SEM･TEM･FIB 周辺機器
ＳＥＭ／ＴＥＭ／ＦＩＢ周辺機器のご紹介です。
ﾓｼﾞｭﾗｰｺｰﾃｨﾝｸﾞｼｽﾃﾑ Q150Tseries by 英国ｴﾐﾃｯｸ社製
FE-SEM アプリケーションに適した高性能超微細コーティングシステムです。
高真空排気に70L/sec 空冷ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟを搭載し、すべてのコンポーネント
を頑丈なモールドケースの中に納めました。自動流量調整器により選択可能な
最適コーティング環境を作り出します。コーティング後の真空保持機能、膜圧計
による膜圧制御が可能です。交換可能なヘッド部をお選びいただくことで、スパ
ッタコーティング、カーボンおよびメタルエバポレーションが行えます。
高性能 Cryo-SEM 装置 PP3000T by 英国ﾎﾟﾗﾛﾝ社製
液体を含む試料や電子ビームダメージを受けやすい試料を凍結させSEM観察
を行う装置です。精密なガス流量調整機能やCryo-SEM に最も必要な温度コント
ロール機能を重要視した設計がなされています。試料をより自然の状態に保ちSEM
観察を行うPP3000T装置は動植物、医療、食材、ポリマー、塗装、温度上昇に敏感
な半導体材料などの測定に活用されています。
ｶﾞｽｲﾝｼﾞｪｸｼｮﾝｼｽﾃﾑ OmniGIS by 米国Omniprobe社製
OmniGISは、FIB装置、電子顕微鏡や真空装置の最新ガスインジェクションシス
テムです。主なアプリケーションは真空装置内でのALDアプリケーション、SAMS
アプリケーション、ガス導入による表面状態観察、Ptデポジション、Wデポジション、
SiO2デポジション、Cデポジション、ナノリソグラフィーなど。
SEM Picolndenter PI85 by 米国HYSITRON社製
SEM装置内でナノメカニカル試験の直接観察を可能にした世界初の完全独立
型深さセンシングインジケーター装置です。試料の変形や破壊といった機械特性
の過程の測定が行えます。この画期的な能力によりナノインテグレーション中の
マイクロストラクチャーのより進化した研究を可能にします。
電子検出器 Generation5 by 英国KEﾃﾞﾍﾞﾛｯﾌﾟﾒﾝﾂ社製
STEM検出器は明視野、暗視野イメージを表示します。BSD検出器では、優れた
解像度0.1Z(Z=30にて)で４分割検出器、ブロードバンドTVオペレーション、低ノイズ
スロースキャン、その他プローブカレントメーター、IRチェンバースコープなどです。
真空マイクロウェーブプロセッサー H2850 by 英国ｴﾐﾃｯｸ社製
±0.5℃の温度制御で、真空排気及びガス導入が可能な多目的真空・ガスポート
を搭載し、40通りのプログラム処理の登録が可能です。主なアプリケーションは、着
色、攪拌、脱泡、硬化です。
ﾏｸﾞﾈﾃｨｯｸﾌｨｰﾙﾄﾞｷｬﾝｾﾘﾝｸﾞｼｽﾃﾑ SYSTEM SC22 by SPICER CONSULTING社製
電子線を使用する装置周辺を安定した磁場環境に保つ磁場遮断装置です。
ACフィールドのモニター及び遮蔽、ローコスト、ハイパフォーマンス、自動化された
遮蔽条件設定、0.5Hz～5kHzのACフィールドに対応、3軸(X,Y,Z)フィールドモニター
ｸﾘｽﾀﾙ・ｺｰﾙﾄﾞｶｿｰﾄﾞｺﾝﾋﾞﾈｰｼｮﾝｹﾞｰｼﾞ CC-10 by 東京電子製
CC-10は、最新のセンサー技術を取り入れ12桁の圧力範囲（1.0×10-7Pa～
1.0×105）の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。
大気圧から1Paまでは、クリスタルゲージ、1Paから10-7まではｺｰﾙﾄﾞｶｿｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
を使用し測定します。センサー、回路部、ディスプレー一体型により、本製品のみで圧
力表示、セットポイントによるシステム制御が行えます。また、CC-10は、デジタル通信
RS485を標準装備し、欧州規格EN(CE)に対応しております。CC-10はRoHS規格に
準拠した環境に優しい製品です。
小型プローブカレントメーター PCM by 英国ﾃﾞﾍﾞﾛｯﾌﾟﾒﾝﾂ社製
電池駆動式でピコアンペア測定が可能です。サイズ130mm(W)x70mm(H)x115mm(D)
内蔵電池単三ｱﾙｶﾘ電池4本、1pA～2μAを5レンジ 誤差±2～5%(f.s)で3.5桁表示します。
自動ゼロ点調整（残差25℃にて5pA以内、100μA以上の過電流にも耐える入力設計です。
ガス・真空・低温を利用したオーダーメイド機器の設計、製作、改造、修理まで
川口液化ケミカル株式会社へご連絡ください。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
9月2日 木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝30℃、昼34℃
です。
「貧乏と、屈辱と、嘲笑と、そして明日の望みのなくなったときこそ
初めて我々は人生に触れるのだ」
「人間は調子のいいときは、自分のことしか考えないものだ。
自分に不運がまわってきて、人にも世間にも捨てられ、その日その日の
苦労をするようになると、はじめて他人のことも考え、見るもの聞くものが
身に滲みるようになる」
山本周五郎著 柳橋物語より
ｂｙ との