ガスの知恵袋 2010年08月05日
特殊材料ガスに適した材質は、そのガスごとに異なる物性の通りさまざまです。
一昨日お知らせしました特定7種とは異なる、その他ガスについての適切な材質
を見てみましょう！
「三塩化ケイ素」に適した材質は？
湿った空気と接触するとたやすく塩化水素を発生しますので事前に十分に乾燥さ
せる必要があります。乾燥したジクロルシランに対する金属、非金属材料の適合性
を以下に示します。
金属類
強耐性 ： 銀（<200℃）、銅ﾆｯｹﾙ合金 > 70%銅（<100℃）、銅ﾆｯｹﾙ合金 >70%銅
（<200℃）鉄、低合金鋼（<200℃）、ﾆｯｹﾙ鋼（<200℃）、ﾆｯｹﾙ（<500℃）
ﾊｽﾃﾛｲA（<500℃）ﾊｽﾃﾛｲB,C（<450℃）、ｲﾝｺﾈﾙ（<400℃）
金（<1100℃）、ﾀﾝﾀﾙ（<150℃）
かなり耐性： 銀（<425℃）
耐性なし ： ｱﾙﾐﾆｳﾑ合金、真鍮、銅ｼﾘｺﾝ合金、ｵｰｽﾃﾅｲﾄ系ｽﾃﾝﾚｽ鋼
非金属類
強耐性 ： ﾎﾟﾘ塩化ﾋﾞﾆﾙ（<60℃）、ﾎﾟﾘｴﾁﾚﾝ（<40℃）、ﾃﾌﾛﾝ（<250℃）
ｹﾙｰF（<180℃）、 ﾊﾞｲﾄﾝDF782（、生ゴム（<80℃）、ガラス、陶器
炭素、ｸﾞﾗﾌｧｲﾄ
かなり耐性： ﾊﾞｲﾄﾝDF200
耐性なし ： ﾅｲﾛﾝ、環化ｺﾞﾑ
「四塩化ケイ素」に適した材質は？
三塩化ケイ素に準じます。
「四フッ化ケイ素」に適した材質は？
乾燥した気体には大部分の通常の金属材料を用いうる。湿った条件下では
たやすく加水分解し強い腐食性となるので注意が必要である。プラスチックで
適当なものは、テフロン、ケルーＦ、サラン、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ネオ
プレンなどである。
「フッ化ヒ素」に適した材料は？
白金、金、モネルそれにテフロン、ケルーＦが良いとされます。乾燥状態では
ニッケル及び銅も用いられます。ポリエチレン、ポリアミドは不可です。
「塩化ヒ素」に適した材料は？
ニッケル、白金、金、インコネル、ハステロイ、ニッケル鋼、銅ニッケル合金
テフロン、ケルーＦがよく、アルミ、銀、亜鉛などは用いることはできません。
「フッ化リン」に適した材料は？
乾燥フッ化リンを扱う材料には、銅、ニッケル、モネルおよび貴金属が使用で
きます。パイレックスガラスも250℃まで使用できます。サラン、硬質ゴムおよび
パラフィンワックスは湿潤ガスに推奨されています。
「オキシ塩化リン」に適する材料は？
ニッケルが推奨されています。貯蔵や反応にはガラス、ガラス張りあるいは
テフロン張りの鋼製容器が利用できます。
「三フッ化ホウ素」に適する材料は？
金属系材料
乾燥ガス 強耐性 ： 銅、銅亜鉛合金、銅ｼﾘｺﾝ合金、炭素鋼、白金、金、ﾆｯｹﾙ
ﾓﾈﾙ
かなり耐性 ： ｱﾙﾐﾆｳﾑ、ｵｰｽﾃﾅｲﾄ系ｽﾃﾝﾚｽ鋼
耐性なし ： 銀、水銀（水銀に溶ける）
湿潤ガス 強耐性 ： 白金、金
かなり耐性 ： 銀
耐性なし ： ｱﾙﾐﾆｳﾑ、銅、銅亜鉛合金、銅ｼﾘｺﾝ合金、炭素鋼
ｵｰｽﾃﾅｲﾄ系ｽﾃﾝﾚｽ鋼、銀、ﾆｯｹﾙ、水銀（水銀に溶けます）
ﾌﾟﾗｽﾁｯｸその他の材料
強耐性 ： ﾃﾌﾛﾝ、ｹﾙｰＦ、ｶﾞﾗｽ（完全に乾燥した状態）
かなり耐性 ： ﾎﾟﾘｴﾁﾚﾝ、塩化ﾋﾞﾆﾙ、ﾈｵﾌﾟﾚﾝ（ｶﾞｽ圧力が低い場合）
ﾌﾞﾁﾙｺﾞﾑ（ｶﾞｽ圧力が低い場合）
耐性なし ： ﾎﾟﾘｽﾁﾚﾝ、ﾎﾟﾘｱﾐﾄﾞ、酢酸ｾﾙﾛｰｽ
「三塩化ホウ素」に適する材料は？
乾燥している場合は、塩化水素に準じて次のような金属材料が使用できます。
鉄及び鉄を主成分とする全ての金属、ﾆｯｹﾙ含有量１３％～３２％のﾆｯｹﾙ鋼
ﾆｯｹﾙ、ﾆｯｹﾙ-ｸﾛﾑ-鉄合金（８０％ﾆｯｹﾙ）、ﾆｯｹﾙ-鋼合金、ﾊｽﾃﾛｲA,B,C、ｲﾝｺﾈﾙ
ﾀﾝﾀﾙ、白金、、金。ﾌﾟﾗｽﾁｯｸ等では、ﾃﾌﾛﾝ、ｹﾙｰＦ、ｶﾞﾗｽ、磁器、炭素及びｸﾞﾗﾌｧｲﾄ
などを用いることができます。
「三臭化ホウ素」に適する材料は？
三塩化ホウ素に準じます。
「三フッ化窒素」に適する材料は？
金属材料では、１１５℃付近ではｱﾙﾐﾆｳﾑ合金の中の一部に耐性を示すものも
ありますが、ｽﾃﾝﾚｽ鋼、銅には腐食が見られました。ﾓﾈﾙ、ﾆｯｹﾙ、ｲﾝｺﾈﾙは４００℃
まで使用可能で、銅、ｽﾃﾝﾚｽ鋼、軟鋼は２００℃まで使用可能です。ﾃﾌﾛﾝ、ﾊﾞｲﾄﾝ
は１５０℃で１５０psi の三フッ化窒素を６週間接触させたが変化はありませんで
した。
ｼﾘｺﾝｺﾞﾑには変化が見られました。また、ﾎﾟﾘｽﾁﾚﾝは１３５℃で６日間接触させま
したが変化は無く、ｼﾘｺﾝｸﾞﾘｰｽﾞには変化が見られました。ﾃﾌﾛﾝ、ｹﾙｰＦ、は適し
ており、ｶﾞﾗｽも２００℃まで使えます。ただし、天然ゴムには使用できません。尚
高温ではｸﾞﾘｰｽや油と接触すると発火する可能性があります。
「フッ化タングステン」に適する材料は？
４００℃まで使用できる材料は、ｱﾙﾐﾆｳﾑ、白金、金、ｲﾝｺﾈﾙ、ﾓﾈﾙ、ﾆｯｹﾙが
あります。２００℃までであれば、銅、黄銅、ｽﾃﾝﾚｽ鋼、銀、が使えます。ﾃﾌﾛﾝ、
ｹﾙｰＦも使用可能です。また、ｶﾞﾗｽは乾燥状態であれば徐々に腐食が進み、
水分が含まれていると腐食は早く進みます。
「ﾄﾘｱﾙｷﾙｶﾞﾘｳﾑ」に適する材料は？
ﾄﾘｱﾙｷﾙｶﾞﾘｳﾑ自体は腐食性は無いと思われるので、常温付近では炭素鋼、
ｽﾃﾝﾚｽ鋼、ﾆｯｹﾙ、銅、黄銅、ﾃﾌﾛﾝなどが使用できます。
「ﾄﾘｱﾙｷﾙｲﾝｼﾞｳﾑ」に適する材料は？
ﾄﾘｱﾙｷﾙｶﾞﾘｳﾑに準じます。
以上。
特殊ガス、特殊ガス供給機器、特殊ガス配管工事のことなら
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ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝32℃、昼37℃、夜35℃
です。
示衆
「わしの今日のあり方は、まったく純一無雑で、与えるときは与え
奪うときは奪い、思うがままに働いて、いかなる境に入っても平
穏無事、順境も逆境も影響を与えることは出来ない。ただ、来て
求める者があれば、わしは直に出て相手の胸中を見抜くが、相
手はそれと気付かない。そこでわしは幾通りもの衣装を着てみせ
る。すると修行者たちは、またその衣装、すなわち私の言句につ
いてまわり、ああこうかと推量する。にかにがしいめくら坊主どもだ。
わしの着ている衣について、青いの黄いろいの赤いの白いのなど
と品定めをする。そこでわしがそれらの衣を脱ぎ捨てて、本来無一
物の清浄の境界に入れば、修行者たちは、これは尊い、これこそ
われわれのもとめるところだ喜ぶ。わしがさらにそれも脱ぎ捨てる
と、修行者たちは肝をつぶし、茫然としてしまい、うろたえてわしに
衣が無いと言う。そこでわしが彼に向かって、お前たちはこの衣を
着たり脱いだりしている「人」を職っているかどうかと言ってやると
ああそうかと、やっとわしを認める。」
朝比奈宗源 著 （臨済録）より
ｂｙ との
精製ガス 2010年08月04日
連載企画「排ガス処理」と「精製ガス」のブログ第十一回です。
今日は「精製ガス」のお話第五話です。
毎度お世話になっております藤村Ｍさんにお話しいただきます。
それではよろしくお願い致します。
インライン精製器！
皆さん、こんにちは！
暑いですねぇ！
７月の千葉の月平均気温は平年を 3.1℃ 上回り 27.7℃だったそう
です。月の平均気温が 3.1℃ も高いんですよ！ ものすごいですねぇ。
ものすごいのは気温だけじゃありません。フランクリン・ジャパン
という雷観測・予報会社発表によると「７月に入ってから２８日まで
に全国で観測された落雷は、去年の同じ時期の２倍近い、およそ１１４
万回に上り、７月としては、過去５年間で最も多くなった」とのこと。
ピカピカ・ドカン！
藤村Ｍは、ここのところ北関東方面に行く機会が多いんですが、営業
で訪れた、あるお客様から「( 落雷で瞬間的に )停電しても止まらない
よう( な機械 )にできないかな」とリクエストを受けました。このエリア
はそもそも雷のメッカですからね～。
あ、ガス精製の話でしたね。
■精製「機械」の分類
２回続けて精製原理のお話をさせていただきましたから、今回はちょっ
と目先を変えて、精製「機械」について触れてみたいと思います。
精製「機械」と書きましたが、「精製装置」と言われるのが一般的です
かね。他に精製器と言うこともありますし、純化器なぁんて呼び方もされ
るようです。個人的には「純化器」って、ぐっときますが( どういう風に？)
あまり一般的ではないですね。
用途にもよりますが、精製装置は連続稼動が基本。精製装置は、ＰＬＣ
( プログラマブル・ロジック・コントローラ )という一種のコンピュータで
制御されているのが普通ですから、落雷による停電や電圧変動などの「電
源異常」はかなり致命的です。電源監視して異常があったら安全のために
装置を止める、という機構が働くこともありますし、精製装置と関連して
いる設備側の問題で停止することもありますしね。
では・・・
Ｑ、停電しても使える精製「機械」はないのか？
Ａ、はい、あります。
電源が必要なＰＬＣで制御され、連続稼動が基本の精製装置に対して「
インライン精製器」と呼ばれるものです。
■どうして電源がいらないのか？
「インライン」というのは、ガス配管の途中にポンと挿入できる( ぐらい
のサイズ )という意味合いだと思ってください。だから基本的には小型。
あまり大流量のガス精製はできません。そして電源は必要ありません。
精製装置も、精製器も、何らかの方法で精製対象ガス中の不純物成分を
除去しているんですが、これを永遠に続けることはできません。ゴミ箱に
たまったゴミは、捨てないとあふれてしまいます。
連続稼動が求められる精製装置は、精製する機構を複数、一般的には２系
統持っていて、片方が精製している時、もう片方はたまったゴミを捨てる作
業を行っています。このゴミ捨てを「再生」といいますが、再生には熱源と
再生用のガスが必要になります。熱源はヒーターですから、これまた電源が
必要。
インライン精製器はこの再生を「しない」と割り切っています。だから、
再生の複雑な制御をする必要がありません。そうするとＰＬＣはいらないし、
ヒーターもいりません。だから電源が不要なんです。
■再生ガスもいりません
おまけに再生用ガスも必要ありません。例えば、一般的な窒素精製装置
では、再生用に水素ガスを使います。
「窒素ガスを精製するのに水素ガスを用意する」
連続稼動のためには仕方ありませんが、何だか大変ですよね。窒素用イン
ライン精製器なら再生用の水素ガスも不要です。
さて長くなってきたのでまとめましょうか。
■インライン精製器のメリット
・安価です
インライン精製器は、精製剤が充填されている筒です。筒の入口側に
バルブ、筒を出たところにフィルター、それから出口側のバルブがつい
ているぐらいです。非常にシンプルな構成なので、精製装置に比較する
と安価です。
・小型です
当たり前ですよね。精製装置のように場所を取りませんし、納入も宅
配便でＯＫ。取り付け工事も簡単です。
・ユーティリティが不要です
前述した通り、電源、再生用のガス( の供給設備 )、再生用ガスの保安
装置( 例えば水素警報器と水素供給元の連動遮断機構、警報アナウンス設
備 )が不要です。これも「安価」につながります。
・アクシデントに強い
稼動にユーティリティが不要ですから、その分、アクシデントに強くな
ります。停電も関係なし！
■インライン精製器のデメリット
・割高なことが多いです
再生しませんから、寿命が尽きたら精製器を交換することになります。
このためガスを精製する( 精製ガスの出来上がり )コストは、精製装置より
割高になります。ただ条件によっては安くなることもあります。
精製ガスの量、用途、精製器本体価格、付帯設備価格、ユーティリティ
価格など総合的に判断して、リーズナブルな精製ガスを使いたいですね。
では、本日はここまで。
by 藤村Ｍ
精製器のことなら
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ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
8月4日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝32℃、夜35℃
です。
プロ野球、セ・リーグの首位攻防戦が熾烈を極めてますね！
昨日、首位を明け渡した阪神が８―４で快勝し、一夜にして
首位を奪回しました。
常勝巨人はともかく、今年の阪神には期待したいですね。
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年08月03日
特殊材料ガスに適した材質は、そのガスごとに異なる物性の通りさまざまです。
特定7種を代表に、適切な材質を見てみましょう！
「シランガス」に適した材質は？
炭素鋼、ステンレス鋼、銅、黄銅、モネル、ハステロイＣ、石英、ガラスは使用に
適しています。プラスチックのうちでも、テフロン、ケルーＦは適しており、バイトン
ナイロンも使用可能です。
「アルシン」に適した材質は？
金属としては、炭素鋼、ステンレス鋼、モネル、ハステロイ等が推奨できます。
場合によっては、黄銅も使用できます。プラスチックでは、テフロン、ケルーＦが
良く、バイトン、ナイロンがこれに続きます。
「ホスフィン」に適した材質は？
ホスフィン自体には腐食性は無いので、通常の材質が使用できますが、一般には
銅は避けたほうが良いとされ、鋼、ステンレス、モネル、ハステロイならば良いとさ
れます。また、プラスチックでは、テフロン、ケルーＦが優れ、バイトン、ナイロンも使用
できます。通常のガラス、石英、パイレックスも使用可能です。
「ジボラン」に適した材質は？
通常使用されている炭素鋼、ステンレス鋼、銅、黄銅、モネル、ハステロイなどの
金属を侵食することはありません。しかし、ゴム、ある種のグリース、潤滑剤などを
侵します。サラン、ポリエチレン、テフロン、ケルーＦ、アスベスト、グラファイト、高真
空シリコングリーズ、ガラスなどは使用できます。
「ジシラン」に適した材質は？
※シランガスに準じます。
「ジクロルシラン」に適した材質は？
湿った空気と接触するとたやすく塩化水素を発生しますので事前に十分に乾燥さ
せる必要があります。乾燥したジクロルシランに対する金属、非金属材料の適合性
を以下に示します。
金属類
強耐性 ： 銀（<200℃）、銅ﾆｯｹﾙ合金 > 70%銅（<100℃）、銅ﾆｯｹﾙ合金 >70%銅
（<200℃）鉄、低合金鋼（<200℃）、ﾆｯｹﾙ鋼（<200℃）、ﾆｯｹﾙ（<500℃）
ﾊｽﾃﾛｲA（<500℃）ﾊｽﾃﾛｲB,C（<450℃）、ｲﾝｺﾈﾙ（<400℃）、金（<1100℃）
ﾀﾝﾀﾙ（<150℃）
かなり耐性 ： 銀（<425℃）
耐性なし ： ｱﾙﾐﾆｳﾑ合金、真鍮、銅ｼﾘｺﾝ合金、ｵｰｽﾃﾅｲﾄ系ｽﾃﾝﾚｽ鋼
非金属類
強耐性 ： ﾎﾟﾘ塩化ﾋﾞﾆﾙ（<60℃）、ﾎﾟﾘｴﾁﾚﾝ（<40℃）、ﾃﾌﾛﾝ（<250℃）、ｹﾙｰF（<180℃）
ﾊﾞｲﾄﾝDF782（、生ゴム（<80℃）、ガラス、陶器、炭素、ｸﾞﾗﾌｧｲﾄ
かなり耐性 ： ﾊﾞｲﾄﾝDF200
耐性なし ： ﾅｲﾛﾝ、環化ｺﾞﾑ
「セレン化水素」に適した材質は？
アルミニウム、ステンレス鋼、黄銅が使用できます。テフロン、ケルーＦは安心して使用できます。
バイトン、ナイロンも使用可能です。また、通常のガラス、パイレックス、石英ガラスも使用できます。
「モノゲルマン」に適した材質は？
腐食性はないので、炭素鋼、ステンレス鋼、銅、黄銅などの金属材料が使用できます。プラス
チック材料では、テフロン、ケルーＦは適しており、バイトン、テフロンも使用できます。一般ガラス
パイレックス、石英も使用できます。
以上。
特殊ガスのご用命・ご相談から特殊ガスの現地配管工事まで
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
8月3日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝31℃、昼37℃、夜35℃
です。
毎日新聞社と全国高体連主催の全国高校総体7日目が沖縄県各地
行われています。
バスケットボール男子の決勝戦 八王子高校（東京）が、昨年の
全国高校選抜優勝大会を制した明成（宮城）を、試合終了のホイッスル
数十秒前に逆転し ６７－６６で破り、初優勝を果たしました。
指導者の先生のコメントが、とっても自然で、まったく力んだところが無く
偶然優勝したといったふうで面白かったです。
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年08月02日
本日の内容は、ガス・真空・低温の実務ではありませんが
毎日の業務にとって大切なことです。
企業（組織）における「ほう・れん・そう」とは「報告・連絡・相談」のことで
良好なコミュニケーション、問題の発見と解決のために有効な方法です。
「報告」とはどんなことか？
「報告」とは、ある任務を与えられた者が、その遂行の状況や結果につ
いて述べることです。報告は問題発見と解決のスタートです。
「報告」のポイントは・・・
・報告は命令者に対する答えである
命令は一人から、報告は一人へという組織上の原則を守る
・報告は簡単に
報告を受ける人は結果を早く知りたいから、報告は簡単にする
・指示されたことの結果は催促される前に報告する
・知り得た情報を直ぐに報告する
・悪い情報でも直ぐに報告する
「連絡」とはどんなことか？
「連絡」とは、知り得たことを関係者に通報することです。状況と事態を
知ることにより、対処や対策のための行動を取ることができます。
「連絡」のポイントは・・・
・連絡の相手を間違えないこと
問題解決、またはそのための行動を求めるための連絡ですから、相
手を間違えては意味がありません。
・連絡内容に落ちがないこと
連絡内容は「何を、誰が、いつ、どこで、なぜ、どのように」を揃えます。
・連絡を受けたときには復唱する
連絡を受けたときには、内容を間違いなく受け取るために復唱します。
「相談」とはどんなことか？
連絡を受けた人が寄り合って、お互いに意見を出して話し合うことです。
「相談」のポイントは・・・
・相談するときには世話人を決める
相談は普通数人で行なうので、世話人を決めて進め、まとめさせます。
・短時間で相談する習慣をつける
現場では単時間で効率よくすすめる必要があります。特に緊急時には
仕事を中断して相談しますので、数分で結論を出し行動に移す必要が
あります。
・相談の結果を上司に報告し行動を開始する
相談の結果を上司に報告し、直ちに行動に移します。
KHK ﾋﾔﾘﾊｯﾄ事例と現場の問題Q&A より
高圧ガス、真空機器、低温機器のことなら
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
8月2日 月曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝30℃、昼30℃、夜31℃
です。
「逃げ」の言葉を使っていると
逃げの姿勢ができてしまう
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年08月01日
ｴｷｼﾏﾚｰｻﾞｰ発振用F2ガスやHClガスなどは、レーザー装置で無反応のまま
原料ガスが排出されることがあります。毒性が残ったままですと屋外排気した
周辺は人体に悪影響があります。
そのような場合に、反応性ガスのHFを処理する水接触式のスクラバーが有効
です。レーザーの排風量によってブロアーにより吸い込み無害化する処理量も
異なってまいります。
小型スクラバー 6m3ﾀｲﾌﾟ
スクラバー制御部
ｲﾝﾀｰﾛｯｸ制御機構 排気風量微差圧計
ｴｷｼﾏﾚｰｻﾞｰ用排ガス処理スクラバーのご用命は
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今日のさいたま市のお天気は？
８月１日 日曜日
天気 はれ
気温 30℃(PM9:00)
です。
今の季節の駐車してる車の中は、曇り空でも40℃を超えるそうです。
直射日光がギラギラノ日は50℃も超え、乗車中エアコンを利かせても
40℃近くに達することも良くあります。
このような陽気ですので、誰もいない車中に
幼い子供など絶対残してはいけないですねよね。
ｂｙ との
LPG (液化石油ガス) 2010年07月31日
夏祭りやキャンプなどでガスボンベを利用することがある場合
注意していただきたいことをお知らせいたします。
ボンベと焼きそば用のガスコンロなどを直接ガスホースで接続して
利用する場合には、次の項目をチェックしてみてください。
１：ガスボンベが転倒・転落しないようにしてください。
２：マッチ等で点火するときには、先ず着火源の炎を出してから
次に器具ガス栓などバルブを開き、ガスを流して燃焼器具に
着火源を近づけ点火しましょう。
３：点火のときには、必ず火がついたことを目で確認しましょう。
４：ガス燃焼中は、なるべく火のそばを離れないようにしてください。
離れる場合は、他に人に頼むか、一度火を落としましょう。
５：炎は、常に青い安定した炎の状態で使用しょましょう。
赤やオレンジの不完全燃焼の場合は、火口の掃除や、空気穴の
調整などガス器具を確認してください。
６：ボンベとガスコンロなど燃焼器具の傍で、火気を使用したり
化石燃料その他燃えやすいものを置かないようにしましょう。
７：ガスコンロなど使用を終えるときには、器具のガス栓（バルブ）
ガス容器バルブを完全に閉めましょう。
８：ゴムホース（ゴム管）は、ゴムホースを差し込む取付部に印のある
赤線の印が隠れるまで差し込んで、更にホースバンドを使用し締め付ます。
万が一、ゴムホースにヒビ割れがある場合には使用しないで、新しいもの
と交換しましょう。
９：ネジを外さないと掃除できない燃焼器具の分解を行わないでください。
10：燃焼器具の清掃をする際には、器具専用の掃除器具を使用しましょう。
11：ガスホースを、ホースの真ん中などで三つ叉や四つ叉に分岐するような
方法は危険ですので絶対にしないでください。
12：プロパンガスボンベを保管しておく場合は、直射日光が当たらない場所に
火気などがある場所を避け、風通しの良い屋外に保管しましょう。
ワ：空になったり不要になったガスボンベは、ゴミとして捨てられません。
ボンベを購入したガス販売店またはお近くのガス取扱い会社に持ち込ん
で下さい。
縁日や夏祭り、自治会の盆踊りなどで使用するプロパンガスや
貸出用ガスコンロなど、川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談ください。
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ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
7月31日 土曜日
天気 晴れ
気温 30℃(PM11:00)
です。
暑い盛りです。
小さな子どもは、身長の１／３程度の水位で溺れます。
噴水の水たまりや側溝にも注意しましょう。
by mitono
小惑星探査機「はやぶさ」のカプセルが一般公開された
相模原市立博物館の来場者数を知ってますか？
３０～３１日の２日間でナント計３万人ですって！
凄いですね！！
ｂｙ との
特殊ガス 2010年07月30日
特殊ガスのことを詳しく解説してくれるこのコーナー第三十一回目に
なります。
難しいとお嘆きの皆さま・・・。
実は私も難しいです。 でも負けずに一緒に勉強していきましょう！
それでは今週も SGﾏｲｽﾀｰさんお願い致します。
（31話）高純度ガスは本当に高純度なのか？（つづき） ‘10.7.30
こんにちは
今日は先週のつづきです。
自分が思っているより難しいことになってしまって後悔しつつ．．．
「①不純物は誰がどうやって決めるのか？」についてはご理解頂けましたか？
さて今日は
②その不純物規格ってどうやって決めるの？
③”１００－不純物計”が純度（99.999%等の標記）と一致しない場合
があるのはなぜ？
についてお話していきます。
②その不純物規格ってどうやって決めるの？
先週のお話の通り規格に載せる”不純物成分”を決めると次にその
“規格”を決めなくてはなりません。言い方を変えると、どの程度の
(品質管理上の)分析が可能か？ってことを決めるってことになります。
例えば、Ａｒ中のＯ２分について・・・
ある工場の所有する分析計の検出下限が0.1%だとすると、これ以上の
保証は出来ないことになります。従って、Ｏ２分は<0.1%という表現
になります。
もし他の工場では、分析計が古いために0.5%かでしか測定出来なかっ
た場合、中に入っているＡｒが実は全く同じものであっても、規格上は
<0.5%との表現になってしまいます。
さて、この例を例題として、次に、
③”１００－不純物計”が純度（99.999%等の標記）と一致しない場合が
あるのはなぜ？
にお答えしていきましょう。
これまでのお話で「純度とは１００％から一定のルールによって決め
られた不純物とその規格を引き算して表現する」ということが理解頂け
たでしょうか？
仮に同じＡｒを充填したガス二本を異なる工場に一本ずつ運び込み、分
析をしてもらって純度標記をするとします。ここで、上記の例に従い、
Ａ規格：<0.1% 酸素分
Ｂ規格：<0.5 %酸素分
とします。
Ａ規格によるＡｒガスは、
１００％－０．１％＝９９．９％
Ｂ規格によるＡｒガスは、
１００％－０．５％＝９９．５％
という"商品規格"になります。
例えば中身も何もかも同じものであっても、"品質管理のレベル＝不純物
分析レベルの違い"によってこの二つは「違うもの」として扱われます。
さてここまでが何となく理解出来たところで、先週の答えです。
以下の二つのガスはどちらが高純度だと思いますか？
①純度99.9% Ar 不純物規格 O2 <0.05%、 N2 <0.04%、 CO2 <0.01%
②純度99.9% Ar 不純物規格 O2 <0.1%
という問題でした。
この答えは・・・
Ans. 同じかも知れないし①かも知れないし②かも知れない
殆どの方が正解したのではないでしょうか。
同時にタイトルの意味．．
高純度ガスは本当に高純度なのか？
要は、高純度ガスの品質を比較する場合、お使いになるみなさん自身が、
数字の"９"が幾つ並んでいるか？だけで判断することなく、"純度"
と"不純物規格"の両方を確認して判断して頂きたいんです。
やっぱり難しいテーマだったかも知れませんね。
このお話はこれでおしまい。
by SGﾏｲｽﾀｰ
高純度ガス、高純度ガス用機器、高純度ガス配管工事のことなら
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月30日 金曜日
天気 晴れのち雨
です。
来週は、もう8月ですよ！
私のイメージ的には8月は、夏休み、お盆、甲子園という感じ
ですが、毎度あっという間に過ぎて行ってしまうので
今年は大事に味わってみたいと思います。
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年07月29日
薄膜の製法に用いる主なCVD薄膜と原料ガスを見てみましょう。
一般的には P-CVD により膜の組成は
ガスの流量・生成圧力・基板温度RFパワーなどに依存します。
薄膜 SiO2 原料ガス ：SiH4,SiHCl3,SiH2Cl2,SiH3Cl,SiCl4,SiBr4,SiI4,SiF4,
Si(OC2H5)2 + O2,NO,NO2,N2O,CO,CO2+H2,H2O
絶縁膜
薄膜 PSG 原料ガス ：SiO2の原料 + PH3
BSG 原料ガス ：SiO2の原料 + B2H6
ASG 原料ガス ：SiO2の原料 + AsH3
BPGS 原料ガス ：PSGとBSGの原料,PO(OCH3)3
GSG 原料ガス ：SiO2の原料+GeH4
Si3H4 原料ガス ：SiH4,SiHCl3,SiH2Cl2,SiH3Cl,SiCl4,SiBr4 + NH3,N2H4,N2,H2
SiOxNy 原料ガス ：SiO2の原料 + SiN2H3の原料
Al2O3 原料ガス ：AlCl3,Al(CH3)3,Al(C2H5)3,Al(OC3H7)3 + CO2+H2,O2,H2O
TiO2 原料ガス ：TaCl4 + CO2+H2O,N2O+H2
Ti〔(CH3)2CH-CH2-O〕4
Ta2o5 原料ガス ：TaCl5 + CO2+H2,N2O+H2
TaCl2(OC2H5)2C2H7O2
Ta(OC2H5)5
半導体膜
薄膜 Si 原料ガス ：SiH4,SiHCl3,SiH2Cl2,SiCl4 + Ar,H2
Ge 原料ガス ：GeH4 + Ar,H2
金属膜
薄膜 Al 原料ガス ：AlCl3,Al((CH3)3,Al(C2H)3 + H2
W 原料ガス ：WF6,WCl6,W(CO6) + H2,Ar
Mo 原料ガス ：MoF6,MoCl5,Mo(CO)6 + H2,Ar
Fe 原料ガス ：Fe(CO)5 + H2
Cr 原料ガス ：Cr(CO)6 + H2
Pt 原料ガス ：Pt(CO2)Cl2 + H2
MoSi2 原料ガス ：MoF6,MoCl5 + SiH4+H2
WSi2 原料ガス ：WF6,WCl6 + SiH4+H2
TaSi2 原料ガス ：TaCl5 + SiH4+H2
TiSi2 原料ガス ：TiCl4 + SiH4+H2
実際には、さらに多種多様な原料ガスの組み合わせがありますが、更に多くの
新たな原料が登場しております。
CVD装置用原料ガスや金属錯体、薬液など特殊ガス、特殊ガス機器、特殊ガス配管工事
のことなら川口液化ケミカル株式会社まで、ご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月29日 木曜日
天気 あめ
ボンベ庫の温度 朝28℃、昼27℃、夜26℃
です。
夏日が続いていたので、体に優しく感じる一日でしたね。
雨の潤いと、ときおり強く吹く風の涼しさが心地よかったです。
ｂｙ との
排ガス処理 2010年07月28日
連載ブログ「排ガス処理」「精製ガス」の第十回目になります。
今回は「排ガス処理」の第六話になりますね。
それでは藤村Ｆさん、お願い致します！
■除害装置を導入する時に必要な情報
今回は除害装置を購入する際に、除害装置メーカーに提示する必要
のある項目を勉強しましょう！
まずは、皆様が購入しようとしている製造装置のメーカーが標準として
いるガス仕様を確認して下さい。
一例を示しておきます。
・Ａガス ３００ＳＣＣＭ
・Ｂガス ５００ＳＣＣＭ
・Ｃガス ２００ＳＣＣＭ
・窒素ガス ８００ＳＣＣＭ（プロセス用）
・窒素ガス ２０，０００ＳＣＣＭ（ポンプ保護用）
通常、使用流量はマスフローコントローラー（ＭＦＣ）の最大流量を教えて
くれると思います。
※ﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰの解説はこちら ⇒ http://www.klchem.co.jp/mfc/ まで。
そして思わぬ落とし穴が『窒素ガス（ポンプ保護用）』です。
この窒素ガスも除害装置に導入されるので、忘れずに提示してあげましょう！
これらのガスは本来であれば、製造装置内で仕事をして製品になるのですが、
全量のガスが製品になる訳ではありません。
では、どれ位が製品になるのでしょうか？
ご存知ですか？
様々な種類の製造装置があるので、一概には言い難いですが、数％～５０％
が製品になるそうです。意外と効率が悪い物ですね？だから、除害装置が売れ
る訳なのです。
話が逸れましたが、製品にならなかった残ガスを処理するのを目的として除害
装置が必要になっています。しかし、先程若干触れましたが、製造装置内での
効率は処理装置のメーカーでは正直判りません。同じ製造装置の型式であっても、作る製品によって効率が変わる物なのです。
よって、除害装置メーカーは製造装置に導入するガスが全く製品に変化せずに
排出された状態で機種選定して来るはずです。
これで当初計画している予算に納まれば良いのですが、納まらない時はどうす
れば良いのでしょうか？
次は、ＭＦＣの最大流量ではなくて、実使用流量を提示しましょう！
そうすると大抵の場合、最大流量の２／３以下程度になり、それに伴って除害
装置も小さい型式が選定して来るはずです。それでも、予算に納まらない場合は、複数の除害装置メーカーから見積を取ってみたり、意中のメーカーに値引
交渉するしかないですね！
でも、あまりメーカーさんを困らせない程度にしましょうね！
今日はここまで！
次回は第１話に関連しますが地球温暖化対策の法律(その１)を紹介します。
お楽しみに！！（＾Ｏ＾）／=
by 藤村Ｆ
除害装置のことなら川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談下さい。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
7月27日 水曜日
天気 はれ
ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度 昼37℃、夜35℃
です。
高校野球埼玉大会決勝戦が県営大宮球場で行われ
本庄第一高校が３－２で優勝しました！
常笑野球で、ピッチャーもピンチでも笑顔を絶やさず
ノーシードから接戦を勝ち抜きました。
甲子園でも活躍を期待してます。
ｂｙ との
CO2 (二酸化炭素) 2010年07月27日
TYPE : ｴｽﾌﾟｰﾏ ｽﾊﾟｰｸﾘﾝｸﾞ （日本炭酸瓦斯製）
炭酸入りドリンクが手軽に、しかも素早くできます。
ジュース類から焼酎、ウイスキーまで、ひと吹きするだけでさわやかな
おいしさに大変身します。ご家庭でのドリンクメニューがとっても豊富
になります。
美味しい炭酸水の作り方
美味しい炭酸水をつくるには、水が冷たいことと、よく混ぜることが
ポイントです。理想的には水温を4℃にし、炭酸水を作る前に冷蔵庫で
十分に冷やした水をお使いください。なお、作った炭酸水はそのまま
冷蔵庫に入れておくと翌日でも美味しく召し上がれます。
ソーダー水、レモンスカッシュ、日本酒ハイボール、ハイボール、チュ
ーハイ、ウイスキーサワーなどお好みの飲料がつくれます。
TYPE : ｿｰﾀﾞｰｻｲﾌｫﾝ （日本炭酸瓦斯製）
※複数機種ございますので、都度ご相談ください。
ｿｰﾀﾞｰｻｲﾌｫﾝ、ｴｽﾌﾟｰﾏ ｽﾊﾟｰｸﾘﾝｸﾞのご用命は
川口液化ケミカル株式会社まで、ご連絡下さい。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
7月27日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝29℃、昼36℃、夜36℃
です。
大気中のチリや水蒸気は紫外線を吸収してくれています。
標高の高い山の上は大気が薄くなるので、当然、水蒸気や
チリも少ないので皮膚に紫外線を直接受けることになります。
１５００ｍで地表の約２５％、３０００ｍで約４０％の紫外線量に
増えるそうです。
夏山登山には、日焼けクリームを忘れずに！
ｂｙ との
