MFC/MFM (マスフローコントローラ) 2008年09月24日
世の中で、最も精度よく微少流量を計測できるのがコリオリ式マスフローです！
サーマル式マスフローを使用していても微少流量については誤差が見逃せない
精度になっています。
そのことが原因となって、不具合や歩留まり向上ができなかったりしたことが
実は流量精度の不確かさによるものであることが少なくありません。
特にサーマル式の弱点である条件変化による誤差の発生が、無いとは言いま
せんが数値的に圧倒的な差があります。
上記写真のコリオリ式マスフローは、超微少流量から微少流量、小流量用コリ
オリ式で設定流量レンジは世界最小性能です。
コリオリ式マスフロー10数種の液体自動投入システム
更には流量を計測するだけで無く、コントロール機能を持っています。
コリオリ式マスフローコントローラと、シャットオフバルブを組合せることで、
複数種の液体を同時に正確な質量を投入できます。
通常はポンプを使用しますがポンプは容積式ですので、実際は精密な充填
などには向いておりません。
温度変化、成分誤差、密度などが変化してしまうと、そのままその分がすべて
誤差となってしまっていることに、気付くことすらできないのです。
体積単位だとその誤差に気付くことができず、または見て見ないふりをしてきた
ことが、コリオリ式マスフローにより誤差を補正することで、電子天秤などで質量
を校正したりする必要がなく、非常に正確な流体の質量流量を計測しますので
電子天秤などでの確認作業がまったく不要になります。
上の写真のシステムは、なんと！
45種類の液種を同時に、尚且つ、超精密に投入可能なシステムで、これらの
流体それぞれを電子天秤計測と確認する手間が省けるのは、計り知れない
工程のスリム化になります。
また、それぞれのコリオリ式マスフローが個別に自動制御できますので、フリー
ソフトでPC制御によりさまざまなレシピの比率でコントロール可能です。
コリオリ式マスフローや各種マスフローコントローラー、マスフローメーター
のことなら 川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
９月２４日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２２℃、昼２６℃、夜２７℃
です。
日中、八王子〜厚木方面にいた職人さんが
「久しぶりに結構暑かったな〜！」
とコメントしてました。
これから政局が激変する温度が伝わったかな・・・？
今日の環境情報は？
江戸時代のおかずは、名前だけですぐわかるような
お惣菜などが並んでいましたね。
冷蔵庫も長距離輸送も無い時代に、近郊で採れた
有機の野菜や近海の魚介などでこれだけ豊かな
食生活を過ごすことができていたんですよね〜。
真空の知恵 2008年09月23日
真空フランジでＪＩＳフランジのようにドルトナットを使用せず
簡単に着け外しできるフランジがクイックカップリング式のＮＷ
ＫＦフランジです。
有効内径は１５〜５０ｍｍと細径の配管に適しています。テ
ーパー状のフランジをクランプで挟み込み接続させます。クラ
ンプは蝶ネジもしくはロック機構のついたレバーなどで閉じる
ことができるので短時間で作業完了できます。主に真空ポン
プの排気配管ラインなどで利用されることが多いフランジです。
径が大きくなるとクイックカップリング方式では逆に大きくなる
ため作業性が悪くなります。そのような大口径ではボルトナット
式かチェーン式のチェーンクランプが有効です。
真空機器、真空フランジ加工品、真空溶接、真空リーク検査など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
9月23日 火曜日
天気 はれ
気温 26℃
です。
王監督が現役監督を引退するそうです。
プロに入って50年！
第一線での活躍をし続けるということは
凄いことですよね！
夢を与え続けてくれて、ありがとうございます。
今日の環境情報は？
江戸時代のおかずって何があったのでしょう？
魚方
めざしいわし、(貝の）むき身切り干し、芝えびからいり
マグロみそ汁、たたみいわし。
季節ごとに、いわしつみれ、数の子、するめ付焼き、こはだ煮浸し
どじょう鍋、酢ダコ、焼きサンマ、焼きハマグリ、サンマ干しもの
しらす干し、さわらあんかけ、などなどです。
真空の知恵 2008年09月22日
日本で一般的な真空フランジは、ＪＩＳ−２２９０にも規定される
ＪＩＳフランジです。低真空から高真空まで幅広く利用されており
ます。
ＪＩＳフランジは、ＶＧ（Ｏリング用溝付き）フランジとＶＦ（溝無し）
フランジの組み合わせでＯリングを潰して金属面に押し付けエラ
ストマーによりシールされているのです。
アメリカもＪＩＳ同様の溝付き・溝無しのＡＳＡフランジが規格化さ
れております。高真空側では １０ -6Pa 程度まで利用できますが
シール面のリークにより大気圧近くであっても大きく漏れることが
あります。
ヨーロッパでは両面溝無しでＯリング断面より小さな厚さのセン
ターリング、インナーリングなどの冶具でＯリングが逃げないよう
工夫されたものです。1986年正式にＩＳＯ１６０９としてヨーロッパの
規格もＩＳＯフランジへとなっております。
真空チャンバー、真空計、真空ポンプメンテナンスなど
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
9月22日 月曜日
天気 雨のち曇り
ボンベ庫の温度 朝19℃、昼19℃、夜19℃
です。
雨は恵みの雨だとつくづく思います。
晴天の日に、植物に水をあげないとどうなると思います？
環境変化に強いゴーヤでも、葉っぱが萎びて枯れますよ！
今日の環境情報は？
江戸時代のおかずとは？
精進方
八杯豆腐（あんかけ豆腐の一種）、こぶあぶらげ、きんぴらごぼう
焼き豆腐のすまし、ひじき白和え、切干煮付け、芋がらあぶらげ
あぶらげ付焼き。
季節ごとに、けんちん、ほうれん草ひたし、木の芽田楽、冬瓜くず煮
なす揚げ出し、ふろふき大根、山掛け豆腐、湯豆腐、納豆汁など
真空の知恵 2008年09月21日
銅と鋼、ステンレスとステンレス、コバール合金と
ステンレスの接合は、どういった方法が望ましいで
しょうか？
当たり前すぎる質問かもしれませんが、ＴＩＧ溶接で
溶接部の酸化を防ぐアルゴンガス雰囲気にして母材
を溶かして接合します。アルミニウムとアルミニウムに
も同じようなアルゴンガス雰囲気中での溶接で接合さ
れます。
その他の銅と銅や、鋼と他の鉄系合金との接合には
真空ロー付け処理が行われます。ペーストと呼ばれる
銀ロー材を １０ -3Pa 台の真空中で900℃程度に温度
制御され溶着されます。ロー付けは、冶具と銀ロー材が
目的とする仕上がりになるためにコントロールすることが
難しく、高温で変化しにくい冶具をどのように使用するか？
がポイントで、バッチ処理する炉を開けたとたんオシャカに
なっていたということも多々あるようで、温度コントロールも
ちょっと間違うと金属同士がドロドロに溶けあって見る影も
ないことがあるそうです。
真空部品の溶接加工、チャンバーの増設、改造、リーク検査
など川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日のさいたまのお天気は？
9月21日 日曜日
天気 曇りのち雨
気温 22℃
です。
土曜日から日曜日にかけ天気予報が
ちょっとずれたようですね。
朝から晴れ間が見えたりもしましたが
夜になると雷が浦和でも見られました。
今日の環境情報は？
江戸時代のおかずはどんなものがあったのでしょう？
実はおかず番付けというもので相撲の番付表と同じように
どんなおかずに人気があったか一覧になっているようです。
このおかず番付けは、相撲と同じように東と西方とに分かれ
精進方（野菜中心の料理）と魚方（魚を使った料理）とに分かれ
ていたそうです。
真空の知恵 2008年09月20日
真空の用途で絶縁物と金属を接合する方法がガラス封止
です。信号線などの金属製ピンとガラス管との封止は、コバ
ールガラスとコバール金属（フェルニコ系合金 Fe : Ni : Co
= 54 : 29 : 17）を加熱して熔着させるものです。お互いの母
材の熱膨張率がよく似ていることを利用した方法ですが、欠
点として外力(衝撃：収縮など）に弱いことがあげられます。
形状や封止方法に制約がないため、セラミック封止に対して
優れたものでもあります。
電流導入端子などアルミナセラミックスとコバール合金とを
接合する場合は、セラミック表面にメタライズ処理を行った上
その面とコバール合金とを真空ロー付けで接合します。メタラ
イズ処理は、モリブデンとマンガンの入ったペーストをアルミナ
表面に塗布して、水素と窒素ガスの混合状態の雰囲気で約
1400℃、45分程度焼成して出来上がります。
真空製作品、真空ポンプ、真空ポンプオーバーホールなど
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
9月20日 土曜日
天気 はれ
気温 23℃（PM8:30）
です。
プロ野球のジャイアンツが強いですね。
今日も大差をつけてリードしています。
一頃の劣勢が嘘のようです！
今日の環境情報は？
今は昔、江戸の食生活は・・・
どのように食材を買っていたか？
当時は行商人が長屋に入ってきていろいろな食材を売り歩いたようです。
野菜は、にんじん、だいこん、里芋、きゅうり、なすなどでなかにはタンポポ
なども野菜の食材としていたようです。
真空の知恵 2008年09月19日
NW-KFフランジ、JISフランジ、ICFフランジなどが真空フランジ
としては汎用性の高いものです。
ISO-Kフランジをご存知ですか？
ISO-K真空フランジ
ボルトナットやクランプなどで締め付けるのが通常ですが
このタイプのフランジは、フランジ側面にクロークランプと呼ば
れフランジ端面にリング状に溝がある部位を引っ掛けてボル
トによって締め付けシールしていきます。
VAT製のゲートバルブなどではフランジ面にネジタップが切られた
ISO-Fというタイプのフランジとなります。もちろんISO-K x ISO-F など
の組み合わせもありますので、思いこみでISO-K x ISO-K or ISO-F x
ISO-F などと勘違いしないよう注意が必要です。
真空フランジｘガス系フランジの特注品や製作品のご相談
のことなら川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
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今日の埼玉のお天気は？
9月19日 金曜日
天気 曇りのち雨
ボンベ庫の温度 朝22℃、昼23℃
です。
今。
世の中の過渡期と呼ばれる狭間に居るのかもしれません。
変化を嫌い、安住を求めすぎると、激動期には
判断を誤る可能性があるかもしれません。
今日の環境情報は？
今は昔、江戸の食生活は・・・
どのように食材を買っていたのでしょう？
魚介類は、しじみ、はまぐり、あさりなど貝は江戸の近海で獲れたものが
運ばれてきていましたが、イワシやサンマ、マグロなどの魚はときどき
夕食に出る程度だったようです。
その他食材では、ゆで卵、そば、おでん、大福もち、お汁粉なども
行商されていたようです。
真空の知恵 2008年09月18日
真空をシールする部分は、フランジ（継手）に限らず
バルブの弁体などのシールにまで及ぶ重要なものです。
実際のシール部分のガスケットやパッキンなどの種類に
よってその真空性能には差が出てまいります。超高真空
の場合ベーキングと低ガス放出速度という条件でガスケッ
トに無酸素銅などの金属を用います。限られた条件であれ
ばバイトンも十分に超高真空に耐えうるシール材でもありま
す。
バイトンはエラストマーカーとして変形している状態で１５０
℃まで加熱することが可能で、無負荷の状態で２００℃まで
の耐熱性能を有しております。それ以上の耐熱性を要求され
るときはポリイミド樹脂を使用します。
これらの樹脂は、３５０℃までのベークに耐えられますが、バ
イトンと比べると硬くエラストマーとして使用するにはシール部位
の工夫が必要となります。中真空ではＯリングや角リングが用い
られ、ネオプレンやバイトンが汎用性があります。
エラストマーとして利用するには、バイトンなどの性能は優秀で
繰り返しの使用にも不自由はありません。金属のガスケットの場
合原則的には毎回１回ごとに交換する必要があり、コストがかか
る要因でもあります。
真空部品、真空ポンプ、真空チャンバーの製作まで
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
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ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
９月１８日 木曜日
天気 曇りのち雨
ボンベ庫の温度 朝２３℃、昼２４℃、夜２５℃
です。
十月が近づき、人事異動の季節です。
そろそろ内示が聞こえてくるかな？
なんて気になる季節ですね。
今日の環境情報は？
今は昔、江戸の食生活は・・・
現代のような一日三食食べるようになたのは、元禄年間（１７００年ごろ）
以降のことで、それ以前は「朝菜夕菜」という言葉があるとおり、一日二食
が普通だったそうです。
また、江戸には寺子屋が１５００教室以上あり、成人男性の識字率も
約８割といわれております。
APC MFC/MFM (マスフローコントローラ) 2008年09月17日
高圧ガスのボンベには非常に高い圧力で気体のガスや液体の液化ガスが
充填されております。
特殊な例を除き、ボンベの中の非常に高い圧力のまま使用することは少なく
圧力調整器（レギュレーター）または減圧弁と呼ばれるスプリングの力を利用
して高い圧力を低く調圧する圧力制御機器を使用して、最終的に使用する最
適な圧力に調整します。
ところが、ガスボンベの中のガス残量が少なくなると、圧力制御機器は手動
設定型になりますので、調整圧力に対して出口圧力側もだんだんと低くなって
しまう傾向があります。
そんなガスボンベ圧力や、ガス配管などユーティリティーガスの圧力変動に
影響を受けずに自動で圧力調整できるのが、電子制御式の圧力コントロー
ラーです。
電子制御式圧力コントローラー
ポンプの出荷検査や性能試験に使用されることが多くありますのでトレーサビ
リティ付きの製品出荷が可能です。
また、圧力の範囲や差圧の条件が広く対応できます。
上記写真の仕様は、広範囲設定のため、センサーとバルブが別筐体になって
います。
電子制御式圧力コントローラーのことなら川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
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今日の埼玉川口のお天気は？
９月１７日水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２２℃、昼２８℃、夜２９℃
です。
Gas One サミットに参加し、竹中平蔵氏の講演を拝聴しました。
アメリカ発の不動産を端に発する不良債権化はリーマンに限らず
少なからずや経済に影響を及ぼすことを覚悟せずにはいられない
かも知れません。（上記コメントは非公式なものですのでご了承く
ださい）
今日の環境情報は？
今は昔、江戸時代の食生活は？
・昼ごはんが終わり、子どもはまた３時ごろ（ハツ時）まで寺子屋で
勉強をします。
・夕方、父親は家に帰った後銭湯へ行き、その間に母親が晩ご飯の
準備をします。
・晩御飯は、冷やご飯をお茶漬けにして漬物程度。時々、煮物や焼き魚
が付いたり、冬は味噌汁にご飯を入れておじやにしたりするぐらいです。
晩御飯の後は倹約するということもあり、早く休むのが普通だったようです。
ニュース 2008年09月16日
２００６年１月１日よりスタートした川口液化ケミカル株式会社
のサイト上にＵＰしました日刊ブログサイトが、本日１０００回目を
達成致しました。（パチパチパチ！！！！！！）
これもひとえに、ご愛読いただいている皆様のおかげです。
ありがとうございます。
感謝いたします。
日々何を書こうか？どうやって続けようか？意味があるのか？
などなど、悲喜交々思いながらもとりあえず続けられるだけ続け
ようとはじめたのが正直なところでした。
スタートをして数か月経過したころでしょうか？
「御社のホームページをみて○○○について教えてください」
そんなお問い合わせを、ある日突然いただきはじめると、徐々にサイト
を訪れる方の数が増えていき、今では一日に１０００人の来場者を数え
ました。
毎日更新している臨場感をお伝えするため、その日のリアルな出来
事を加えた「今日の埼玉のお天気は？」でボンベ庫の気温と天気を書
き込みし、その日のニュースをＵＰしたり、コメントもお恥ずかしながら、
その日思ったまま気付いたままを綴りました。
内容が少々専門的すぎる傾向はありますが、できるだけ実業に近い
情報をお伝えしてまいりたいと思います。
これからも忌憚ないご意見ご感想など
いただけますようよろしくお願い致します。
最後に、サイトの運営にご尽力いただいたＡ社増田様、Ｓ社
村松様、Ｂ社松本様、Ｈ社黒田様ほか関係各位様には並々
ならぬご配慮をいただきましたこと、重ね重ねお礼申し上げ
ます。
ありがとうございます
２００８年９月１６日
川口液化ケミカル株式会社
代表取締役 外塚 博圭
真空の知恵 2008年09月15日
真空を封止（シール）する方法はさまざまあります。
その中でもベローズシールは高真空から超高真空ま
での真空機器に採用されている汎用性の高いシール
方法です。
大気側と真空側とで作動軸が分離した超高真空用の
軸シール機構で、直線・回転機構などを伝達する方法と
して利用されています。Ｏリングシールのように一つの機
構で回転と直線２方向運動をすることはベローズシールに
は不可能です。
ベローズの材質はステンレス製であり、溶接ベローズと
成型ベローズの２種類があります。溶接ベローズは伸縮
方向のスパンが大きくとることができ柔らかな動作も可能
なので直線方向の導入機にりようされていますが、その構
造から価格が高価です。成型ベローズは溶接ベローズに比
べると伸縮スパンが小さいものの回転方向の運動には十分
なため回転導入機に利用されております。また、真空ポンプ
との接続用フレキホースとしても多用されています。
各種真空ベローズフレキホースや異形フランジタイプ、製作が
必要な特殊フレキシブルほーズなど川口液化ケミカル株式会社
までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
９月１５日 火曜日
天気 曇りのちはれ
気温 ２６℃（ＰＭ６：４０）
です。
日中、小学校のグラウンドに終日居りましたが
ずいぶんと過ごしやすくなりましたね！
夜になっても、まだまだ蒸し暑さを感じるものの
２０℃前半の気温も観測されるようになってきております。
今日の環境情報は？
今は昔、江戸時代の食生活は・・・
・寺子屋ではお昼には一度閉まるために子供たちは家に帰り
昼ごはんを母親と一緒に食べるのが普通だったようです。
お昼ごはんは、かまどの火をおこすのが手間であったため
朝炊いたご飯をお昼と夜に食べる生活が普通でした。
お昼ごはんは、ご飯、味噌汁、野菜の煮物程度だったようです。
