す(少なくとも15〜20分)。直ちに汚染された
  衣服と靴を脱ぐ。直ちに医師の診察を受ける。
 吸引した場合 
  吸引した場合、新鮮な空気の場所に移す。呼吸が停止している場合
  人工呼吸器を使用する。呼吸困難な場合は、酸素を与える。
  直ちに医師の診察を受ける。
 飲み込んだ場合
  飲み込んだ場合、水で口の中をすすぎ、意識がある場合、大量の水
  を与え、吐かせる。意識の無い場合、決して無理に吐かせたり水を
  飲ませてはならない。頭を横に向かせ、衣服を緩め、直ちに医師の
  診察を受ける。

火災時の措置
 製品の可燃性   あり
 引火点       −27℃
 発火点       450℃
 爆発限界      データーなし
 消化剤       二酸化炭素、ドライケミカルパウダー、アルコールフォーム
            ポリマーフォーム
 保護具       防毒マスク、保護衣、ゴム靴、厚手の手袋
 消化方法      風上に非難する。安全な距離を保って消火にあたる。
            危険無く出来れば、容器を火気から遠ざける。不可能な場合
            周囲を水で冷却する。火が消えるまで、水で容器を冷却する。
            火災中、熱により分解が起こり、容器が破裂する恐れがあるので
            注意する。
 含有可能性危険酸化性生成物
            一酸化炭素、二酸化炭素、酸化ケイ素

漏洩時の措置
 保護具   呼吸器具及び保護具を着用
 環境保護  製品が、地中、下水、排水設備を汚染しないよう、注意する。
 除去方法  無関係な人間を遠ざけ、危険なエリアを隔離し、入場を禁止する。
         二次災害の防止策として、熱、火気、スパークを避ける。
         漏洩物に接触しない。危険無く出来るならば、漏洩をとめ、スパーク
         防止器具を使い密閉容器に漏洩物を回収し、外部に移動する。
         換気を行い、漏洩物の拭き取りが完了したら、こぼしたところを
         よく洗う。

※情報提供:JAC

Si半導体材料、化合物半導体材料、コーティング用材料
その他特殊化学製品のことなら川口液化ケミカル株式会社
までご相談ください。

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今日の埼玉のお天気は?
 8月28日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝30℃、昼32℃、夜30℃
です。
愛知県安城市の今日のお天気は?
朝から夕方まで晴れ。
外気温31℃で先週、先々週より涼しかったようです。


ガス・真空 装置

ガス真空.jpg

 対象物を真空排気した後、高純度ガスで置換する
工程を繰り返し、内部のガスや水蒸気、不純物を
排出するガス置換装置です。

 排気する真空度は、低真空のドライポンプ仕様から
ポピュラーな油回転ポンプを使用したものや、補助ポンプ
を搭載して、高真空まで排気する真空排気系をご用意で
きます。高真空ポンプは安価で効率的な油拡散ポンプ
から、水分を確実に除去できるクライオポンプ、高真空
排気ポンプの代名詞であるターボ分子ポンプまで多種
多様なシステムをアッセンブリ致します。
 ガス供給系は、自動バルブによる完全自動制御方式
からスイッチ式動作による半自動、完全手動仕様まで
電気計装システムによる組み込みが可能です。
 ガス導入のタイミングや流量、圧力制御もお客様の
ご要望によりカスタマイズ致します。

ガス・真空・低温関係の装置製作、設計、改造、修理まで
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は?
 8月27日 
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝30℃、昼34℃、夜35℃

です。
先日、御嶽山の麓の道の駅で、産地直産ももの
とうもろこしを買って帰りました。
(5本500円)
食べてみたら、すっごく甘くてビックリしました!
おいしい食べ物の味は、都市部のスーパーで
売っているものとは、間違いなく違います。
実感です。


異種金属接触腐食

 ガスや真空用のバルブをフランジなど接続面で
配管や各種機器と接続させます。
このとき金属の種類が異なると腐食が起きます。

 異なる二種類の金属を一つの水溶液のなかに
浸しますと、それぞれの金属で腐食電位が異なる
ために電位差が生じます。この金属同士を直接接触
させ導通すると、両者間に存在する電位差によって
電子の流れが起きます。このとき、電位の低いほうの
金属がアノードとなり、電子を放出して腐食が進みます。
もう一方の電位が高い金属表面では、以下のような
反応が進みます。

2H+ + 2e → H2
1/2 O2 + H2O + 2e → 2OH-

水素が発生するか、酸素還元のカソード反応が起きて
金属はほとんど腐食しません。
 
 異種金属が接触した部位では、一方で金属腐食が
加速的に進み、もう一方では金属が腐食しなくなる現象
が起きます。これを「異種金属接触腐食」といいます。

配管がステンレスで、バルブが鉄ですと、バルブの腐食
が進みます。逆に配管が鉄で、バルブがステンレスですと
配管部が腐食しバルブは腐食しません。短期間では影響
ないでしょうが、長期にわたり設備として考えると注意が
必要です。

液体ヘリウム用クライオスタット、ダイリューション、再液化設備
断熱配管設備、極低温サンプルステージなどお気軽に
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。

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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉県のお天気は?
 8月26日
 天気 はれ
 気温 29℃

です。
先日、爬虫類の「ヤモリ」が浴室に紛れ込んでいるのを
見付けました。あまり目にすることのない生き物ですので
マジマジと観察しました。一見トカゲのような感じもします。
ですが予想以上に動きが早くあっという間に物影に隠れて
見えなくなりました。
ちなみに、昔からの言い伝えで「家を守る:やもり」の意味
があるそうです。


温度

 温度の測定をする際、温度計を通常使用します。
その目盛りにはセ氏温度が表示されています。
セ氏温度は「セルシウス温度」のことを略したもので
、大気圧下で純水の融解する温度(氷点)を零度
純水が沸騰する温度を100度として、この間を百等
分して目盛りをつけたものです。
 セルシウス温度の単位記号は「℃」です。

 −273℃を絶対零度と言い、これを基準としてセル
シウス温度と同じ目盛りで目盛った温度を絶対温度
(熱力学温度)といいます。

 絶対温度は 「T」 (K) で表し、セルシウス温度を
「 t 」 (℃) とすると、セルシウス温度は絶対温度を
以下のように示すことが出来ます。

 T = 273 + t

極低温実験などは 4.2K などと表記され通常温度を
表しますので、常温ではセルシウス温度、絶対零度に近い
温度域では絶対温度の単位を利用するようです。

液体窒素容器や液体窒素自動供給装置、液体窒素発生器
など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

TEL 048-282-3665

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は?
 8月25日 
 天気 はれ
 気温 28℃

です。
埼玉スタジアムで行われたサッカー浦和レッズの
フォワード田中達也選手がゴールを決めチームを
勝利に導きました。
帝京高校時代、すばやい動きで相手ディフェンダー
を抜き去りペナルティーエリアに入り込むそのスピード
は、群を抜いてました。
オリンピックチームに召集され、更に活躍が期待され
るところです。


高圧ガス 駐車時の措置

 高圧ガスを運搬する高圧ガス運搬車に、そのに日配送し終わった
高圧ガス充填容器など放置しておくことは違法です。

一般則に係る移動の基準(液化石油ガス以外のガス)

一般則第四十九条第十六条について
駐車の措置

 駐車(道路交通法(昭和三十五年法律第百五条)第二条第一項
第十八条に規定する駐車をいう。)するときは、充填容器などの高圧
ガスを受け入れ、または当該充填容器などから高圧ガスを送り出す
ときを除き、第一種保安物件の近辺及び第二種保安物件が密集する
地域を避け、かつ、交通量が少ない安全な場所を選ぶこと。また、駐車
中移動監視者(次号の規定により高圧ガスの移動について監視する者
をいう。以下同じ。)または運転者は、食事その他やむ得えぬ場合を除き
当該車両を離れないこと。

と、しております。
また、この規定は、移動監視者または運転者が車両からみだりに離れると
緊急時に緊急対応が遅れることが考えられるため、これを規定したものである。
ただし、高圧ガスを燃料とする自動車燃料装置用容器は除外されています。

なお、充填容器などを積載した車両を同一の場所に2時間を超えて駐車させ
ておく場合には、貯蔵関係の法令の規定に抵触することとなるので注意する
必要があります。

 弊社の管理職・従業員さんにも周知しておりますが、高圧ガスが高温になったり
異常な状態になった折には、適切な処理を施す必要があります。

当たり前のことを当たり前に処理することが、一番難しいですよね。

高圧ガスのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は?
 8月24日
 天気 はれ 
 ボンベ庫の温度 朝25℃、昼29℃、夜30℃

です。
今日で609日目の高圧ガス・真空・低温関係の
情報提供ブログ連続継続日数です。
スタートから1年は必ず続けようと思いました。
途中から、リアルタイムの情報をという意図で
日記形式のコメントを加え、温度、天気表示をし
てまいりました。
これからもできれば、3年間は継続して
まいりたいと考えております。
これからもよろしくお願い致します。


容器は40℃以下に!

 外気温が40度を上回るほどの陽気が続いております。
人間もクーラーの無い屋外では、大汗をかいて温度調整
しています。
 高圧ガスボンベも当然のことながら外気温と同等の温度
まで上昇しています。直射日光に曝されれば60〜70℃
まで加熱され触ると火傷どころか目玉焼きが焼けるほど。

 弊社のボンベ庫の中も、昨日39℃を記録しています。
恐らくは、皆様のお手元にあるボンベ温度も程近い温度
に達していることと思われます。

基本的な容器の取り扱い方法として・・・

高圧ガス容器は40℃以上に上げないようにして、40度以下
に保つよう高圧ガス保安法の基本通達でも定めています。
溶栓を使っているアセチレン容器や毒性ガスなどの容器には
特に注意が必要です。
※高圧ガス保安法 一般則 第十八条第二号
 「容器による貯蔵」
  充填容器などは、常に40℃以下に保つこと。低温容器、超低温
 容器の場合は容器内のガスの常用温度のうち最高のもの以下に
 保つこと。
 (40度以下に保つとは、直射日光、暖房などによる温度の上昇
  を防ぐため、屋根、障壁、散水装置、を設けるなどの措置を講じる
  ことを言っています。)

夏の暑い時期。日本でも年間を通じ一番暑い時期です。
高圧ガスボンベの温度にも気を配りましょう。

ガス調整器、ガスバルブ、ガスマニホールド、ガス配管など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。

TEL 048-282-3665

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉のお天気は?
 8月23日木曜日
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 朝
です。
佐賀北校は、公立高校でナイター設備も無く
普通の地元の高校が馬鹿でかいことを成し遂げた
用に写っていますが、やるべきことはやりつくしてきた
結果だと思います。
守備の練習もせず、バッティングの練習もせず
体作りのための走りこみもせず、まぐれで出来た
ことではないと思います。
10回も100回も1000回も同じことをやり尽くし
野球を楽しみながら、世の中の人々を仲間に引き込みながら
その上でのツキや幸運が選手達の基に転がり込むのも
ある意味当然かも知れません。


高圧ガスの製造について

高圧ガスの製造についてご説明いたします。

今までにも高圧ガス製造の定義についてお知らせ
する機会はありましたが、おさらいの意味で再登場です。

 高圧ガス保安法の定義する製造とは、原料から新規の
物を作り出すようなものではなく、高圧ガスの状態変化
をさせて変化させることを意味しています。

 一般的な高圧ガス製造に係る工業用とは・・・

・高圧ガスでない気体(圧力が低いため)を、高圧ガスである
 気体にする場合(圧縮機により気体を1MPa以上の圧力に
 圧力を上昇させることなど)。
・高圧ガスである気体の圧力を、更に上昇させる場合。
・高圧ガスである気体の圧力をより低い圧力ですが高圧ガス
 である圧力の範囲で降下させる場合。
・気体を液化させる(凝縮器で液化させることなどを指し、液化
 した液化ガスが高圧ガスに該当する場合に限ります)場合。
・液化しているガスを気化させる(蒸発器などで気化させること
 で、気化した気体が高圧ガスに該当する場合に限ります)場合。
・高圧ガスを容器に充填する(気体の場合は充填した結果が
 高圧ガスとなる場合を含みます)場合。

以上です。

 あくまで代表的な例であってこれがすべてではなく、これらの
例に類似するような行為や現象が高圧ガスの製造として取り扱
われることもあります。
 具体的な判断は、地方自治体の高圧ガスを管轄する部門で
なされることになりますので、直接ご相談ください。

高圧ガスに関することなら
川口液化ケミカル株式会社
まで、お気軽にご相談ください。

TEL 048-282-3665

ありがとうございます。
よろしくお願い致します。

今日の埼玉県川口市のお天気は?
 8月22日 
 天気 はれ
 ボンベ庫の温度 昼39℃

です。
霊峰御嶽山で、新滝、清滝、御滝など
滝に直に当たる「滝行」を経験してまいりました。
例年に比べ、御嶽山山頂付近にこの時期でも残る
残雪がまったく無く、地球温暖化を肌で感じるような
お話と直に接すると、都市部での文明生活(クーラーなど)
が自然に大きな影響を与えていることを考えずには
いられないなと痛感しました。


川口液化ケミカル株式会社へご相談・ご質問ございましたら、ご連絡をお願い致します。9:00〜17:00(土日祝日を除く)

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