特殊ガス 2010年09月10日
毎週金曜日の特殊ガス特集第三十七回目になります。
さて、どんな話をしていただけるのでしょう？
さぁ、楽しんで勉強しましょう！
（37話）半導体材料ガスってなんだろ 10.9.10
こんにちは
さて”シリーズ化”などと書きましたが、なかなかシリーズ化向きの
テーマが見あたらないものです。またいずれってことで。。。
今回は”半導体材料ガス”についてです。
聞き慣れない方もいらっしゃると思います。このブログを始めた頃に
“特殊ガス”という言葉について触れました。特殊ガスという言葉は時
に”半導体材料ガス”を意味する時があります。それほど、特殊ガスの
中ではメジャーなものってことでしょうか。
この半導体材料ガス・・・文字通り、半導体の材料として使用されるも
のです。具体的に。。。分かり易い分だけお話しますが
例えばモノシラン。 シランと呼ぶ場合もあります。
これは主に成膜材料です。基板という板の上にモノシランガスをあて、
温度を上げたり真空にしたり・・・というプロセスを踏んで、その板
の上にとても薄い膜を作るのに使います。
その他にエッチングという工程で使う塩素、塩化水素、フロン類など
など。エッチングとは削るとか掘ると言葉を置き換えると少し分かり
易くなります。成長させた膜を、削ったり掘ったりして縦方向の加工
をしていくんです。
半導体材料ガス・・・半導体・・・難しいテーマを選んでしまいまし
たね。私自身アレルギーを感じます。。。なんかかゆくなってきた。。。
気を取り直して
半導体ってなんでしょ？
半分導体？
導体って？
導体とは電気を通すもの。その半分というのは、条件によって電気を
通したり通さなかったりする。それが半導体です。
最近の学校の”技術・家庭科”の時間で、電気基板を作ったりラジオを
作ったりするんですかね？私は子供の頃に”技術”の授業で”基板”を
作ったことがあります。みなさんはどうでしょう？
電気基板というのは電気製品を分解すると見ることが見つかります。
作ったことはなくても見たことはありますよね。
さて半導体とは、とっても小さな小さな”電気基板”とイメージしま
しょう。とっても小さな板の上で平面構造だけではなく、上下方向、
つまり左右前後上下に”配線”が作られた極小電気基板です。あまりに
小さい配線をするので、とても人間の手では出来ません。そこで、色々
と自由のきく”ガス”が登場するんです。
半導体の話しだか半導体材料ガスの話しだかわかんなくなっちゃいま
したねm(_ _)m 次回に少し補足記事を書かせて頂きます。
今日はこのへんで。
by SGﾏｲｽﾀｰ
半導体材料ｶﾞｽ、特殊材料ｶﾞｽ、特殊ｶﾞｽのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
9月10日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝23℃、昼28℃、夜30℃
です。
人生のコツで、可愛がられると良いのだそうです。
さて、この｢可愛がられる」ための10個のポイントを
見ていきましょう！
１、瞳に希望が映っていること
２、腹が決まっていること
３、人のせいにしない、人を責めないこと
４、先延ばしにしない、ごまかさないこと
５、教わったことは即実行、継続すること
６、教えてくれた人に実行した結果を報告すること
７、間違いや失敗は即改善すること
８、先読み、気配り、心配り
９、感謝はすれど、満足しない
10、明るくて面白い
以上。
（小田真嘉氏：成長のヒントより）
ｂｙ との
排ガス処理 2010年09月09日
昨日、お知らせ出来ませんでした「排ｶﾞｽ処理」藤村Ｆ先生の
お話し第九話をご紹介いたします。
これからもよろしくお願い致します。
■地球温暖化対策の助成金制度に関して
前回は温対法で事業者がやるべき事に関して紹介させて頂きました。
何をするにしても莫大な費用が掛かりますので、その費用の一部を助
成してくれる制度を紹介します。
事業者に対して様々な助成制度がありますが、今回はNEDO（独立行政
法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構）を紹介させて頂きます。
NEDOですが、ホームページによると『日本の産業技術とエネルギー・
環境技術及びその普及を推進する日本最大規模の中核的な研究実施機関』
と書かれています。
NEDOのホームページ ⇒ http://www.nedo.go.jp/index.html
本ブログのお題目が『排ガス処理』ですので、『排ガス処理』に関す
る助成制度に関してご紹介させて頂きます。
第02話でエレクトロニクス業界のＰＦＣ、ＨＦＣ、ＳＦ6等の排出量削減
対策の中で『第３ステップ 無害化処理装置の導入』を説明させて頂きま
した。
覚えていますか？？
この無害化処理装置の導入に当って、NEDOから助成金が交付された事例
を紹介させて頂きます。
Ａ社はエレクトロニクス製品の製造時に地球温暖化係数の高いガスを
使用していました。『自社の利益を削って、地球環境保持に寄与するよう
に！』と経営者の判断が下りました。
まずは、当該ガスの使用量を減らす対策を実施しました。
さらに、地球温暖化係数の低いガスへの切替対策を実験しました。
しかし、製造工程の中には切替が適さない工程がある事が判明しました。
そこで、登場したのが『無害化処理装置』です。
無害化処理装置の導入に当っては莫大な費用が掛かる事が判り、目を付け
たのがNEDOの助成制度です。『代替フロン等３ガスの排出抑制設備の開発
・実用化支援事業』という長～い名称です。助成を受けるに当っては、
どの様な設備を導入するのか？
年間どの程度の効果があるのか？
会社の経営状態はどうか？
等の書類を作成して申請してNEDOの審査があって、初めて交付されます。
無害化処理装置の購入費用だけでなく、装置の検討・導入・立上等に携わ
る人件費を含めた総費用の最大２／３を助成してくれます。当然の事なが
ら目的は地球温暖化防止なので、導入した無害化処理装置がきちんと能力
を発揮しているか？様々な方法を使って検証する必要があります。
せっかく、無害化処理装置を導入したので、出来るだけ長く使用して地球
環境保持に寄与して頂きたいものです。
NEDOでは高変換率の太陽電池の開発や高輝度ＬＥＤの開発など関しても
支援事業を行っています。
支援事業に興味がある方はこちらを参照下さい。
⇒https://app3.infoc.nedo.go.jp/informations/koubo/koubolist
今日はここまで！
次回は吸着式排ガス処理の吸着剤を紹介します。
お楽しみに！！（＾Ｏ＾）／=
by 藤村Ｆ
藤村Ｆ先生、ありがとうございました。
排ｶﾞｽ処理装置に関するご相談のことなら
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
9月9日 木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝22℃、昼25℃、夜26℃
です。
午前中は雨模様で涼しかったのですが
午後になると灼熱の太陽が戻ってきた名古屋市内でした。
熱田神宮内の弘法大師植樹の樹齢1000年大楠
LN2 (液体窒素) 2010年09月08日
※本日は、「排ｶﾞｽ処理」の投稿日ですが、私、編集者の不手際により
お休みさせていただきます。次回を乞うご期待ください！
液体窒素の冷熱を利用して、-100℃以下の冷たい空気を発生させ
お肌の美容や整形外科の腫れ痛みの緩和、スポーツ後のアイシング
にも応用可能です。
※低温実験や低温耐久テストなど試験用設備も製作可能です。
美容ｻﾛﾝでのお肌への施術の様子
液体窒素を冷熱源として低温ガスを発生させる装置は、さまざまあります
が、安価でメンテナンスも容易な極低温噴射装置（極低温ガス発生装置）を
ご紹介いたします。
極低温ガス発生装置外観 定価 2,500,000円
液体窒素のｵｰﾌﾟﾝﾃﾞｭﾜｰ内で窒素ガスを強制的に発生させ装置上部の吐出部
からフレキホースを伝い末端のノズルより極低温ガスを噴射させます。
加圧式液体窒素容器を使用していないので電磁弁など高圧制御機器が無いため
低温ガス特有の霜付き、結露などが原因による故障が極めて少ない構造です。
構成部品が少ないので、消耗品（フレキホース・温度センサー）などユニット交換に
よりほとんどの復旧作業がお客様ご自身で、尚且つ短時間で済みます。
装置の取扱いも美容サロンの女性従業員さんが準備できるほど簡単です。
１、液体窒素容器に液体窒素専門業者に依頼し、充填（補充）します。
２、装置筐体に液体窒素容器をセットします。
（液体窒素２０Lの入った容器の重さは、約25kgです）
３、液体窒素容器に、測温・加熱ﾕﾆｯﾄを挿入し、固定ﾅｯﾄを手で締付けます。
４、装置上部の極低温ガス吐出口にノズル＋フレキホースを取り付けたら組立
完了です！
５、装置正面の制御部スイッチの電源投入し、噴射時間を設定して２～３分程度
で冷熱が連続的に噴射します。
６、設定時間になると自動で極低温ガスの噴射が終了し、待機状態となり終了です。
日本全国５０店舗近くの美容サロンでご利用いただいている汎用機です。
ご希望によりデモンストレーション可能です。
※製造ﾒｰｶｰのﾃﾞﾓﾝｽﾄﾚｰｼｮﾝﾙｰﾑでご覧になれます。
液体窒素のご用命、液体窒素を利用しての極低温ｶﾞｽ噴射装置（低温ｶﾞｽ発生装置）
のご相談や液体窒素機器オリジナル実験装置の設計、製作、改造・改修など
川口液化ケミカル株式会社までご連絡ください。
TEL ０５０－８８８１－７３９３
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今日の埼玉川口市のお天気は？
９月８日 水曜日
天気 曇りのち雷雨
ボンベ庫の温度 朝27℃、昼25℃、夜23℃
です。
※雨で電車のダイヤが崩れましたけど、涼しかったですね～ェ
「一番大事なものって何？」
頭ではわかっていても、日々の営みの中で、順序が狂いだす。
思い込みや、好き嫌いや、損得や、勝ち負けを、反射的に優先してしまうから。
不器用でもいいから、その順序を守りきったとき、想いもよらぬご加護がある。
（ﾐｽﾀｰｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ 北極流ﾒｯｾｰｼﾞより）
ｂｙ との
商品紹介 2010年09月07日
本日ご紹介する分析装置は、「高感度四重極形質量分析計」を使った
微量ガス成分の高感度分析技術の開発を進めた実用化開発装置のご紹介
です。
固体中含有ｶﾞｽ量測定装置
この装置は、金属などの固体材料の中に含まれているガス不純物が、材
料本来の性能に悪影響を及ぼし、金属部品の強度不足や劣化に繋がってい
ます。金属材料中のガス不純物の成分量を「重さ単位」の絶対量として正
確に測定し、材料の品質向上に役立てるための実用化装置です。
呼気ｶﾞｽ測定装置
生き物が呼吸するときに吐き出す息や皮膚から排泄されるガスの成分を
分析すると、体内の健康状態や肌の状態を知ることができます。息を吹き
込んで膨らませたサンプルバックから呼気のサンプルを取り出し、0.2ml
程度を注入すると10秒程度で呼気の成分を測ることが出来ます。
突出ｶﾞｽ測定装置
ｱﾙﾐ鋳造製品の中に不純物ｶﾞｽ（気泡）や酸化物などの固形の介在物がある
と製品の強度・加工性・耐疲労性の低下などの原因となります。
そのため、ｱﾙﾐ鋳造設備では鋳造工程の一部から抜き取ったｱﾙﾐ溶湯サンプ
ル中の脱ｶﾞｽと固形介在物を浮かせて除去する処置を施しています。
ｱﾙﾐ鋳造工程の一部から抜き取ったｱﾙﾐ溶湯サンプル中の固形介在物付着
ｶﾞｽ量と固形介在物量を測定し、溶湯サンプルの優劣を自動判定するととも
に固形介在物の除去効果を知る上で重要な手がかりとなる数値データーを
提供します。
装置の製造・販売は
日本金属化学株式会社
代表取締役 大間知 聡一郎 さま
TEL 049-262-1234 まで
※2017.05.10 記事および掲載資料を修正いたしました。
特殊ガス、特殊ガス機器、特殊ガス配管工事のことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
9月7日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝30℃、昼36℃、夜34℃
です。
偶然としか思えないような出来事も、実は、人間の意識が
引き寄せている場合もある。
人間の意識の力は、ことほどさように強力で、意識のウラっ
かわに、ゴミを溜め込んでしまうと、思わぬ形で噴出して
くるのだ。
たとえば、
「しんどいなぁ…」
「疲れた…」
と思い続けていたら、
“休まざるを得ない”ような状況（病気、ケガ、災難…）すら、
引き起こしかねない。
リラックスして、
深く息を吸って、
がんばらず、
全力で、生きましょう！
ｂｙ との
ガスの知恵袋 2010年09月06日
現場の配管工事で、簡単にストレートパイプ同士を接続したり
メクラにしたりしたいことありませんか？
そんなときには以下の継手を使えば25A～300Aの太径配管に限り
仮設配管を組むことができます。
ｶｯﾌﾟﾘﾝｸﾞ継手
２本のボルトで、それぞれのパイプ末端をカップリング継手で咥え
て締めつければそれでシールしてしまうというとても便利な接続継手
です。圧力も25Aで1.6MPa（旧単位約16kg/cm2）、300Aで1.0MPa
（旧単位約10kg/cm2）まで使用可能です。
※あくまで現場での仮設または応急処置で使用する範囲であればお薦め
できますが、恒久的な配管継手としてはお薦めしません。
25Aﾊﾟｲﾌﾟ同士を接続した様子（片側ﾒｸﾗ、片側1/4″ﾊﾟｲﾌﾟ付属）
・狭いピット内で通常フランジのボルトナット締め付けが困難な場合
・配管の漏れを改修するため現場で簡単に取付できる施工継手として
・定尺４ｍが微妙に曲がって、フランジ面が漏れるようなパイプ端面
接続の場合
・既設配管を切断し、内部堆積物や毒性ガスなどを封止して持ち出す
場合の末端メクラ施工用継手として
・ストレートパイプにネジ切り加工された配管を取付け、二次加工
若しくは接続させたい場合など
用途はさまざまです。
高圧ガスの配管工事や修理、漏れ検査、現場TIG溶接・自動溶接など
ガス配管工事のことなら川口液化ケミカル株式会社まで
ご連絡ください。
ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
9月6日 月曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝31℃、昼34℃、夜33℃
です。
この季節になると、大リーグマリナーズのイチロー選手が
200本安打を達成するか？ 残り試合とヒット数が微妙に
増減してドキドキします。
今日のｲﾝﾃﾞｨｱﾝｽﾞ戦終了時点で、残すところ
10年連続200本安打まで残り25試合で22本です。
それにしても凄いですね！
ｂｙ との
C4H6 (ブタジエン) 2010年09月05日
高圧ガスにはさまざまありますが C4H6 ブタジエン をご紹介いたします。
C4H6 1.3ブタジエン (1.3 Butadiene)は、分子量 54 の可燃性・毒性ガスです。
CAS No, 106-99-0
国連番号 1010
NISOH No, EI 9275000
既存化学物質番号 2-17
JIS – K 1533-80
気体状態では・・・
無色の弱い芳香臭がします。密度は15.6℃ 0Paで空気を 1 とすると、相対密度
が 1.87 になります。着火温度は 417℃、燃焼範囲が 2～12 vol%で、毒性を示す
許容濃度は 2ppm です。人の発ガン性があるとされ、高濃度で眼、鼻、肺を刺激
し、眠気、目眩を引き起こすとされております。麻酔作用があり高濃度を吸引すると
意識を失い、死亡する恐れがあります。
液体状態では・・・
密度が 15℃ 0.10MPa で 0.63kg/L で、沸点は -4.5℃、臨界点は 152℃ / 4.22
MPaです。蒸発潜熱は 0Pa 406kJ/kg です。
有機溶剤に溶けますが、水には溶けません。化学反応性に富み、熱や酸素により
容易に重合反応します。空気に触れると爆発性のある過酸化物を生成し爆発する
恐れがあります。酸化剤と接触すると発火するおそれもあります。
用途としては、合成ゴムや農薬、染料の中間体、可塑剤に使用されております。
適用法規は？
・高圧ガス保安法
・化学物質管理促進法（第二条第一種指定化学物質）
・化学物質の審査及び製造等の規制に関する法律（第二条指定化学物質）
・労働安全衛生法（令別表第一危険物可燃性のガス、令第十八条の二名称等を
通知すべき有害物質（MSDS対象物質）
・船舶安全法（危規則第三条危険物等級2.1 高圧ガス）
・航空法（規則第百九十四条危険物高圧ガス）
・港則法（規則第十二条危険物高圧ガス）
高圧ガス、高圧ガス供給設備、高圧ガス配管工事など
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今日の埼玉のお天気は？
9月5日 日曜日
天気 はれ
気温 29℃（PM11:30)
です。
京都の京田辺で、埼玉の39.7℃を超える 39.9℃ を記録し
9月の最高気温新記録達成です！
凄い熱いです・・・。
灼熱の近鉄京都駅でお出迎えする「キモカワイイ 遷都くん」
ｂｙ との
LPG (液化石油ガス) 2010年09月04日
9月1日 は防災の日でした。
大正12（1923）年9月1日11時58分44秒
伊豆大島付近、相模湾北西部を震源とする「関東大地震」が発生
した日です。マグニチュード7.9、震度6 により南関東を中心に、
死者・行方不明者 14万2,807名 もの尊い命が失われました。
突然の自然災害は、大きな被害をもたらします。
ご家庭にある災害用備品、非常食料、飲料水などの準備は万端
でしょうか？
必要最低限の準備と、災害発生時の集合場所など家族での相談
をしておくことが大事です。
次の災害用グッズをお勧め致します。
「地震保安灯」
震度４程度の地震発生時にライトが自動点灯し足元を照らしてくれ
ます。常時、地震保安灯をAC100Vコンセントに差して準備しておけば
緊急時には直ぐに取り外して非常灯として使用できます。また、サイレ
ン機能が付いているので大怪我をしたときの自分の居場所を知らせる
道具に最適です。
地震が夜間に発生したときに電気が使えないと真っ暗で戸惑うのも
のです。暗闇で大きな揺れで部屋中の物が散乱すると、使いたいもの
を探すことができない恐さを「地震保安灯」で未然に防ぎましょう！
「火災警報器」
法令で平成２３年４月までに原則設置する決まりごととなっています。
万が一の火災をいち早く感知し警報を発することで逃げ遅れを防ぐもの
が警報機です。寝室、居間、階段の踊り場天井を中心に設置します。
最新式の火災警報器は電話のように子機機能が付いた連動音声式の
ものも発売されております。
ガス機器に関する防災機器、設置工事など
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞお問合せください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
9月4日 土曜日
天気 晴れ
気温 37℃
です。
非常食の代表格といえば昔は【かんぱん】でしたが、最近の非常食は
グリコの缶詰、リッツの缶詰、チョコクッキーの缶詰などさまざまです。
賞味期限が切れてもお菓子として食べれる商品があるそうです。
by mitono
気象庁によると、9月4日の今日、岐阜県郡上市で３９．１℃を観測。
今夏最多の全国２１１地点で３５℃以上の猛暑日となり、９月の観測
史上最高気温を更新する地点が続出しました。
あと1週間続くらしいですが、いい加減最高気温での猛暑は勘弁して
欲しいです。
ｂｙ との
特殊ガス 2010年09月03日
特殊ガスを探訪する連載ブログ「特殊ガス」シリーズ 第三十六話です。
毎週、投稿いただいている SGマイスターさんは、特殊ガスのことだけを
考えお話いただいております。
ありがたくその胆をを頂戴したいと思います。
では、今週もよろしくお願い致します。
（36話）高純度ガスに詳しくなろう（その2） ‘10.9.3
こんにちは
さて今日はその２です。
前に記事にしたこととかぶりそうですが話の流れ上やむなくご容赦下さい。
高純度ガスはその名の通り”純度”がウリですね。
どれだけ１００％に近いのか？ が品質の差になります。
30話、31話で”本当に高純度なのか？”なんてことに触れましたが、以降読み
進める前に出来れば再度目を通して頂けるとよろしいかもです。。。
この ”純度” ですが、どの時点で ”純度保証するのか？” ご存じでしょうか？
恐らく世に出回っている高純度ガスの ”純度保証” は、ガス容器の中に入って
いるガスの純度を保証しています。又は、容器に充填する前のガスを保証してい
るものが殆どだと思います。
どういうことかと言うと・・・
標準ガスに置き換えてお話をします。
標準ガスに最も大事なことは”値が正しい”ことですよね。
ユーザーさんはそのガスに表示されている”濃度”を使うのですから、バルブをひねっ
て出てきたガスの値が正しくなくてはなりません。つまり、標準ガスは、”バルブから
出てくるガスを保証”していると言えます。
ここでもしも、”容器の中に充填されているガスを保証している”と考えると、バルブ
から出てくるガスが少々値が狂ったとしてもやむなしってことになってしまいますね。
実際そんなことでは ”使えない標準ガス” を供給していることになりますから、あり
得ませんよね。
さて話しを高純度ガスに戻しましょう。
以前の記事で、 ”高純度ガス” の純度保証とは ”不純物規格の保証” と言いました。
不純物の規格・・・・
不純物として存在する成分の安定性・・・
何となく標準ガスに似ている気がしてきませんか？
“不純物＝成分ガス” と考えるとイメージし易いでしょうか。
高純度ガスも入れ物（高圧ガス容器）の中身が汚れていたりすると、そのガスの不純物は
一定せず、増えたり減ったりします。
最も顕著な挙動を示すのは水分です。
高純度ガスを使っていると、そのガス中の水分値はガスの残量によって変化していきます。
ガス量が減ってくると水分は増える傾向にあります。
また少しお話が難しくなってきましたね。
世の中にある高純度ガスは、バルブをひねって出てくるガスの純度を保証しているのか？
或いは容器の中に入っているガスを保証しているのか？
正直、一般的な使用ではその違いはわかりにくいものですので、使用上で問題が生じない
ことが普通です。
しかし、使い方やその目的によっては厳密に不純物を管理されたガスが必要な場合もあり
ます。”純度”という表記のみで判断することなく、以前にも触れた”不純物規格”に加えて、
その純度保証はどのような考え方で保証されているのかに目を向けてみる。。。。
詳しく知っている人だけの豆知識です。
今日はこのへんで。
ＰＳ 今日はドラえもんの誕生日です。
by SGﾏｲｽﾀｰ
「高純度ガス」を言葉にすると簡単のようですが、海より深い、経験と失敗と知識に
培われた集大成の技術です。（と、敢えて言い切ります！）
勉強の機会をいただけている SGﾏｲｽﾀｰさんに感謝です。
特殊ガス・高純度ガスのことなら
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ＴＥＬ ０５０－８８８１－７３９３
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今日の埼玉川口のお天気は？
9月3日 金曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 昼36℃、夜34℃
です。
これは佐賀藩士の心の鍛錬である。
「必死の観念、一日仕切りなるべし。
毎朝身心をしづめ、弓、鉄砲、槍、太刀先にて
すたすた（ずたずた）になり、大浪に打取られ
大火の中に飛び入り、雷電に打ちひしがれ
大地震にてゆりこまれ、数千丈のほき（崖）に飛び込み
病死、頓死等死期の心を観察し、朝毎に懈怠なく
死して置くべし。
用事の事はあらず、前方に（あらかじめ）死を覚悟し
置く事なりと」
隆 慶一郎著 「死ぬことと見つけたり」 新潮文庫より
ｂｙ との
真空機器 2010年09月02日
ＳＥＭ／ＴＥＭ／ＦＩＢ周辺機器のご紹介です。
ﾓｼﾞｭﾗｰｺｰﾃｨﾝｸﾞｼｽﾃﾑ Q150Tseries by 英国ｴﾐﾃｯｸ社製
FE-SEM アプリケーションに適した高性能超微細コーティングシステムです。
高真空排気に70L/sec 空冷ﾀｰﾎﾞ分子ﾎﾟﾝﾌﾟを搭載し、すべてのコンポーネント
を頑丈なモールドケースの中に納めました。自動流量調整器により選択可能な
最適コーティング環境を作り出します。コーティング後の真空保持機能、膜圧計
による膜圧制御が可能です。交換可能なヘッド部をお選びいただくことで、スパ
ッタコーティング、カーボンおよびメタルエバポレーションが行えます。
高性能 Cryo-SEM 装置 PP3000T by 英国ﾎﾟﾗﾛﾝ社製
液体を含む試料や電子ビームダメージを受けやすい試料を凍結させSEM観察
を行う装置です。精密なガス流量調整機能やCryo-SEM に最も必要な温度コント
ロール機能を重要視した設計がなされています。試料をより自然の状態に保ちSEM
観察を行うPP3000T装置は動植物、医療、食材、ポリマー、塗装、温度上昇に敏感
な半導体材料などの測定に活用されています。
ｶﾞｽｲﾝｼﾞｪｸｼｮﾝｼｽﾃﾑ OmniGIS by 米国Omniprobe社製
OmniGISは、FIB装置、電子顕微鏡や真空装置の最新ガスインジェクションシス
テムです。主なアプリケーションは真空装置内でのALDアプリケーション、SAMS
アプリケーション、ガス導入による表面状態観察、Ptデポジション、Wデポジション、
SiO2デポジション、Cデポジション、ナノリソグラフィーなど。
SEM Picolndenter PI85 by 米国HYSITRON社製
SEM装置内でナノメカニカル試験の直接観察を可能にした世界初の完全独立
型深さセンシングインジケーター装置です。試料の変形や破壊といった機械特性
の過程の測定が行えます。この画期的な能力によりナノインテグレーション中の
マイクロストラクチャーのより進化した研究を可能にします。
電子検出器 Generation5 by 英国KEﾃﾞﾍﾞﾛｯﾌﾟﾒﾝﾂ社製
STEM検出器は明視野、暗視野イメージを表示します。BSD検出器では、優れた
解像度0.1Z(Z=30にて)で４分割検出器、ブロードバンドTVオペレーション、低ノイズ
スロースキャン、その他プローブカレントメーター、IRチェンバースコープなどです。
真空マイクロウェーブプロセッサー H2850 by 英国ｴﾐﾃｯｸ社製
±0.5℃の温度制御で、真空排気及びガス導入が可能な多目的真空・ガスポート
を搭載し、40通りのプログラム処理の登録が可能です。主なアプリケーションは、着
色、攪拌、脱泡、硬化です。
ﾏｸﾞﾈﾃｨｯｸﾌｨｰﾙﾄﾞｷｬﾝｾﾘﾝｸﾞｼｽﾃﾑ SYSTEM SC22 by SPICER CONSULTING社製
電子線を使用する装置周辺を安定した磁場環境に保つ磁場遮断装置です。
ACフィールドのモニター及び遮蔽、ローコスト、ハイパフォーマンス、自動化された
遮蔽条件設定、0.5Hz～5kHzのACフィールドに対応、3軸(X,Y,Z)フィールドモニター
ｸﾘｽﾀﾙ・ｺｰﾙﾄﾞｶｿｰﾄﾞｺﾝﾋﾞﾈｰｼｮﾝｹﾞｰｼﾞ CC-10 by 東京電子製
CC-10は、最新のセンサー技術を取り入れ12桁の圧力範囲（1.0×10-7Pa～
1.0×105）の連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。
大気圧から1Paまでは、クリスタルゲージ、1Paから10-7まではｺｰﾙﾄﾞｶｿｰﾄﾞｹﾞｰｼﾞ
を使用し測定します。センサー、回路部、ディスプレー一体型により、本製品のみで圧
力表示、セットポイントによるシステム制御が行えます。また、CC-10は、デジタル通信
RS485を標準装備し、欧州規格EN(CE)に対応しております。CC-10はRoHS規格に
準拠した環境に優しい製品です。
小型プローブカレントメーター PCM by 英国ﾃﾞﾍﾞﾛｯﾌﾟﾒﾝﾂ社製
電池駆動式でピコアンペア測定が可能です。サイズ130mm(W)x70mm(H)x115mm(D)
内蔵電池単三ｱﾙｶﾘ電池4本、1pA～2μAを5レンジ 誤差±2～5%(f.s)で3.5桁表示します。
自動ゼロ点調整（残差25℃にて5pA以内、100μA以上の過電流にも耐える入力設計です。
ガス・真空・低温を利用したオーダーメイド機器の設計、製作、改造、修理まで
川口液化ケミカル株式会社へご連絡ください。
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
9月2日 木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝30℃、昼34℃
です。
「貧乏と、屈辱と、嘲笑と、そして明日の望みのなくなったときこそ
初めて我々は人生に触れるのだ」
「人間は調子のいいときは、自分のことしか考えないものだ。
自分に不運がまわってきて、人にも世間にも捨てられ、その日その日の
苦労をするようになると、はじめて他人のことも考え、見るもの聞くものが
身に滲みるようになる」
山本周五郎著 柳橋物語より
ｂｙ との
精製ガス 2010年09月01日
精製ガスと排ガス処理を題材にした連載シリーズ第十五回目
になります。
本日は、藤村Ｍさんによる「精製ガス」のお話し第七話です。
では、参りましょうか！
ちゃんと精製できてるかな？
■夏休みも終わりましたね
今日から９月です。たくましく日焼けした小学生たち
が元気に登校するのを横目で見ながら、ヨロヨロと通勤
している藤村Ｍです。
あの子たちの元気はどこから湧いてくるのかしらん？
■このガスに不純物はどれぐらい入ってるのかな？
さて、今回はガスの純度確認についてお話をさせてい
ただきたいと思います。ガス中に不純物がどれぐらいあ
るのか？ ＳＧマイスターさんの連載とかぶるところが
出てくるかもしれませので、こちらはあっさりめに行き
たいと思います！
■まずはガスの仕様です
例のごとく窒素を例にとってみます。
これは、とあるところから拾ってきた窒素ガスの仕様
です。英語と数字が多くて嫌ですねぇ(笑)。でも我慢し
て読んでみましょう。
まず白色の部分。Purityと書かれている行が純度です。
３列あるうち、一番左端の列を見ると99.99995vol.%
とあります。９が６個並んで最後に５！
とにかく９がたくさん並んでますね～。この数値は純
度ですから、長ければ長いほど「きれい」なガスだとい
うことになります。％の前にvolなどと余計なものがつい
てますが、今回は無視します。
次が水色の部分。Impurity というのが不純物です。上
から順に、O2(酸素)、CO(一酸化炭素)、CO2(二酸化炭素)
THC(炭化水素の仲間)、NOX(窒素酸化物)、SO2(二酸化硫
黄)、それにH2O(水分)です。
９が６個も並ぶほどきれいなガスであっても、不純物
ゼロということはありません。この仕様書は、ここに並
べてある不純物については、実際にどのぐらい入ってい
るのか測って確認していますよ、ということを言ってる
わけです。
例えば一番上のO2(酸素)、３列あるうち、一番左端の
列を見ると < 0.1 vol.ppm と書いてあります。ppm。
parts per million の略で、百万分のいくつ、という単位です。
0.1 vol.ppmですから百万分の0.1。書き方を変えると
0.0000001。この窒素ガスの中の酸素は0.0000001= 百万
分の 0.1 より少ないことを確認してありますよ、という
意味です。
では、ここからは具体的にいきましょう。この不純物
濃度を調べるためには、専門の分析計で測定する必要が
あります。分析計/分析手法には、とにかくいろんな種
類があるので、全てを紹介することはできません。代表
的なものをちょっとだけご紹介しましょう。また、例の
ごとく窒素を題材にして。
■窒素中の「酸素」
良く利用されているのが、黄燐発光式の分析計。窒素
中に含まれているごく微量( 数十ppm以下 )の酸素は黄燐
と反応します。反応した時に出る小さな光( 燐光 )の強
さを測定して、これを酸素の濃度に換算します。
■窒素中の一酸化炭素、二酸化炭素
これはガスクロマトグラフィー、通称ガスクロですね。
ガスクロにもいろいろありますが、ＦＩＤというタイプ
の検出器を使ってるかなぁ。ガスクロについては、また
別の機会にご紹介しますね。
■窒素中の窒素酸化物
窒素中の窒素酸化物って言うのも何か妙ですが(笑)、
ノックスとも呼ばれ、次のSO2(二酸化硫黄)と並んで、
車の排ガスや工場の煙などで問題視される成分です。
オゾンの分子が衝突させて、その際に発する光を測定
する「ケミルミ」と呼ばれる手法を利用した分析計で
測定することができます。
■窒素中の二酸化硫黄
二酸化硫黄に紫外線を当てると光(蛍光)が出ることを
利用した専用の分析計で分析することができます。何だ
か光モノが多いですねぇ。
■窒素中の水分
総称で露点計と呼ばれる分析計を使います。いろいろ
ありますが、水晶発振式がコストパフォーマンス良好で
すね。水分を吸着する膜を水晶振動子に張り付けておき
ます。水の分子がくっつくと重くなるので、水晶の振動
周波数が変わります。これを水分の濃度に換算します。
ＳＧマイスターさんの連載にありましたが、ガスは容
器(ボンベ)の内面処理が命。この内面処理と同じくらい
に大事なのが「分析」なんです。
とにかく奥が深くて難しいものですから、私ごときで
はとても詳しい説明はできません。そのうち、どなたか
に、平易な入門編を書いていただきたいですねぇ。
では、本日はここまで。
by 藤村Ｍ
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今日の埼玉川口のお天気は？
9月1日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝31℃、昼37℃、夜34℃
です。
夕方、管さんと小沢さんがＴＶで代表選について
質疑応答しておりました。
お互い笑顔が見られたものの、相手を指摘するコメントの応酬で
対決姿勢そのものに感じられました。
挙党態勢結構。
国民第一発言結構。
ただ今、ただ今、即実行を大事にしたいですね。
ｂｙ との
