ガス・真空などにまつわる様々な事をお伝えいたします。
ＲＩＥ（リアクティブイオンエッチング）は、電極の上のシリコン
基板低真空で接地させた対極との間にグロー放電を発生させ
放電下でＣＦ４やＣＣｌ４などのような反応ガスを導入します。
このガスをイオン化させともに加速させ基板上に衝突させ、
表面をエッチングするものです。特徴は異方性エッチング（縦と
横のエッチング速度が異なる）などで微細化に有効です。
高圧ガス・真空・低温ガスのことなら
川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
3月24日
天気 雨のち曇り
ボンベ庫の温度 昼8℃、夜9℃
です。
カンブリア宮殿で営業の極意のについて放映してました。
「失敗を繰り返し、次こそはなんとか！」
という想いがひとつのポイントだとか。
シリコン半導体の加工工程5回目のお知らせです。
ＣＶＤ工程は、ケミカルベーパーデポジションの略で特殊材料ガスを
利用し、シリコンウェハ表面近くで化学反応を行い、基板上に薄膜を
形成します。薄膜は酸化膜などの絶縁膜や半導体膜、金属膜などが
あります。エピタキシャル成長膜が高温による処理なのに比べ、多結
晶シリコン膜でも600〜700℃で、一般的には400℃前後で低温反応
なのが特徴です。この反応にはエネルギーが必要で、一般には熱を
利用し、放電プラズマの併用や光エネルギーなども利用されております。
酸化膜では酸素を利用し、窒化膜ではアンモニアなどを利用し反応させ
形成させます。
特殊材料ガス、酸素ガス、アンモニアガスなど
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談
ください。
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今日の埼玉のお天気は？
3月24日
天気 はれ
気温 11℃
です。
ＮＨＫ大河ドラマで篤姫が薩摩から京へ旅立ちましたね。
「あなたらくし、元気であれば、それでよい。」
多くを望むのでなく、元気が一番ということですね。
シリコン半導体の加工工程の4回目でイオン注入工程です。
不純物の導入には拡散法とイオン注入法があります。高精度
で導入する場合や薄膜を介しての導入に多用されています。
イオン注入法ではドーピング物質を高真空の中でイオン化して
これを高電界で加速させ、シリコンウエハ（基板）に注入するもの
で、イオン化性と制御性に特殊材料ガス（BF3,PH3など）が利用
されます。不要なイオンは注入されないように磁界で質量分離
させるのです。ｶﾞｽ供給源からイオン源を介し質量分離部、加速器
走査部を経て注入部であるウエハにイオンを注入します。
高真空部の真空排気系ポンプの更新やメンテナンス、ＤＲＹポンプ
ＣＲＹＯポンプへのドライ化など川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
3月22日
天気 はれ
気温 9℃
です。
桑田選手がパイレーツで開幕を迎えられるかどうか
凌ぎを削り残る投手枠競争をしているそうです。
肘と同じように整形手術のジョーブ博士に足首を
施術してもらったお陰で傷の痛みを癒えて、39歳の今
本気で野球を出来る境遇を楽しんでいるとのコメントが
ありました。
素晴らしいネバーギブアップ精神ですね。
シリコン半導体の加工工程シリーズ3回目の拡散工程です。
シリコンウエハ（通称：ウエハ）を８００℃から１２００℃の高温
で加熱し所要のドーピング物質（不純物、通称：ドーパント）を含
んだ雰囲気にすると、不純物が熱拡散によってウエハの表面か
ら内部に浸み込みます。
ウエハ中の不純物濃度以上に電気的に反対（Ｐ／ｎ型）の不
純物が浸み込むと、ウエハ表面近くに接合層と呼ばれる部分が
できます。これが電気的整流作用の原因となります。ドーピング
物質にオキシ塩化リンなどと共にホスフィンやジボランなどの特殊
ガスが利用されます。
特殊ガス、特殊ガス供給設備、特殊ガス用マスフロコントローラー
など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
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今日の埼玉川口のお天気は？
３月２１日
天気 雨のち曇り
ボンベ庫の温度 朝７℃、昼１０℃、夜１３℃
です。
夜の月が薄い雲の隙間からぼんやりと見え
月光が霞んで不思議な絵になってました。
満月ではないのですがまん丸で明るい月でした。
シリコン半導体の加工工程シリーズの２回目で
エピタキシャル気相成長工程についてです。
通称「エピ」などと呼ばれシリコン単結晶の基板
上と同一結晶方位でかつ所望のドーピング濃度の
単結晶薄層を形成させる工程です。
ケイ素をコートしたグラファイト板の基板に乗せて
この基板を高周波で加熱し、基板を局部的に加熱
した状態で特殊材料ガスを流入させ基板表面で気
相反応と熱分解などを行い、その生成物を基板上
に連続的に単結晶層として堆積させるものです。
SiH4,SiH2Cl2,SiCl4,H2,B2H6,PH3 などのガスを
利用します。
特殊ガス、特殊ガスレギュレーター、特殊ガス用
バルブ、特殊ガス配管工事など
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今日の埼玉のお天気は？
３月２０日
天気 あめ
気温 ８℃
です。
暖かい気温が今日はグッと冷え込んで
日中１０℃を下回ってます。
ＮＨＫのテレビで異常気象や地球温暖化が
起因すると見られる日本の自然の変化が数多く
実例を交え報告されています。
寒いときに寒くないことで、大きなサイクルが
徐々に壊れ始めているようです。
できることを「今」はじめましょう、がキーワードでした。
ガスを伴う半導体の分野で工程ごとにお知らせします。
本日は、「単結晶工程」です。
半導体素子に使用するために、シリコン多結晶を単結晶
にします。単結晶化にはチョクラルスキー（ＣＺ）法と浮遊帯
域（ＦＺ）法とがあります。そのうちの浮遊帯域法はシャフト
状の多結晶棒の端部から高周波加熱して加熱部を移動さ
せ単結晶化させます。この結晶成長時にＰＨ３（ホスフィン）
やＢ２Ｈ６（ジボラン）を微量流し多結晶を所望の抵抗値を持
つＰ型あるいはＮ型半導体にします。加熱部はシリコンの融
点である１４１４℃付近となっており、ドーピングに微量の特
殊材料ガスが用いられております。
特殊ガス、特殊ガス機器、特殊ガス配管のことなら
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今日の埼玉のお天気は？
３月１９日
天気 曇りのち雨
ボンベ庫の温度 昼１２℃、夜１３℃
です。
雨が降ると植物がうれしがっているような気がします。
もちろん社会生活をしている突然の雨や予期せぬ降雨
は傘がなくて困ったり感じてしまいがちですが、本来は
必然なものですよね。
高圧ガスを製造する事業所はその条件により許認可の
条件をクリアーした上で設備を整え高圧ガスを利用する
定めとなっております。それでは法律から政令の該当する
部署を列記します。
第二章 事業
第五条（製造の許可等）
次の各号の一に該当する者は、事業所ごとに、都道府県
知事の許可を受けなければならない。
第一項第一号
圧縮、液化その他の方法で処理することができるガスの
容積(温度０度、圧力０パスカルの状態に換算した容積をいう。
以下の同じ。）が１日１００立方メートル（当該ガスが政令で
定めるガスの種類に該当するものである場合にあたっては、
当該政令で定めるガスガスの種類ごとに１００立方メートルを
超える政令で定める値）以上である設備（第五十六条の七第二項
の認定を受けた設備を除く。）を使用して高圧ガスの製造
（容器に充填することを含む。以下に同じ。）をしようとする者
（冷凍（冷凍設備を使用してする暖房を含む。以下に同じ。）の
ため高圧ガスの製造をしようとする者及び液化石油ガスの保安
の確保及び取引の適正化に関する法律（昭和四十二年法律第
百四十九号。以下「液化石油ガス法」という。）第二条第四項の
供給設備に同条第一項の液化石油ガスを充填しようとする者
を除く。）
以上。
ガスの種類によりますが１００ｍ３／ｄａｙ以上高圧ガスを処理する
能力を有する設備の場合、許可を必要とします。次に上記法律を
補完する政令を見てみましょう。
高圧ガス保安法施行令
第三条（法令で定めるガスの種類等）
法第五条第一項第一号の政令で定めるガスの種類は、一の事業所
において次の表の左欄に掲げるガスに係る高圧ガスの製造をしようと
する場合における同欄に掲げるガスとし、同号の政令で定める値は、
同欄に掲げるガスの種類に応じ、それぞれ同表の右に掲げるとおりとする。
ガスの種類（左欄） 値
１、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン ３００立方メートル
キセノン、ラドン、窒素、二酸化炭素、フル
オロカーボン（可燃性のものを除く。）又は
空気(以下「第一種ガス」という。）
２、第一種ガス及びそれ以外のガス １００立方メートルを超え３００
立方メートル以下の範囲内に
おいて経済産業省で定める値
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今日の埼玉のお天気は？
３月１８日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１１℃、昼１５℃、夜１４℃
です。
なにごともないことがどれだけ幸せなことか？
あたりまえに生活できることがどれだけ特別なことか？
さしあたり衣食住に困っていないことがどれだけ幸せなことか？
目が見え、耳が聞こえ、しゃべることができ、歩くことができる。
そうしたあたりまえの日常が、奇跡の連続だと気付くのは
そうしたあたりまえが崩れたときなのです。
毎日を大事にしましょう！
高圧ガスはその圧力に反比例し、温度に比例します。
例えば・・・
４７Ｌ容器で温度３５℃、１４．７ＭＰａの圧力があったとします。
これが温度１００℃になった場合、圧力はいくつになるでしょう？
※高圧ガス保安法では、容器を４０℃以上にしないよう管理する
ことが厳しく定められております。圧力・温度・容積のボイルシャルル
の法則による計算式例です。
実際に加熱する場合、違法行為となりますのでご注意ください。
当然ながら圧力は上昇します。その答えは １７．９ＭＰａ です。
その計算方法は？
１４．８ ＭＰａ x 47L／（273K + 35℃ ） ＝ Ｐ MPａ x 47L／（273K + 100℃）
Ｐ = １７．９ＭＰａ （abs） = １７．８ ＭＰａ （ｹﾞｰｼﾞ圧）
となります。
真夏の直射日光に曝されるとボンベ内圧が上昇し
安全弁が吹き出す炭酸ガスなどはその典型ですね。
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今日の埼玉のお天気は？
３月１７日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１１℃、昼１４℃
です。
パソコンを操作して株を売り買いしたり、銀行の
入出金を自由にできる時代です。
音楽をダウンロードしたり、遠隔地の映像をリアルタイム
で見たり、保存した映像を皆が共有して見ることができます。
数十年前では考えられない素晴らしい時代ですよね！
高圧ガス保安法
第一章 総則
第一条(目的）
この法律は、高圧ガスによる災害を防止するため、高圧ガスの
製造、貯蔵、販売、移動その他の取扱及び消費並びに容器の製
造及び取扱を規制するとともに、民間事業者及び高圧ガス保安協
会による高圧ガスの保安に関する自主的な活動を促進し、もって
公共の安全を確保することを目的とする。
なんでこの法律が存在するのか？
何にをこの法律は求めているのか？
その根本がこの目的に明記されています。
条文の文中、「災害」を防止するためとしています。次に高圧ガスの
「製造」とは世に言う「生産」を意味する製造のことではなく状態を変化
させることを製造としていることが高圧ガス保安法の大きな特徴です。
また、「移動」についても世の中で言う「運搬」とは表現しません。ボン
ベにしても大型のタンクにしてもそれが地上を移動することができる行
為を移動としています。
「製造」「貯蔵」「販売」「移動」「その他の取扱」「消費」「容器の製造」
「容器の取扱」について「規制」をすることがはっきりと示されています。
次に平成９年に法律が「高圧ガス取締法」から「高圧ガス保安法」へと
改定されたもっとも大きな変化である、自主保安・自分の責任とも言える
「民間事業者」及び高圧ガス保安協会による高圧ガスの保安に関する
自主的な活動を促進し
という表現に反映されています。それまでの取締法では他の法律１６種
の取締法から高圧ガスを除外し、「保安法」とすることで、それまで事故が
あるから取り締まる考え方が、事故がないよう自主的な保安を重視する
考え方に大幅に変更したことが示され、「自主的な活動」と促進することを
求めているのです。
最終目的として、「公共の安全を確保する」ことを掲げているのです。
高圧ガス・高圧ガス設備・高圧ガス配管工事など
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今日の埼玉のお天気は？
３月１５日
天気 はれ
気温 １７℃
です。
春の季節を満喫しました。
犬のシャンプーもできるくらい
（犬も寒くないくらい）
暖かな陽気ですよね！
液化ガスは極めて温度が低く、液化ガスの流れている配管に
触れると凍傷になる危険があります。温度が低いからこそ常温
の配管に液化ガスがバルブとバルブの間などに閉じ込められる
と気化したガスのボリュームが数百倍に増えて数十メガパスカル
の圧力まで上昇し、破裂や破断の可能性があります。ガスの種
類により気化した場合の容量の増加には差があります。
それでは液体１Ｌが気化した場合の容量は？
水 １６７０Ｌ （100℃）
Ｏ２ ７９９Ｌ （ 0℃）
Ｎ２ ６４６Ｌ （ 0℃）
Ａｒ ７８４Ｌ （ 0℃）
ＣＯ２ ５２１Ｌ （ 0℃）
Ｈ２ ７９０Ｌ （ 0℃）
Ｈｅ ６９９Ｌ （ 0℃）
概ね５００〜８００倍に膨れ上がるわけです。
液化ガスの取り扱いにはご注意ください。
液化ガス、液化ガス容器、液化ガス用配管など
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今日の埼玉のお天気は？
3月15日
天気 はれ
気温 １３℃
です。
学校が卒業式の時期を迎えて、街中でも
ハイカラさんのような女学生の卒業式姿を
良く目にします。
自分を信じ、可能性を限定せず、大きく羽
ばたいてもらいたいですね。
