ガスの知恵袋 2008年05月21日
半導体製造装置などから排出される排ガスの処理は
そのガスの性質を考慮して、物理的処理、化学的処理
またはその両方を組み合わせた方法が採られておりま
す。主な除害処理方法は以下の通りです。
・固着吸着処理
比表面積の大きい吸着剤または粉粒体に、金属塩
や酸化剤、アルカリなどを含侵させた処理剤によって
対象ガスを吸着処理または無害化処理します
・接触酸化処理
比較的高温の触媒上で空気などの酸化剤を利用した
接触酸化により対象ガスを酸化して、無害化処理します
・燃焼処理
水素ガス、プロパンガス、都市ガスなど燃焼炎に対象
ガスを導入して、燃焼、酸化分解により対象ガスを無害
化処理します
・湿式吸収処理
各種のガス吸収装置（スクラバー）で水分または薬液
により対象ガスを洗浄処理します。
これらの除害装置は、除害対象となるプロセスやガスの種
類、各ガスの流量に応じて組み合わせたシステムとして利
用されます。
特殊ガス、特殊ガス配管工事、半導体製造装置の真空機器
メンテナンスなど、川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
５月２１日水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１６℃、昼１９℃、夜２２℃
です。
今日の環境情報は？
南極の巨大棚氷が温暖化で予想以上の速度で崩壊へ
進行しているようです。英国南極観測局（ＢＡＳ）の調査
によれば、約４１キロに渡り亀裂が入り、その一部が消失
しているそうです。このウィルキンズ棚氷は南極半島にあ
って東京都の６倍の大きさで、１９７４年以降、この棚氷と
同じだけの面積の氷が崩壊したとされております。
CO2 (二酸化炭素) 2008年05月20日
雨水などを集めた貯水槽で、PH調整を炭酸ガスによりコントロール
することが可能です。
水槽内に炭酸ガスを 毎分数リットル バブリングさせることで正常値へ
変化させます。使用量的にはそれほど多いガス量ではありませんので
汎用３０ｋｇボンベを使用し、2本切り替えで供給し、調整のの末端で流量
を調整すれば炭酸ガス供給設備の用意は完了です。
炭酸ガス供給設備、炭酸ガス用調整器、バルブ、電磁弁など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
TEL 048-282-3665
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今日の埼玉川口のお天気は？
5月21日水曜日
天気 雨のち曇り
ボンベ庫の温度 朝16℃、夜20℃
です。
今日の環境情報は？
二酸化炭素排出係数とは、環境省発行の資料「家庭からの
二酸化炭素排出量算出用 排出係数一覧（平成18年度6月
更新）」（資料１）を使用しています。
・電気 0.39kgCO2/kwh
・ガス 2.10kgCO2/m3
・水道 0.36kgCO2/m3
・ごみ 0.34kgCO2/kg
・リサイクル 牛乳パック0.16kgCO2/個，びん0.11kgCO2/個，
スチール缶0.04kgCO2/個アルミ缶0.17kgCO2/個，ペットボトル
0.07kgCO2/個
SiH2Cl2 (ジクロロシラン) 2008年05月19日
エピタキシャル成長やＣＶＤに利用されているジクロルシランは
エーテルやベンゼン、四塩化炭素などにどのような割合であって
も混合する物理的性質を持ち、水により分解します。
また、モノシランやジシランなどに比べ熱安定性が高く、酸化剤
との反応は穏和です。化学的性質としては、水と急速な加水分解
を起こし、HCl とシロキサン混合物を生成します。
nSiH2Cl2 + nH2O → (H2Si -O-)n + 2nHCl
ナトリウムアマルガムと反応して SiH4 や (SiH)x を生成します。
一般にはハロシラン類は、加水分解、加アルコール分解、加アンモ
ニア分解を起こします。
燃焼爆発の危険性について、先ず、燃焼は以下の通りで、空気中
における化学量論比 Cts は17.3vol % です。
SiH2Cl2 + O2 → SiO2(s) + 2HCl(g)
燃焼範囲が１atm,20℃の空気中で 4.1〜98vol % で、空気中の発火
温度は100℃で、燃焼により HCl , H2 , Cl2 アモルファスシリコンなど
が生成するとされています。発火温度は 58±5℃ また、約 50℃ とい
うデーターもあります。
液体のジクロルシランが漏洩して少量の水と接触して発火したという
事例もありますが、その後の実験では、水を液体のジクロルシランに加
えても、ジクロルシランに加えても発火しませんでした。しかし、多量の
発煙があり白色粉末ないしはゴム状の可燃性の物質が残ったという文
献もあります。
密閉容器中で空気中のジクロルシラン 17vol % の燃焼実験では、点火
直後は圧力上昇は比較的緩やかですが 3〜4 ms 経過した後、爆ごうへ
の転移を示す急速な圧力上昇と瞬間的ピーク圧を示しました。生成熱は
-76.6 kcal/mol で、次の反応は若干発熱ですが分解爆発の心配はあり
ません。
2SiH2Cl2 → Si(s) + SiCl4(g) + H2(g)
毒性としてACGIH TWA では規定されていませんが、眼・鼻・喉を刺激し
喉のただれ、気管支の炎症、咳が起こります。吸入毒性の主たる作用は
ジクロルシランが空気中の水分により加水分解して生成する塩化水素に
よると考えられます。
特殊材料ガス用シリンダーキャビネットやマニホールド、特殊ガス配管
など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
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今日の埼玉のお天気は？
天気 くもりのち雨
ボンベ庫の温度 朝１７℃、昼２０℃、夜２０℃
です。
今日の環境情報は？
停車や駐車時のアイドリングを、無意識のうちにしていませんか？
アイドリング時にも、ガソリンは1分あたり約0.014リットルが消費され
ています。1日5分のアイドリングを止めたとすると、年間20時間（240
日として）。特に仕事などで車を頻繁に使われる方ほど、削減量も大
きくなります。もちろんその分ガソリン代も節約に。限られた資源を、
ムダなく、大切に。停車中は、エンジンをオフ。習慣づけが大切です。
ガスの知恵袋 2008年05月18日
半導体製造工程などで特殊材料ガスなど使用されるガスは
自然発火性、毒性、腐食性など有害で、一般工業用の汎用ガ
スとは異なり高い危険性を持っております。
半導体などの製造工程では、２種類以上のガスを装置に導入
し、製品の生産に使用されますが、そのほとんどが未反応ガス
や副生ガスとして装置の外へと排出されてきます。排出ガスなど
には次のような危険性があります。
・自然発火性
モノシラン、ジシラン、ホスフィン、金属アルキル化合物などで
濃度により空気中で自然発火し、爆発します
・可燃性
水素など、濃度により空気中で燃焼し爆発するガスです
・毒性
アルシン、ジボラン、セレン化水素など極めて毒性が強い
人体に有害なガスです
・腐食性
塩素、塩化水素、臭化水素などのハロゲン化合物で、腐食性が
強く人体にも有害なガスです
・空気中で自然発火する、排気ガス中の粉体または粒子状物質です
・起動時やメンテナンス時に高濃度のガスが排出され、真空ポンプの
潤滑油にとラップされたガスなどです
特殊材料ガスにかかる、供給設備、ガス調整器、バルブ、ﾏｽﾌﾛｺﾝﾄﾛｰﾗｰ
現場の特殊ガス配管工事など川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご相談ください。
TEL 048-282-3665
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今日の埼玉のお天気は？
５月１８日（日曜日）
天気 くもり
気温 １８℃
です。
今日の環境情報は・・・
飲食店で利用されている割り箸は、年間２５万トン
使い捨てされてます。それらの多くは間伐材など不要になった木材では
なく、その９８％が中国からの輸入材です。年間２５０億膳（１００万本）
の木材の使い捨てです。この切り出された木材の森林面積は、野球場
２７９０個分で、毎年消えていっているのです。マイ箸を持つことで（割り
箸をやめること）で、これらの森が守られることになるのです。
ガスの知恵袋 2008年05月17日
半導体の製造に使用される特殊高圧ガスは、可燃性
毒性、支燃性、腐食性、分解性など多種多様な危険な
性質を持っております。
これら特殊材料ガスを除害するには、対象ガスの種類
、物性、濃度、流量、圧力、除害剤の寿命、前後の装置
との連動など諸条件を考慮し選定する必要があります。
具体的な除害方法を具体的に見てみましょう。
水素化合物 SiH4,PH3,B2H6,H2,NH3,など
・常温固体吸着（酸化剤液含侵吸着剤）
・熱分解 燃焼、接触酸化
・プラズマ分解
・湿式吸着（アルカリ液、酸化剤液）
ハロゲン BCl3,Cl2,HCL,HBr,など
・常温固体吸着（ｱﾙｶﾘ剤、ｾﾞｵﾗｲﾄ、活性炭、添着活性炭）
・加熱固体吸着（ｱﾙｶﾘ剤、金属酸化物）
・プラズマ分解＋固体吸着
・湿式吸着（水、アルカリ剤）
・熱分解 燃焼、接触酸化
金属有機物
・常温固体吸着（活性炭）
・熱分解 燃焼、接触酸化
・湿式吸着 水
ＮＦ３
・加熱固体吸着（金属、炭素）
・熱分解 燃焼、接触酸化
・プラズマ分解＋固体吸着
ＰＦＣ
・熱分解 燃焼、接触酸化、触媒、化学熱分解
・固体吸着
・プラズマ分解
などです。
特殊材料ガス、特殊材料ガス用除害装置、特殊ガス配管工事
などのことなら川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談
ください。
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今日の埼玉のお天気は？
５月１７日土曜日
天気 晴れのち曇り
気温 １７℃
です。
今日の環境情報
値上げラッシュのこの時期、主要各国の
ガソリン価格(L)は、欧州など環境先進国では
二酸化炭素の排出量を抑えるため、税率が
高く、日本やアメリカは低いのです。
75円 ﾒｷｼｺ
90円 ﾆｭｰｼﾞｰﾗﾝﾄﾞ、ｱﾒﾘｶ
120円 ｵｰｽﾄﾗﾘｱ､ｶﾅﾀﾞ
160円 日本
170円 ｷﾞﾘｼｬ、ｽｲｽ、ﾁｪｺ、ｽﾍﾟｲﾝ
180円 ｵｰｽﾄﾘｱ、ｱｲﾙﾗﾝﾄﾞ
190円 ﾊﾝｶﾞﾘｰ､ﾎﾟｰﾗﾝﾄﾞ、ｽﾛｳﾞｧﾆｱ、ﾙｸｾﾝﾌﾞﾙｸ
200円 韓国
210円 ｽｳｪｰﾃﾞﾝ、ﾌﾗﾝｽ、ｲﾀﾘｱ、ﾌｨﾝﾗﾝﾄﾞ、
220円 ﾄﾞｲﾂ、ﾃﾞﾝﾏｰｸ、ﾎﾟﾙﾄｶﾞﾙ
230円 ｲｷﾞﾘｽ､ﾍﾞﾙｷﾞｰ
240円 ﾉﾙｳｪｰ、ｵﾗﾝﾀﾞ
270円 ﾄﾙｺ
He (ヘリウム) 2008年05月16日
レアガスは周期律表の０族に属するもので、ヘリウム He
、ネオン Ne 、アルゴン Ar 、クリプトン kr 、キセノン Xe 、ラ
ドン Rn です。
いずれも１原子分子の気体で、非常に安定しているというこ
とから不活性ガス、イナートガスとも呼ばれております。空気
中に存在している量は、アルゴンが最も多く 0.9% ほどで、ネ
オン 18ppm 、ヘリウム 5ppm 、クリプトン 1ppm と極めて微量
しか存在しません。少なく貴重なガスなのでノーブルガスとも
呼ばれていたそうです。
このなかで、特にネオンとヘリウムの沸点が非常に低く、熱
伝導が非常に小さく、また、ヘリウムは水素に次いで密度が小
さいという特色があります。クリプトンとキセノンは逆に密度が
高く、さらに熱伝導率が非常に低いことが特徴的です。不活性
という面では共通していますが、その他の物性では極めて特異
な性質を持つガスなので、その物性を利用して工業用を中心に
さまざまな業種・業界で利用されております。
レアガス（He,Ne,Ar,Kr,Xe,Rn）など川口液化ケミカル株式会社
までお気軽にご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
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今日の埼玉のお天気は？
５月１６日金曜日
天気 晴れ
ボンベ庫の温度 朝１４℃、昼２０℃、夜２１℃
です。
環境情報を知っておいてください。
・人間は呼吸によって、二酸化炭素を１時間に３０ｇ出します。
・電力は（発電などで）１ｋＷで二酸化炭素を５５５ｇ出します。（人間の１８倍）
・エアコン、ドライヤー、乾燥機、電子レンジなどは１ｋＷ（人間の１８倍）
・エレベーター、エスカレーターは１０ｋＷ（人間の１８０倍）
⇒できれば階段を使い、節電しましょう！
・ガソリン１リットルは、二酸化炭素２．３１ｋｇ出します。
・燃費１０ｋｍの自動車は、平均すると１時間にガソリン６リットルを
消費し、二酸化炭素を１３ｋｇ出します。（人間の４３０倍）
⇒できれば公共交通や自転車を使い、歩きましょう！
ガスの知恵袋 2008年05月15日
ステンレスパイプをらせん状に加工して冷媒の液体中に
投げ込みますとコールドとラップとなり、熱交換として機能
します。
液体窒素温度や冷媒など数十℃レベルでコントロールす
れば、冷熱で発熱を吸収することができ、逆に高温度で冷
熱を緩和することもできます。
容器にロウ付けしたりブレージングで熱接触面を多く持た
せることで多くの効果を得られることができます。
ステンレスパイプや銅パイプなどの曲げ加工や熱交換容器
製作のご相談は、川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご連絡下さい。
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今日の埼玉のお天気は？
５月１５日木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１２℃、昼１８℃、夜１９℃
です。
蛍光灯反射板「シルバースクリーン」
防災グッズ（飛散防止）
高輝度・省エネスクリーンの「シルバースクリーン」は
今お使いの蛍光灯にかぶせるだけで画期的な明るさ
・省エネ・安全効果が得られます。アルミニューム反射
板を利用して、照度を上昇さるため、エネルギー節約
効果が得られます。特に直下では大幅の照度上昇効果
（約５０％）が期待できますので、設置されている蛍光灯
を２０〜３０％間引くことにより節電することができます。
また、蛍光灯を包み込む取付方法なので地震などの
災害や、事故で万一蛍光灯が破損しても大丈夫です。
シルバースクリーンが破片を受け、拡散させないので
安全です。
販売店 (有)AMIテクノ TEL 03-5669-1910
ガス法規 2008年05月14日
特定高圧ガス消費者を対象とした法規の説明シリーズも
最終回です。「特定高圧ガス」の部分を他の製造者や消費
者、販売者などに置き換えると、当てはまることが多分にあ
りますので、参考にしてください。
事故が発生した場合の「事故届け」（法第六十三条）につい
てです。高圧ガスによる災害が発生したときは、直ちに実情を
調査する必要があり、また、高圧ガスまたは容器を失ったり盗
まれたときはこれが悪用されたり、不当に処分されたりするおそ
れがあります。これらについて善後措置を講ずる必要から、高圧
ガス消費者はこれらの場合にはその旨を都道府県知事または警
察官に届出なければなりません。（第一項）
また、経済産業大臣または都道府県知事は、高圧ガスについて
災害が発生した場合に、その災害の詳細について検討を加え、同
種の災害の発生を予防する対策を立てる必要があり、そのために
必要な事項について、当事者から報告させることができます。（第
二項）
更に、法第六十四条では高圧ガスによる災害が発生した場合、
原因の調査その他のために災害現場が変更されることを防ぐ必要
があり、何人も経済産業大臣、都道府県知事または警察官の指示
がなければその現状を変更してはいけません。しかし、交通の確保
などの公共の利益のため特に必要でありやむを得ない場合または
災害が発生するおそれがあるため法第三十六条第一項の危険時の
措置などを講ずる場合には、原因の調査以上に公共の利益のために
必要であるとして、この規制は適用されません。
高圧ガス、高圧ガス認定設備の設計・製作・申請など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
５月１４日水曜日
天気 雨のち曇り
ボンベ庫の温度 朝９℃、昼１０℃、夜１１℃
です。
環境映像専門のグローバルメディアである
Green.TV は地球温暖化・気候変動・自然環境・エコロジーニュースなどを
情報提供されている、環境版 You Tube です。
http://www.japangreen.tv/#
環境に関する多くの映像を見ることが出来るとともに
世界の中での環境をテーマにした最新情報を提供されております。
ガスの知恵袋 2008年05月13日
高圧ガスのボンベを固定して保管するのがボンベスタンド
ですが、移動したりする際に利用するのがボンベ運搬車（別
名：ボンベカート）です。
ご存じのとおり高圧ガスボンベ４７L（７ｍ３）を移動させる
場合は、斜めに傾け回転させて転がします。すると、当然の
ことながら床面にはボンベの転がった跡が残ったり、きれいな
デモルームやきれいなフロアー（石材）など傷つけてしまします。
重量が約６０ｋｇのボンベですので仕方のないことですが、
プロのガス運送員の人でも呼ばないとボンベが移動できない
ことで支障が出ることもあります。
そんなときは「ボンベ運搬車」をご利用ください。
４７L容器 x 1台用運搬車 \25,000-（送料別）
ボンベスタンド、ボンベ運搬車（ボンベカート）などの
ご相談ご用命は川口液化ケミカル株式会社まで
お気軽にご連絡ください。
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今日の埼玉のお天気は？
5月13日火曜日
天気 雨のち曇り
ボンベ庫の温度 朝8℃、昼10℃、夜10℃
です。
6月8日はエコライフDAYです。
エコライフＤＡＹとは、地球温暖化防止のため「年に１日、
みんなで地球温暖化防止にチャレンジしよう」という日の
ことです。
この事業では、参加者の皆さんに「エコライフＤＡＹチェ
ックシート」（＝１日版環境家計簿）を使用て１日環境の
ことを考えた生活をしていただき、その成果を二酸化炭素
等の削減量としてまとめ発表しています。
2000年から川口でスタートし、徐々に各地に広がっています。
“１日の取組みであること””参加者がエコライフ行動を
すること””削減効果の視覚化”が大きな特徴で、目的は
“できるだけ多くの人が地球温暖化問題に関心を持ち、
その防止のために行動をするきっかけづくり”としています。
http://park14.wakwak.com/~ecolifeday/ecolife_day_history.htm
ガス法規 2008年05月12日
高圧ガス保安法の第三十九条では、緊急措置として
経済産業大臣または都道府県知事は、公共の安全の
維持または災害の発生のため緊急の必要があるときは
特定高圧ガス消費者に対して施設の使用禁止命令や
その他（製造・引渡し・貯蔵・移動・消費・廃棄など）の措
置を命ずることが出来ます。
許認可を取らず、また細則を履行せず高圧ガスを使用し
ていると違法となり、どんな事情であっても行政処置として
そのガスの使用を停止および禁止する権限があるのです。
高圧ガス保安法など高圧ガスに関することなら
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
ＴＥＬ ０５０?８８８１?７３９３
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
５月１２日
天気 くもり
ボンベ庫の温度
です。
私たちの大切な乗り物、宇宙船地球号の現状について
私たちは、どのくらい知っているでしょう・・・。
どういう状況が起きているのでしょうか・・・。
地球誕生以来、長年、あらゆるいのちと共にいきてきました
今、どうしているでしょうか？
大きな変化が私たちに忍び寄っています。
「美しい地球を子供たちに」残すために
私たちが今できることからはじめてみませんか？
国連ＮＧＯ（特別協議資格認証団体）
ネットワーク 「地球村」 では、今、地球環境で
何が起こっているか？ 知ることが出来ます。
http://www.chikyumura.org
E-meil : office@chikyumura.org
TEL 06-6311-0309
川口液化ケミカル?では、環境に関する情報を
発信するとともに、自ら実践できることを始めて参ります。
