真空の知恵 2008年09月14日
回転運動軸専用のシール方法で、作動軸が真空側と大気側
共通であるので高真空用ですが、ベーキングはできません。
この機構の気密を保っているのは磁性粉末（Fe3O4）が入った
真空用溶媒の磁性流体によるもので、この機構は、作動軸と軸
ガイド（固定部）との間に溶媒による接触のため駆動抵抗が極め
て少なく、高速回転から逆に精密に制御された低速回転での適
用も可能です。
国内メーカーではフェローテック社やリガク社、その他後発ﾒｰｶｰ
もあります。
磁性流体シールは、真空中におけるゴミの発生が非常に少なく
Ｏリングシールが摩耗によってゴミを発生することを考えると有利で
あり、ウエハープロセスの回転導入機構に応用されています。
各社磁気シールのご用命、コストダウン機種のご相談など
川口液化ケミカル株式会社までお電話ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日のさいたまのお天気は？
９月１４日 日曜日
天気 はれ
気温 ２７℃（PM6:50）
です。
埼玉県北部で有機栽培をしているお米の収穫をして参りました。
今年のお米は豊作です！！！
雷がたくさんあると豊作になるのだとか・・・。
不思議ですね〜〜〜。
今日の環境情報は？
今は昔、江戸時代の食生活は・・・
・朝ごはんが終わると、子どもは寺子屋へ、大工など外の仕事場がある
父親は出かけていきます。父親のお昼ご飯は弁当を持っていくことも
ありましたが、屋台などがたくさんあったため、外でお昼ご飯を取る人も
多かったようです。
真空の知恵 2008年09月13日
真空ポンプで排気した（真空引き）容器は、漏れがない限り
いつまでも真空度が良くなっていくはずですが、実際にはそう
はいきませんよね・・・。
皆さんご存じのとおり、真空容器の漏れをゼロにすることは
不可能ですよね？
であれば、極力少なくする（ゼロに近づける）ことが必要ですし
容器以外にも回転・直線・５軸６軸などの導入器を大気側から
駆動させる部位や電気信号・電源供給のための真空封止（気
密）をいかに保つかが大きなポイントになります。
そこで代表的な真空のシールを挙げてみましょう！
先ず、固定部分のシールは
・アルゴンアーク溶接（ＴＩＧ）
・真空ブレージング（ロー付け）
・半田付け（ガスロー付け）
・ガラス熔着
・セラミック封止
などと、脱着可能なフランジ部の
・Ｏリングシール
・メタルシール
・耐熱シール
などがあります。
可動部の軸シール部では
・ウイルソンシール
・Ｏリングシール
・ベローズシール
・磁気カップリング
・磁性流体シール
などがあります。
それぞれ利点・欠点を補いながら各部位ごとに
施工方法を選定することが大切です。
真空チャンバー、真空排気ポンプ、真空リーク検査など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
９月１３日 土曜日
天気 はれ
気温 ２７℃
です。
京都龍安寺に水戸光圀が寄進知した 「足の蹲踞（ちそくのつくばい）」
があります。蹲の上部の水が溜まる四角い部分を漢字の口として周りに
彫ってある字を、上から右、左、下に読むと「吾唯知足：われただたるをしる」
と読めます。
「幸せ」の根源とは？
ただ いまの状態を受け入れて 満足すること。
それだけで一瞬にして「幸せ」になれる。
あれも足りない これも足りないといっていると
決して 「幸せ」を感じることはできない。
逆に いま この状況を「幸せ」って思うことができれば
いま この瞬間に一瞬にして「幸せ」になれるという仕組み。
「幸せ」とは 求めて何かを手に入れることではない。
いま目の前にある現象 起こっている現象に対して
私が 幸せと思えば それが「幸せ」。
今日の環境情報は？
今は昔、江戸の食生活は・・・
・夜明け(明け六つ）と同時に長屋の入口にある木戸が開けられ
一日が始まります。母親が起き竈に火を入れご飯を炊きます。
朝は炊きあがったご飯とみそ汁、漬物。
生活に余裕があると納豆や煮豆などがおかずに食卓に並んだようです。
真空の知恵 2008年09月12日
真空には真空度が異なることで使用できる規格フランジや
ポンプ、チャンバー構造なども違ってまいります。
例えば・・・
中真空の １０ -5Pa 領域ですと、許容リークは １０ -7Pa m3/sec
で真空機器のベーキングがせいぜい７０℃までで十分な世界なので
使用できる素材は、金属ですと「軟鋼、電気鋼、アルミニウム、高融点
金属（Ti,Ta,W）」などになります。非金属材料では「ﾈｵﾌﾟﾚﾝｺﾞﾑ、ﾃﾌﾛﾝ
ﾊﾟｲﾚｯｸｽｶﾞﾗｽ、ｺﾊﾟｰﾙｶﾞﾗｽ、ｱﾙﾐﾅｾﾗﾐｯｸｽ、真空ｸﾞﾘｰｽ」などが使用でき
る環境です。
これに対し、超高真空領域は １０ -9Pa になり、許容リークの数値も
１０ -11Pa m3/sec ベーキングが２００〜２５０℃の長時間ベークが必要
です。温度が高いということは、おのずと使用できる金属もステンレス
（SUS304,316）、アルミニウム、無酸素銅、高融点金属（Ti,Ta,W）コバール
合金などで、非金属もバイトン、ポリイミド、コバールガラス、ｱﾙﾐﾅｾﾗﾐｯｸｽ
とガス放出速度を重点に選定した素材となっています。
真空機器、真空チャンバー、真空漏れなどのリーク検査など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の川口のお天気は？
９月１２日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２３℃、昼２９℃、夜３０℃
です。
九月に入ってからの夏のような陽気は、どこか夏の終わりを告げる
寂しさのような印象をごくごく僅かにですが感じさせます。
季節の変化が日本の風土の素晴らしさのひとつですしね！
今日の環境情報は？
小学３年生の子供に質問されました。
「エコ（ECO）ってなあに？＿それに何すればいいのかな？」
ギクリときますよね。
周りのすべてのものに優しいことかな？
無駄使いをなくすことかな？
などなどと答えましたが、正解は・・・。
ははは。
LN2 (液体窒素) 2008年09月11日
液体窒素容器（１０７ｍ3）通称ＬＧＣ（大陽日酸名：ＥＬＦ）の
集合装置（マニホールド）は、液体窒素の-196℃の低温を
出来るだけ冷熱エネルギーをロス（放熱）させずに利用する
装置や容器まで供給するには、真空二重配管などを組込ん
だ集合装置にしたほうが、液化ガスの使用量を少なくするこ
とができます。
真空二重管製マニホールド
真空二重配管は、断熱効率よく液体窒素をユーズポイントに
運ぶ最良の輸送手段です。
液体窒素に関する機器、容器、供給設備、液体窒素用配管
のことなら川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口市のお天気は？
９月１１日 木曜日
天気 曇りのち雨
ボンベ庫の温度 昼２４℃、夜２５℃
です。
夕方の雨は、また集中豪雨のようでしたね。
それにしても朝夕涼しくて気持ちが良いので
朝寝坊注意ですね！
今日の環境情報は？
できることからはじめましょう！
・できるだけ地元の食材を選ぼう
・有機農産物などを直産で手に入れよう
・加工した食品を買わないように心がけよう
家庭菜園や援農をはじめてみよう
MFC/MFM (マスフローコントローラ) 2008年09月10日
高圧ガスには様々なガス種があり、それぞれ物性も異なります。
その中でもガス機器や配管を腐食させてしまう性質を持つ腐食性ガスは対応
機種が限られ、機種選定の際にも注意が必要なガスになります。
その腐食性ガスであり、尚且つ低べーパープレッシャーライン特性を持つガス
のハンドリングは更に難しくなります。そうしたガスの場合、その特性からべー
パーの状態を維持するための元圧を十分に採ることができませんし、ユースポ
イントで必要な圧力を確保するために出来るだけ上流側で圧力が下がってしま
うような要因、いわゆる「圧損」の原因を避けたいものです。
そのような環境、ガスハンドリングを求められるニーズに合致する最適な
「マスフローメータおよびマスフローコントローラ LOW-ΔP-FLOW」 があります！
※ブロンコスト・ハイテック社製
特許の層流素子を採用し 2ln/min の流量まで、なんと！！
圧損が 1hPa (1mbar) 以下で計測可能で
大流量の場合でも最大圧損は 15hPa (15mbar) 以下
という優れものです！！
このシリーズでは、マスフローメーターとして 0…10mln/min から 0…1000m3n/h
の流量計測範囲でご利用が可能です。
マスフローコントローラの場合には、通常調節弁が必要になりますが、この調節弁で
適切な圧損を食わすことによって制御性を高めていますが、これらのガスへはこの
論理は当てはまりません。 なぜならば圧損を出来るだけ食わせたくないからです。
この相反する要求を満たす調節弁が圧力補償型ベローズ調節弁です。
調節弁前後（1次/2次圧）の圧損が 1hPa(1mbar) 程度で動作するよう
ベローズで補償しています。
計測・制御範囲は 0.2…10mln/min から 4…200ln/min までになります。
※それより大きい流量の場合には御相談ください。
左から「ｿｰｽﾀﾝｸ」 「気化器」 「IP65（防塵・防滴型）低圧損型ＭＦＣ」 「ﾕｰｽﾎﾟｲﾝﾄ」
適用ｶﾞｽ ： H2S, H3Se, NH3, AsH3, C4H8, CO2, SiH2CL2,HCl, SF6, Xe、その他
ラボラトリータイプ低圧損型マスフローコントローラー
IP65（防塵・防滴型）大流量マスフローメーター
IP65（防塵・防滴型）ウエファータイプマスフローメーター
IP65（防塵・防滴型）ベローズ調節弁
低差圧、腐食対応、高圧ｶﾞｽ申請仕様（1MPa以上）、液体MFC・MFMまで
特殊仕様のﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰやﾏｽﾌﾛｰﾒｰﾀｰのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の川口のお天気は？
9月10日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝21℃、昼27℃、夜25℃
です。
今日のお天気はとっても晴々して清々しかったですね！！
外に出て、ふわふわ浮かぶ雲を見ながら車の運転してると
空に飛べそうな気がしました。（はっはっは！）
今日の環境情報は？
「広告戦略十訓」を逆にすると痛快です。
環境を守ろうとする私たちは、この「環境戦略十訓」をどうでしょう！
・大切に使う
・捨てない
・無駄使いしない
・季節を忘れない
・贈り物をしない
・単品、バラ売りで買う
・だまされない
・流行を追わない
・気安く買わない
・混乱に巻き込まれない
商品紹介 2008年09月09日
半導体関連装置設計製作やウェハ検査装置、各種ローダ
・アンローダ、工作機械設計製作、各種自動化装置設計製作
各種検査装置、各種組立装置など
具体的な装置名
・コネクター締め付け機
・フレーム検査機装置
・ネジ締め装置用冶具
・基盤反転
・ロータリー式検査機
・搬送コンベア
・搬送付きキュア炉
・面取り機
・凹凸検査機
・測定機
・ワーク整列装置
・ワーク面取り機
・プローバー
・ローラー外径測定器
・ワーク移載装置
など
株式会社メガテック
代表取締役 荻野 道夫 氏
Tel 048-866-5271
ガスに係わる自動機、実験機、バッチ処理装置など
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今日の埼玉のお天気は？
9月9日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝22℃、昼27℃、夜29℃
です。
昨晩から今朝にかけて、網戸を開けて寝てましたら
夜中に涼しさを通り越し寒くて、朝になったら鼻水に
なってました。
気候の変化に気を付けたいと思います。
今日の環境情報は？
７０年代に大手広告代理店が大量消費、大量廃棄、使い捨て
の社会をリードするために提唱した「広告戦略１０訓」なるものがあります。
・もっと使わせろ
・捨てさせろ
・無駄遣いさせろ
・季節を忘れさせろ
・贈り物をさせろ
・組み合わせで買わせろ
・きっかけを投じろ
・流行を遅れさせろ
・気安く買わせろ
・混乱を作り出せ
・・・。
真空の知恵 2008年09月08日
薄い約25μmの金属膜（稀にセラミック膜）が圧力を受けてたわむ量を
測定して圧力を算定することができ、気体の種類を問わず圧力そのもの
を直接計測できるのが特徴です。
金属で仕切られた2室の一方を充分低い圧力にしておき他の部屋に
測定したい圧力状態を直結すると、金属膜のたわみ量は、それが低い圧
力を計測するときは特に非常に微小となります。このため電気的にその
たわみ量を測定するため金属膜と固定電極との間の静電容量変化を正確
に知る方法がとられております。
ダイヤフラム真空計の測定可能範囲は１０ 5〜１０ -3 Pa と８桁のダイナ
ミックレンジがあるように見えるが、１種類のセンサーでは５桁のダイナミッ
クレンジに限られます。このため３種類のセンサーを組み合わせてはじめて
８桁の測定レンジを拡大できます。真空領域に応じ選択しなければなりま
せん。
真空計、真空排気セット、真空チャンバーのご用命ご相談は
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の川口のお天気は？
９月８日 月曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２４℃、昼28℃、夜30℃
です。
夜、涼しくなりましたね。
クーラーをつけずに窓を開けているご自宅が
散歩をしている公道から目につくようになりました。
今日の環境情報は？
生態系の変化を引き起こした原因は？
1950年から2000年の間に世界の経済は7倍（五兆ドル→３７兆ドル）
になり、一人ひとりの生活様式も変化しました。
・米や芋中心の食生活から、肉、野菜、果実など、より土地や水などが必要な食生活へ
・工業製品などの消費の増加は、森林や畑、自然海岸を工業地帯へ
結果として、自然、生態系を破壊しました。
真空の知恵 2008年09月07日
ペニング真空計は昨日までご紹介していた電離真空計の仲間
ですが、フィラメントからの熱電子を利用せずにガスをイオン化し
ペニング放電を利用してその放電電流を計測することにより放電
電流と圧力がある圧力範囲ではほぼ比例することを利用したもの
です。
円筒型かリング状のアノードの両側にカソードが配置され、アノー
ドの中心軸に平行方向の磁力線を発生させる永久磁石があります。
アノードとカソードの間には約２ｋＶの直流電圧が印加され、磁場の
強さは約０．１テスラ程度です。アノードの内径は、この印加電圧と
磁場の強さから決まる電子の回路運動によりイオン化効率が高まっ
てその結果として放電が持続すると１〜１０ -5Pa の間でほぼ圧力に
比例します。
ペニング真空計は構造が簡単で丈夫です。これは熱陰極を持た
ないのでフィラメントの断線や各電極の位置のずれなどトラブルが
無いことによるものです。
ペニング真空計、電離真空計、ピラニ真空計など真空機器と
真空チャンバーの製作、増設、修理など川口液化ケミカル株式会社
までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
９月７日 日曜日
天気 はれのち夜になって雨
気温 ２７℃（PM8:00）
です。
オリンピックが終わり、早速サッカーワールドカップの
アジア予選がバーレーンと行われ見事勝利しました！
中村俊介のフリーキックは周知のことですが、ワールドクラスですね！！
今日の環境情報は？
生態系が変化を引き起こした原因は？
１９６０年から２０００年の間に人口は倍増（３０億→６０億）し
食料の需要増に応じて森林などを農地化し地球の陸地の
４分の１が農地になりました。
→食料の生産量２．５倍、水の使用量２倍、木材の伐採量３倍
真空の知恵 2008年09月06日
電離真空計のガラス球内面に帯電して不安定性が発生する
現象を無くしたのが、ヌード型と呼ばれ１０ -8 〜 -9 Pa まで
測定できるものです。ゲージヘッドがチャンバー内部にまで
入り込んでいるので超高真空機器をベーキング処理する際
にはそのまま一緒にベークすることができるので便利です。
ヌード型に２種類あり、一つ目はB-Aゲージのグリッド中に
もうひとつの針状の電極を追加して変調用電極として使用し
X線による光電子電流とイオン電流を区別する方法です。モ
ジュレーターをグリッド電位とアース電位に切り替えて、イオ
ンコレクター電流を読むとX線効果を含む残留電流（真空中の
ガスのイオン電流以外のコレクタ電流）を分離できます。二つ
目は、イオンコレクターをX線の照射がない位置まで移動させ
引き込み電極でイオンをコレクターまで導くものです。イオンは
デフレクターで偏向されイオンコレクターに入ります。このため
グリッドより発生するX線はイオンコレクターには到達しにくく、
尚且つそのＸ線がデフレクターなどより発生させる光電子はサ
プレッサーによってイオンコレクターへの入射が阻止されること
で １０ -10 Pa 台を安定して測定できるのがエクストラクター型
と呼ばれるものです。
高真空及び超高真空用ゲージやチャンバー製作、改造、駆動系
のご相談など川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
９月６日 土曜日
天気 はれ
気温 ２９℃（PM7:00）
です。
おもちゃの話で恐縮です。
「ヘリＱ」ってご存知ですか？
チョロＱという小型リモコンカーのヘリコプター版です。
３０００円以下で買える大人にも楽しめるおもちゃです。
部屋の中を自由自在にブンブン飛び回れる優れものです。
お試しあれ！
今日の環境情報は？
地球の生態系は今・・・
・漁獲量の低下は、途上国でのタンパク質の減少を引き起こしています。
→一人当たりの魚の消費量は途上国を中心に減少しています。
・砂漠化の拡大は、乾燥地に住む貧しい人々数百万人の生活に影響しています。
真空の知恵 2008年09月05日
昨日に引き続き電離真空計の続きです。
電離真空計は高真空や超高真空で計測できる真空計です。
精度や再現性を高める機能として真空計自体でアノードやイオ
ンコレクターを電子衝撃などで加熱し、ガス出しを行うことができ
ます。
Bayard と Alpert により開発された B-Aゲージは1本の細いイ
オンコレクターが軟X線の照射される確率を 1/1000 以下にする
ことができ、このため圧力測定の下限も 1/1000 以下となり 10 -8
〜 10 -9 Pa まで計測できるのです。B-A ゲージでは、ガラス球の
外壁を絶縁されたガラス表面の電位によって電子軌道の不安定性
がみられるため導電性物質をコーティングしています。
真空計、真空排気セット、真空配管、真空チャンバー（SUS製、アルミ製
非磁性：ミューメタル製）など各種真空機器のご相談のことなら
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今日の埼玉川口のお天気は？
9月5日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝25℃、昼28℃、夜29℃
です。
今日はめずらしく天気予報が外れたようです。
夕方にかけ雨になる予報でしたが、夕方になっても
ギラギラ太陽が照りつけてましたね！
今日の環境情報は？
地球の生態系は、特に貧困地域でその影響が大きく現われており
不平等が拡大しています。
ダムの開発などで人間が利用できる水は増加しているにもかかわらず
世界全体で１０〜２０億人は、水不足による不健康状態や食糧不足など
で苦しんでいます。
