ガスの知恵袋 2010年03月24日
研究機関や民間の研究室での成分分析など極々微量の対象となるガスを
以下に抽出して、分離して、欲しい成分だけを取り出し、その成分を定量分析
にかけたりすることがあります。
ある特定のサンプルになる雰囲気ガスの中から、マイナス数十度で分離するよ
うなガスなどを抽出したい場合には低温で管理した液槽の中に、熱伝導良く、
また、表面積を出来るだけ多くとるような細工をして特性のガスを抽出させるの
がこのコールドトラップです。
IN,OUT 3/8″外径チューブ 銅製コールドトラップ
低温域が更に低くないとトラップできないものには液体窒素-196℃の利用して
トラップさせるものもあります。
3/8″SUS製 LN2仕様コールドトラップ
当然、ただの配管を潜らせただけでは対象ガスを捕捉することは難しいため
内部にある特別な加工を施し、また、特定の材料を充填することで目的に適う
ことができるのです。
液体窒素用ｵｰﾌﾟﾝﾃﾞｭﾜｰ＋SUS製コールドトラップ
低温域の管理と、トラップしたいガスとの組み合わせには限られた条件になる
ため、仕様によりご希望に沿わないこともありますがコールドトラップのご相談は
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口市のお天気は？
３月２４日 水曜日
天気 曇りのち雨
ボンベ庫の温度 朝９℃
です。
春の高校野球がはじまっています。
智弁和歌山・高嶋監督が甲子園での勝利が
通算５９勝になり歴代単独１位の勝利数となりました。
埼玉県は優勝旗を手にした事がなく、１勝すらなかなか
思うに任せないことからすると、たいへんな記録だと実感します。
ｂｙ との
SiH4 (モノシラン) 2010年03月23日
特殊材料ガスのモノシランガス事故例をご紹介します。
発生日時 １９９６年８月
発生場所 富山県
ガスの種類 モノシランガス他
事故の概況
半導体製造工場でプラズマ励起化学気相成長法（P-CVD法）装置
の排気配管内堆積物の除去作業を行うために、委託清掃会社の従業
員がボルト締めされた閉止板を取り外したところ爆発事故が起こり、後
頭部を強打して死亡した。
当該装置はシリコン基板に回路パターンを転写するものでモノシラン
アンモニアの混合ガスを使ってプラズマを励起し、薄膜形成反応を起こ
させます。この反応では装置の内面に微粒子が付着するので三フッ化
窒素によるクリーニング処理を行いますが、その工程で生じるフッ素の
生成物が真空ポンプの後流系内に微紛となって堆積します。薄膜形成
反応の条件により生じる微紛の堆積物が異なりますが、空気に触れると
発火したり水に触れると水素を発生する場合もあります。
閉止板を取り外したとき除害装置に行く配管のバルブを閉止してはい
なかったために、配管内の堆積物が除害装置に入り装置内の水とヒー
ターの熱により水素（又はモノシラン）が発生し着火し、これが排気配管
に伝播して粉塵爆発が発生したものと考えられます。
被害 死亡１名
原因 認知確認ミス（バルブの閉止）
教訓と今後の対策
１、排気配管内部の堆積物を少なくするために曲管部を最小限にする。
２、堆積物を減らすため、管内流速を早くする。
３、空気による清掃を窒素ガスの清掃（１回／１ヶ月）に切替える。
４、バルブの開閉状態をパイロットランプなどで監視する。
５、堆積物の除害方法を「水吸収＋燃焼式」から「乾式」への変更を検討する。
６、作業管理基準の見直し
７、保安教育の徹底
事故の教訓
１、排気配管は多量の堆積物が生じないような構造（袋小路などを設けない）
とし、配管内の点検と清掃を頻繁に行う。
２、堆積物は空気と接触すると発火などが生じる場合があるので、清掃時に
注意する。
以上。
トラブルがあった時、それ以降の教訓を生かした実践をどこまで行うことが
出来るかどうかが一番肝心なことだと思います。もし、喉元を過ぎて、問題
の本質も忘れてくると、何度でも同じような事態を招くことになるのかもしれ
ません。
高圧ガスのご注文、ご相談や、ガス設備のご検討、仕様確定など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口市のお天気は？
３月２３日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝８℃、昼１３℃、夜１２℃
です。
明日は、さいたま市小学校の卒業式です。
入学から卒業まで一番長く想い出もたくさん残る時期です。
傍で見ている親の立場からすると、幼稚園を卒業しピカピカの
ランドセルが眩しかった一年生から卒業まで、一瞬の出来事のようです。
卒業生の皆さん 「おめでとうございます」
ｂｙ との
環境関連 2010年03月22日
化粧品やダイエット食品などを通信販売していす新日本製薬は
佐川急便と協 業しCO2排出権付き飛脚宅配便というシステムを
導入するのだそうです。
どのようなシステム化というと、新日本製薬の通信販売で購入さ
れた商品配送 1個につきCO2の排出権を新日本製薬が2円、佐川
急便が1円をそれぞれ負担します。
ちなみに1円で宅配便1個当たりの輸送にかかるCO2排出量383
グラムに相当しま す。よって3円ということは1,149グラムのCO2排
出権を、佐川急便から日本政府 に無償譲渡するシステムです。
日本におけるCO2排出量の約20%は、運輸部門から発せられます。
今回のシステ ムは佐川急便が開発した、CO2排出権付き飛脚宅配
便のシステムを活用していま す。荷物1個で約1Kgと少ないオフセット
ですが、人間の一日の排出量の1/6に相 当します。少しでも地球環
境に役立つ活動が、あらゆる業界に波及することを 願いたいと思いま
す。
ｂｙ toshi_matsu
高圧ガスに関するお問い合わせやご用命は
川口液化ケミカル株式会社までどうぞご連絡ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
３月２２日 月曜日
天気 はれ
気温 １３℃（PM6:00）
です。
小学生のサッカークラブに同行して校庭のラウンドに終日おりました。
お酒も飲んでいないのに、紫外線で真っ赤っかになってしまいました。
お出かけの際には紫外線対策をお忘れなく。
ｂｙ との
SiH4 (モノシラン) 2010年03月21日
モノシランガス容器交換中の爆発事故について、ご紹介いたします。
発生場所 １９９６年１２月
発生場所 静岡県
ガスの種類 モノシランガス
事故の概況
半導体製造工場でシリンダーキャビネット内のモノシランガス容器
（容量４７Ｌ）２本のうち１本を交換し、当該配管系のヘリウムリークテ
ストを実施しました。このリークテストは自動制御されており、開始から
１２時間後の圧力差が０．５kg/cm2以下ならば合格を表示するシステ
ムになっていました。実際には、試験開始１０秒後に圧力が５kg/cm2
以上あったものが直後に -０．５kg/cm2になっており、また、１２時間
後の圧力が -０．４kg/cm2であることから、圧力差が合格判定基準内
に入っており漏洩ガスが無いとコンピューターが判断したものでした。
その後、窒素置換が完了し、モノシランガスによる実ガスパージに入っ
たとき、容器バルブの連結管袋ナット部からガスが漏洩し、キャビネット
内に充満して爆発しました。袋ナットの締め付けが不十分であったと考
えられます。
被害 死亡 １名
原因
設計・構造上の不良（自動シリンダーキャビネットのチェック機能）、点
検不良（袋ナットの締め付け不良）
教訓と今後の対策
１、信頼性の高い自動シリンダーキャビネットの（漏洩チェック）の採用
２、納入される容器はニューマチック容器弁（窒素ガス仕様）付きとする
３、使用するガス量が小さいので、漏洩した時を考慮してオリフィス内蔵
付き容器の採用
４、使用中容器の袋ナットを誤って開けない構造及びシーケンスの採用
５、シリンダーキャビネット以外の遠隔操作室の設置
６、シリンダーキャビネットの天井部への吹き抜け口の採用
７、キャビネット内には同一ガスしか収納しない
８、安全に係る作業はダブルチェック体制とする
事故の教訓
１、容器の交換作業は、特殊高圧ガスに対する社内の専門教育及び訓練
を受けた者が実施する
２、納入された機器について、メーカー側に任せたままにせず、その機器
及び信頼性について確認する
以上です。
高圧ガスのご用意、高圧ガス機器の選定、高圧ガス配管工事の施工まで
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
３月２１日 日曜日
天気 くもり
気温 ６℃（PM11:30）
です。
昨晩からの強風で、早朝からＪＲ京浜東北線、武蔵野線などが
運転を見合わせておりました。
台風のような強風で、植木が倒れたり、何処かの家のバケツなど
プラスチック製品があちこちに吹き飛ばされて散乱しておりました。
また、駅周辺の駐輪場の自転車がことごとく倒れており、中には
風の勢いで一回転しているものもありましたね！
自然はすごい力を秘めているなと実感しました。
ｂｙ との
LPG (液化石油ガス) 2010年03月20日
本日はプロパンガスの輸入事情などについて勉強してみましょう！
先ずは、世界の中でのプロパンガスについて需要と供給を見てみま
しょう。２００８年の世界での生産量は約２億４２００万 tonで、その多く
は油田発掘時に一緒に回収されるガスが６０％を占めます。そのほか
原油から精製して取り出されるものが４０％となっています。
生産地域別に見てみますと、世界１位が 北米 ２３．３％ です。
次いで ２位 アジア ２１．９％ 、３位 中東 ２０．５％となっておりま
す。
世界の中の需要について見てみると、近年の突出した発展を遂げて
いるアジア・太平洋地域で ３２％となっています。次いで北米が ２５．７％
さらには欧州・ロシア １８．１％です。需要の伸び率も郡を抜いて
アジア太平洋となっています。
次に日本の輸入量を見てみましょう。
２００７年度の輸入量は１８０８万 tonで、輸入先産油国は ３４．３％を
サウジアラビアが占め最大の輸入国になります。次いで２２．８％をＵＡＥ
１８．３％ カタールになり、三カ国で約７５％を中東地域に依存しています。
偏りすぎた中東の依存度は、政情不安、紛争などにより影響が大きいため
ＬＮＧへの分散など積極的に進めています。２００９年からはカタールでの
ＬＮＧ生産に関するプロジェクトがスタートし、プロパンガスも副産物として
生産量が増える期待があります。
しかし、中国やインドでの需要増が猛烈なため原産国での僅かな生産量
増加は日本への輸入量増加に直結するか？ 疑問です。圧倒的な需要側
の買い手市場の展開が予想されます。
まだまだ大きな変化が、日本国内での末端販売価格に直接影響を与える
環境であることには違いはなさそうです。
プロパンガスのことなら
川口液化ケミカル株式会社
までお問合せください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
３月２０日 土曜日
お天気 晴れ
気温 １６℃
です。
プロ野球の開幕戦スタートです。
今年はメジャーリーグからの復帰組みが多く
楽しそうですね。
ｂｙ mitono
SiH4 (モノシラン) 2010年03月19日
特殊材料ガスの事故例として SiH4（シランガス）のものをご紹介します。
発生日時 １９９８年７月
発生場所 山口県
ガスの種類 モノシラン
事故の概況
半導体製造工場でモノシランガス消費設備の定期検査をするため、午前中は
１階のシリンダーキャビネット内の圧力計６個の校正を実施しました。午後は２階
の減圧CVD炉の手前に取り付けられたガスコンソールボックス（バルブ、流量計
減圧弁などを収納したスタンドでガスが漏えいすると除害装置へ導く）内の圧力
計を校正するために窒素パージが完了していることを確認した後、圧力計を緩め
たところ突然発火し、作業員が人差し指に火傷を負った。
CVD炉は２系列あり、１号炉は窒素ガスのみのアニール炉（ウエハを窒素ガス雰
囲気下６００℃で熱処理）として使用されており、２号炉はモノシランガスを使用し
中間バルブを介して並列に配置されていました。
事故当日、装置の都合により中間バルブを閉め、２号炉は通常運転を行っていた。
最初に１号炉の窒素パージを行ったが、この間約８時間かかり、その後、２号炉の
パージを行った。１号炉の窒素パージを行っている間に中間バルブからモノシラン
ガスが流入し袋小路状態にある圧力計取付部にモノシランガスが封印された状態
となっていた。圧力計を緩めたときにモノシランガスが大気に触れ発火したもの。
被害
人的 軽傷 １名
原因
操作基準の不備
教訓と今後の対策
１、特殊高圧ガスに関する教育と訓練
２、ガス置換設備の改善（パージ先を除害装置に接続する）
事故の教訓
１、作業をするときは必ず保護具と皮手袋を着用すること。
２、圧力計取付部のように袋小路状態になる部分は加圧と減圧を繰り返し
念入りにパージを行うこと。
シランガスの取扱いになれた熟練者が、漏れても燃えるだけだから大丈夫などと
考えられている方がいらっしゃいますが、上記の事故のように少量シランガスが
溜まった量であっても爆発して負傷を負うのです。慣れているからこそ慎重に
万が一のことを想定してバルブ操作や装置の運転を行っていただけますよう
お願い致します。
特殊ガスシリンダーキャビネットや特殊ガス調整器、特殊ガスバルブ
特殊ガス流量計、特殊ガス配管工事まで
川口液化ケミカル株式会社へご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
３月１９日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝７℃、昼９℃、夜１０℃
です。
先日のヨーロッパサッカーの最高峰 欧州チャンピオンズリーグで
ＣＳＫＡモスクワに所属する本田圭佑選手が、１ゴール、１アシストと
大活躍しました！
「日本人初とか興味がない。僕が目指しているところははるか上なんで」
「ＧＫのはじいた場所が僕の幸せな場所だった」
以上のコメントですが、プレーといい、活躍した場面と言い
凄すぎるとしか言いようがありません。
本田選手！ 本当にすごいです！！
次のインテルに勝利したら次は、アーセナルとバルセロナの勝者と対決です。
今からスカパーを申し込もうかな？
ｂｙ との
商品紹介 2010年03月18日
産業用（水・空気・油・その他）空気圧操作式自動弁のご紹介です。
Rc1/4″ 〜 Rc1″ 自動ﾎﾞｰﾙﾊﾞﾙﾌﾞ
流体 ： 水・空気・油・その他
流体温度 ： ０〜８０℃
使用圧力範囲 ： ０〜１．０MPa
操作圧力 ： ０．４〜０．７MPa
材質 ： ボディ SCS14
シート PTFE
Oﾘﾝｸﾞ FKM
オプション ： 電磁弁AC100V,200V,DC24V
ﾘﾐｯﾄｽｲｯﾁﾎﾞｯｸｽ
・コストダウン仕様で従来型MKシリーズよりもさらに安価です。
・耐食性の高い SCS14 製です。
・取付方向は選びません。
・NAMUR規格に対応したｱｸﾁｭｴｰﾀｰです。
仕様
接続 Cv値 最小内径 質量
Rc1/4″ 1.5 φ5.0 0.7kg
Rc3/8″ 2.2 φ7.0 0.7kg
Rc1/2″ 4.7 φ9.2 0.8kg
Rc3/4″ 10.0 φ12.5 0.9kg
Rc1″ 12.3 φ16.0 1.1kg
産業用ﾎﾞｰﾙﾊﾞﾙﾌﾞのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
３月１７日 木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝８℃、昼１３℃、夜１２℃
です。
商品紹介 2010年03月17日
本日は、サニタリーフェルール（ISO/IDF）規格の手動・空気圧操作弁の
ご紹介です。
サニタリーボール弁
食品機械、医療機械、各種機器装置やプラントなどで実績あります。
・接続はIDF規格、ISO規格に準拠したサニタリーフェルールです。
・３ピースボール弁のため、分解、組立が容易です。
・接液面は＃４００バフ研磨処理を施してあります。
・材質 SCS１６A のため耐食性に優れています。
複動式空気圧操作弁・手動ボール弁 仕様
流体 ： 水、空気、油、特殊流体
流体温度 ： Max１２０℃、常用１００℃
流体圧力 ： ０〜１MPa
操作圧力 ： ０．４〜０．７MPa
動作 ： 複動式
操作ｴｱ供給口 ： MDA Rc1/8″ , 1DA,2DA Rc1/4″
材質 ： ボディ SCS16A
シート PTFE
Oﾘﾝｸﾞ EPDM
オプション ： 電磁弁 AC100V,AC200V,DC24v
ｽﾋﾟｺﾝ、ﾘﾐｯﾄｽｲｯﾁ
サニタリー配管のほか、特殊ガス配管、一般工業ガス配管
主に高圧ガス用バルブ、圧力調整器、流量計、配管材料のことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
３月１７日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝７℃、昼１１℃、夜１１℃
です。
パラリンピックで日本選手が活躍しているようです。
とある友人のお話で・・・
山登りが好きで冬山登山に挑戦し、遭難しかかり、ビバーク
している時に足の指が凍傷になり、壊死を防ぐため自分で
自分の足指を切断し、命からがら下山した方がいました。
その方とスキー場で初めて出会ったのですが、とてもスキー
が上手でスラロームコースをかなり早いタイムで滑りきって
いました。
あとでお話を聞くと、両足の指がない、障害者ですが絶対
にそのような目で見られることを嫌っておられました。障害を
持つ人は、健常者から普通に接してもらえないことにストレスを
感じるのだそうです。
スポーツで成績を残すということは、かなり練習を積んでのこと。
人並み以上に努力したことが成果を生み出すのは誰にでも平等です。
ｂｙ との
SiH4 (モノシラン) 2010年03月16日
知る人ぞ知る、高圧ガスに関する法律が大きく変わるきっかけに
なった大事故です。後学のために記憶に留めておいてください。
発生日時 １９９１年１０月
発生場所 大阪府
ガスの種類 モノシランガス
事故の概況
大学の実験室で学生がプラズマＣＶＤ装置を使って実験中に、クリー
ンルームのシリンダーキャビネット内に設置されていたモノシランガス
容器（容量１０．４Ｌ、材料マンガン鋼、圧力約４MPa）が突然破裂して
６個以上の破片となって周囲に飛散しました。この爆発によって学生
２名が死亡し、５名が負傷しました。
事故当時、キャビネット内に４本の容器（モノシラン100%、六フッ化硫
黄、亜酸化窒素、モノシラン＋水素混合ガス）が設置され、２本の窒素
ガス容器が外に設置されていた。この装置の配管系統は、４本の容器
からＣＶＤ装置にガスを供給するラインとパージラインから構成されてお
り、このパージラインは、各容器→逆止弁→ボール弁→共通パージライ
ン→窒素ガス容器へとつながっていました。この逆止弁にはＯリングが
使用されており、亜酸化窒素（支燃性ガス）によってＯリング（フッ素ゴム
）が劣化し逆止機能が正常に作動しなかったため逆流してパージライン
を経由してモノシランガス容器に流れ込み、亜酸化窒素とモノシランガス
の可燃性混合気を生成して、その可燃性混合気に着火して爆発が起こっ
たと推定されています。
事故後、亜酸化窒素によってＯリングが劣化し、逆流を起こすことが実
験で確かめられています。
この事故を契機として高圧ガス保安法が改正され、モノシラン等の特殊
高圧ガスを消費する者はその消費量に関わらず都道府県知事への届出
取扱主任者の選任などが義務付けられました。
事故の教訓として・・・
１、モノシラン（可燃性ガス）と亜酸化窒素（支燃性ガス）のように混合すると
危険性があるガスのパージラインは別系統とすること。
２、特殊材料ガスの講習・訓練を受けていないと装置に触れてはいけない。
ガス漏れなどの異常が発生した時は近づかないで学生は逃げること。
３、弁のパッキン、Ｏリング等の材質で高圧ガスの使用に適さないものもある
ので材質の選定にあたっては十分に検討すること。
などとしております。
大学実験の研究室では、予算が無いなどの理由で安全が二の次になる
ガス設備も少なくないと思われます。法令を遵守することはもちろんですが
それ以外の汎用ガスであっても可燃性、支燃性、毒性、腐食性などの性質
を十分考慮に入れて安全第一に実験をされますようお願い致します。
特殊ガスのご用命、特殊ガス機器、特集ガス配管工事など
川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
３月１６日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１２℃、昼１８℃、夜１５℃
です。
電車に乗っていると黒のリクルートスーツ姿の女学生が
真剣な眼差しで忙しく移動している様子に出会います。
今年の３月に卒業した学生さんが、まだ就職できずにいる
ニュースも聞いていますので、がんばって欲しいと願わずに
いられません。
みなさんは、決して世の中に必要とされていないわけでは
ありません。きっと、きっと良い仕事場が必要とされる場所が
見つかると思います。がんばってくださいね。
ｂｙ との
環境関連 2010年03月15日
名前だけ先行しているにもかかわらず、いまひとつ身近になってこない
バイオ燃料。一部のガソリンには既に混合されていますが、基準が定まっ
ていないので一般化しないのではないかと思っています。
経済産業省は環境省と農林水産省と共同で設けたバイオ燃料に関する
検討会の報告書を発表し、バイオエタノールなどの製造工程や輸送途中に
排出するCO2を、ガソリンと比べて50％以下とする新たな基準を設ける考え
を正式に発表しました。
ガソリン等に混合されるバイオエタノールなどは、CO2排出量がゼロである
とみなされています。しかしながら製造工程や輸送途中などでにおいても、
ある一 定量のCO2排出する燃料と位置づけることになります。
すでに欧米などでは製造工程や輸送途中などの過程で、一定量のCO2が
排出されるという見方がなされているようです。EUは既にガソリンと比べたバ
イオ燃料のCO2排出量を50％以下にする基準を設けているのだそうです。
しかしこの基準を満たす原料は、ブラジルの既存農地で収穫されたサトウキビ
と国産のテンサイなど一部しか無いようです。環境省はバイオ燃料を2020年
までに200万キロリットル導入することを検討しているようです。関係省庁はバ
イオ燃料の利用を促進している反面、厳しい基準を設けようとしているのが実
態のようです。
まずは広く利用してもらうことが、2020年までに1990年比-25%のCO2を減ら
すことのきっかけだと思います。バイオ燃料の原料は多種存在します。どれが
最適 かを見極めるのが先だとは思いますがまずは普及をさせる方法を考えた
方が、地球環境の為のような気がします。
ｂｙ tonshi_matsu
液体窒素のご用意や液体窒素自動供給設備、液体窒素レベルセンサーなど
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
ＴＥＬ ０５−８８８１−７３４３
ありがとうございます
今日の埼玉川口市のお天気は？
３月１５日 月曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 夜１２℃
です。
電車での移動で、久しぶりに新宿駅の中をまじまじと観察すると
自分の知らない情報や進化した機器が当然のようにあります。
・黄色い車体から、シルバー下地に青と緑のラインになった西武線
・駅構内のコインロッカーで、昔の青い扉から、扉ごとＬＥＤランプが
点灯し、清算などの制御部がタッチパネルになっており、あたり
前のように操作するおばあさん
・広告で狭山スキー場が４月４日まで滑走可能なこと。
（閉鎖したと思っていた）
などなど。
でも、知らなくても良いことなのかもしれません。
ｂｙ との
