Cl2 (塩素) 2011年11月24日
特殊ガスのなかでも腐食系ガスの場合、バルブや圧力計、流量計、配管材料に至るまで
ガス機器の機種選定には注意しましょう。
塩素ガス用圧力調整器+ﾊﾟｰｼﾞﾊﾞﾙﾌﾞ付き
特にボンベ内の高い圧力を、実際に使用する低い圧力まで下げるための圧力調整器は、ガス
圧力を制御する部分に最もストレスがかかるため、ガスの特性とガス機器の材質、圧力、流
量のバランス、使用頻度など条件を十分に確認することが大切です。
ガス圧力調整器の一次側（入口側）と二次側（出口側）には、腐食系ガスが接ガス部にダメ
ージを与える直接の原因となる、水分や酸素分、ゴミなどをパージ（排出）するガス機器の
検討も必要です。いくらモネル製やハステロイ製の耐腐食系金属を使用しても供給設備全体
からすれば腐食系ガス機器に接触する不純物は大敵となります。
出流れや圧力調整が利かなくなるなどの不具合が出た場合は、汎用ガスの圧力調整器のように
修理やオーバーホールはお勧めできません。新品と交換されることをお薦めいたします。
腐食系ガス圧力調整器（ﾚｷﾞｭﾚｰﾀｰ）のご相談、ご質問、機種選定、お見積り、ご用命まで
川口液化ケミカル株式会社へご連絡下さい。
TEL 048-282-3665
FAX 048-281-3987
※ﾒｰﾙｱﾄﾞﾚｽ先頭のCutHereはｽﾊﾟﾑ対策です。
ありがとうございます
今日の埼玉県川口市のお天気は？
2011年11月24日 木曜日
※歯にきぬ着せぬ毒舌落語家の立川談志さんがお亡くなりになられました。
闘病中に気管を切開して、しゃべれないことが何より辛い状況であっても、辛い、苦しい
と一切言わず、最後まで強く生きたそうです。
落語家であることに志を立て、誠を尽くした生き方の見本ですね。
天気 はれ
ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度 昼12℃、夜12℃
です。
「至誠にして動かざる者 未だこれあらざるなり」
（誠をつくされて、心動かない人を、私は未だ見たことが無い ～吉田松陰～）
by との
MFC/MFM (マスフローコントローラ) 2011年11月23日
マスフローコントローラのバルブは流量制御用バルブです。
故に、シャットオフバルブとして機能しません。
「止まらない」
「出続けている」
などなど、ＭＦＣバルブの機能では有り得ます！
絶対にリークしてはいけない用途では、ＭＦＣ以外に
シャットオフバルブが必要です。
ＭＦＣ＋バルブですと、単体使用が原則なので
たった１系統と言えども、制御が複雑になり面倒なこところです。
上の写真の製品は
流量が無くなれば、自動的にシャットオフする
自動制御能付きのマスフローコントローラです！
これならマスフローコントローラの出流れや
リークなどの問題から解放されますね。
MFM/MFC/APCなどガス流量、ガス圧力制御機器のことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談下さい。
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（※★を@に替えておしらせください。）
今日の埼玉県さいたま市のお天気は？
2011年11月23日 水曜日 勤労感謝の日
※今日は勤労感謝の日は、勤労を貴(たっと)び、生産を祝い、国民たがいに感謝しあう一日です。
そもそも、この「勤労感謝の日」は、祭祀（お祭り）がその原点にあります。
日本では、古くから神々に五穀(ごこく)の収穫をいわう風習がありました。
飛鳥時代の皇極天皇(こうぎょくてんのう)のころに、その年の収穫物に感謝する大事な行事
としてはじまったのが11月23日・新嘗祭（にいなめさい）です。
新嘗祭（にいなめさい）は宮中祭祀(きゅうちゅうさいし)のひとつ。
天皇が五穀(ごこく)の新穀を、すべての神々に勧（すす）め、また、自らもこれを食して、
その年の収穫に感謝するものです。
今なお、新米を収穫しても、「神様より先に頂くなんて、とんでもない！」として、
新嘗祭で神様に奉納するまで、人は口にしない風習が残っている地域もあります。
今日、１１月２３日は新嘗祭（にいなめさい）。
心から感謝して、お米（食事）をいただいてみてください。
その一粒一粒に、大自然の神々の光が込められていると、感じながら‥。
人間、忙しくなると、食事前に手をあわせて、感謝の祈りを捧げるということを、忘れて
いくものです。その生命（いのち）を心から感謝していただく儀式ではなく、
ただお腹を満たすためだけに、食べるようになってしまうもの。
食事前に唱える「いただきます」
食事後に唱える「ごちそうさまでした」
この２つの言葉は江戸時代の国学者・本居宣長(もとおりのりなが)の詠んだ
つぎの和歌が元になっていると言われています。
「たなつもの ももの木草を 天照らす 日の大神の恵み得てこそ」
（たなつもの もものきぐさも あまてらす、ひのおおかみの めぐみえてこそ）
「朝夕に もの食ふごとに 豊受の 神の恵みを 思へ世の人」
（あさゆうに ものくうごとに とようけの かみのめぐみを おもえよのひと）
先の和歌は食事の前に感謝する意味の、「いただきます」の歌。
「天照」は伊勢神宮の内宮の神様です。
後の和歌は食事の後に感謝する意味の、「ごちそうさま」の歌。
「豊受」は伊勢神宮の外宮の神様です。
「いただきます」も「ごちそうさま」も伊勢の神様（太陽と地球の神様）に対する感謝
の気持ちの言葉でした。
心の中だけでも構いません。
食事前に、上の和歌を詠(よ)んでから食事をしてみると、
普段、気づかなかった食事のありがたみに気付けるかもしれません。
ただ、お腹を満たすために食べるのでなく、
その生命に心から感謝をして、手を合わせてから食べてみてください。
天気 晴れ後雨
気温 13℃(PM6:30)
です。
お釈迦様の説話の中に「貧者の一灯」というのがあります。
その日その日を慎ましく暮らしていた婦人が、苦しい中からお灯明の油をようやく少し
手に入れて、お供えした。そこへ一陣の風が吹いてきて、他のお灯明は消えてしまっても
この婦人のお灯明だけは消えなかったというお話です。
これは何をいっているのかといえば、真心の大切さであります。
喜び込め、たとえ一灯をともすだけの油しか仏に供養できなくても、真心なく万灯をともす
油を供養した功徳よりも大きいということです。また、それと同時に、この話からは、無理
をしてはいけないということも教えられます。
無理をして、たくさんの財を布施する。このことの中には、えてして自分の欲が潜んでいる
ことがあります。ですから、そういう人は、その欲に自分がひっかかって、とんでもない値段
の壷や石を買わされてしまったりもするわけです。
一方、自分は大きいことはできないけれど、細く長く神仏につながっていくんだ、という
真心を持ち続けている人の信仰は、消えることなく長く続くものです。無理をしないからです。
どんな背伸びをしても、神仏は全てお見通しです。自分が無理なく喜んでできることを行う
ことで、それが正しく光りになるわけで、決して無理をしない、それがまことの教えであります。
たとえば、自分の兄弟に、これだけしてやったんだから報われるだろう、という想いの中には
無理があります。欲があります。
無理をしない心というのは、自然の流れに即していて、摩擦がありません。全てが調和して
共存していく、そういう姿です。
（21世紀の風 大徳寺昭輝 著より）
by との
ガスの知恵袋 2011年11月22日
毒性を有するガスには次のような中和剤を用いて、吸収、中和させることができます。
亜硫酸ガス
アンモニア水、炭酸ソーダ、苛性ソーダの水溶液、消石灰またはその水溶液
アンモニア
水および硫酸、塩酸などの酸性水溶液
塩素
消石灰またはその水溶液、炭酸ソーダ、苛性ソーダのアルカリ性水溶液
塩化水素
水または苛性ソーダなどのアルカリ水溶液
クロルメチル
水、アンモニア水
酸化エチレン
水
シアン化水素
水、苛性ソーダ水溶液、次亜塩素酸ソーダの水溶液
トリメチルアミン
水
ブロムメチル
苛性ソーダなどのアルカリ水溶液
ホスゲン
苛性ソーダまたは炭酸ソーダなどのアルカリ性水溶液、消石灰
モノメチルアミン
硫酸の水溶液
硫化水素
次亜塩素酸ソーダ、炭酸ソーダ、苛性ソーダなどのアルカリ性水溶液
毒性ガス用除害装置、毒性ガス用ガス漏洩検知警報器、毒性ガス用配管工事など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
2011年11月22日 火曜日
※韓国与党ハンナラ党は野党の強い抵抗を押し切って米韓自由貿易協定（ＦＴＡ）
の批准同意案を強行採決しました。日本の環太平洋経済連携協定（ＴＰＰ）交
渉参加に焦る李明博（イ・ミョンバク）大統領は早期批准を強く訴えていまし
たが野党議員が韓国国会で催涙弾を投じ大騒ぎになり紛糾するなど決して満場
一致の米韓ＦＴＡの批准案可決ではなさそうです。
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝13℃、昼10℃、夜10℃
今日の風景 水晶 辛巳
邪気を浄化し、精神を純化する水晶。
あなたの前に広がる世界が「美しかれ」と願うなら
まず、自分自身が祖素直であり、純粋無垢であり
真っすぐであり、無色透明であること。
すると、おのずから人々の心は浄化され、世界は純化する。
です。
大学受験塾ﾐｽﾀーｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ村田明彦氏ﾌﾞﾛｸﾞより
「嵐の日でも」
苦しくなったり、あきらめそうになったり、心がざわついたりしても、信じて進んでみよう。
苦しみや
挫折や
衝撃は
もっと成長するために、もっとよくなるために、用意されているんだ。
嵐の日でも
雨の日でも
曇の日でも
つきぬけると、そこには太陽があり必ず光がさしこむ。
今が、真っ暗闇でも、必ず光がさしこむ。
だから、あきらめてはいけないんだよ。
日々、毎日調子がいいわけじゃない。
調子がよい日もあれば、悪い日もあるだろう。
そのときが勝負。
光がさすのを信じて、貫いてみよう。
by との
ガスの知恵袋 2011年11月21日
可燃性ガス、毒性ガスなどの漏洩は、人身事故、災害に直結します。
24時間連続して漏れを検知し安全を守ってくれるのがガス漏洩検知器
です。
センサー交換が可能な毒性ガス検知器
ガス種によりさまざまな検出原理がありますが、ガス漏れセンサーは
６ヶ月間または１年間で交換が必要な場合が多く、少なくとも１年に
１回以上のセンサーの感度を校正するメンテアンスが必要です。
ガス漏れを数値化し表示する検知警報指示部
ガス漏れの信号を取り込んで、ボンベの元バルブを緊急遮断したり
装置を立ち下げしたり、自動でパージを行ったり緊急除害装置を起動
したりして自動的に安全方向に連動させることが可能です。
ガス検知警報制御盤（シーケンサー制御式）
各種ガスの漏洩検知器や除害装置、電気計装工事（シーケンス制御）など
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
2011年11月21日 月曜日
※プロ野球日本シリーズ2011は昨日、福岡市中央区のヤフードームで第７戦を行い
福岡ソフトバンクが中日ドラゴンズを３－０で破り、４勝３敗で８年ぶりの日本一
に輝きました。ホークスが日本一に輝くのは南海時代を含めて通算５度目になり
秋山幸二監督は就任３年目にして初の栄冠です。秋山監督の男泣きも見られ祈願の
優勝であったことがうかがえますね。
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝10℃、昼12℃、夜12℃
です。
「腐る」のと「発酵する」のは違う
人の害になるのが腐敗
人の為になるのが発酵
誰でも、生きていれば
辛いことも
苦しいことも
失敗することもある
そんなときに
何（誰）を思うか？
それが人生を２つに分ける
手を抜いた失敗は
周りに迷惑をかけ
自らの人生を腐敗させていく
誰かのために挑戦した失敗は
次への糧になり
人生を豊かにしていく
何があっても腐らず
目の前のことに最善を尽くす者は
光を発して、周りを照らす
（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）
by との
ガスの知恵袋 2011年11月20日
半導体に代表される特殊材料ガスは極めて強い毒性、腐食性を有する物が多くあります。
これらのガスは薄膜成長反応炉の中などで100％処理され無害なガスに変化することは無
く、原料ガスの多くは毒性、腐食性を持ったまま排出ガスとして捨てられます。
排ガス処理剤 「シリカエース」
このとき無害化するための除害設備が除害装置であり、対象ガスと吸着剤が反応して有害な
ガスを許容濃度TLV値以下にする肝が処理薬剤です。対称ガスに対しさまざまな吸着剤を選
択し、配合して吸着塔に充填されます。
吸着剤で無害化できる主な対象ガスは？
水素化合物
SiH4,B2H6,AsH3,PH3,H2Se,GeH4,SnH4,PbH4,NH3,H2S,HI,H2Te,SbH3
塩化物
Cl2,HCl,AsCl3,AsCl5,BCl3,PCl3,PCl5,POCl3,SiH2Cl2,SiHCl3,SiCl4,SnCl4
WCl6,C2ClF6,GeCl4,MOCl5
フッ化物
BF3,AsF3,AsF5,CF4,CHF3,F2,HF,MOF6,SF4,SF6,WF6,C2F6,C3F8,PF3
PF5,SiH3F,SiHF3,,SiH2F2,SiF4,Si2F6
有機化合物
TEOS,TMB,TMP,TEOA,N(CH3)3 トリメチルアミン,Al(CH3)3 トリメチルアルミニウム
Ga(CH3)3 トリメチルガリウム,Ga(C2H6)3 トリエチルガリウム
In(CH3)3 トリメチルインジウム,In(C2H5)4 トリエチルインジウム
Sn(CH3)4 テトラメチルスズ,Sn(C2H5)4 テトラエチルスズ
Zn(CH3)2 ジメチル亜鉛,Zn(C2H5)2 ジエチル亜鉛
主な反応式は？
SiH4
2SiH4 + 6KMnO4 + 10KOH → 6K2MnO4 + 2K2SiO3 + 4H2O + 5H2
SiH2Cl2
2SiH2Cl2 + 6KMnO4 + 10KOH → 4K2MnO6 + 2K2SiO3 + 4KCl + 5H2O + 2H2
AsH3
2AsH3 + 6KMnO4 + 12KOH → 6K2MnO4 + 2k3AsO4 + 4H2O + 5H2
PH3
2PH3 + 6KMnO4 + 12KOH → 6K2MnO4 + 2K3PO4 + 4H2O + 5H2
B2H6
B2H6 + 6KMnO4 + 12KOH → 6K2MnO4 + 2K3BO3 + 6H2O + 3H2
NH3
2NH3 + 6KMnO4 + 8KOH → 6k2MnO4 + 2KNO3 + 2H2O + 5H2
BCl3
2BCl3 + 2KMnO4 + 6KOH → 2KCl + 2MnCl2 + 2K3BO3 + 3H2O + 2・1/2O2
Cl2
4Cl2 + 2KMnO4 + 2KOH → 2MnCl2 + 4KCl + H2O + 4・1/2O2
HF
8HF + 6kMnO4 + 2KOH → 8KF + 2MnO2 + 2Mn2O3 + 5H2O + 5・1/2O2
WF6
2WF6 + 2KMnO4 + 10KOH → 12KF + WO3 + WO2 + Mn2o3 + 5H2O + 2・1/2O2
O3
2O3 → 3O2 （Mn触媒）
14KOH + 2KMnO4 + 5SoF2 → 6KF + 2MnF2 + 7H2O + 5・1/2O2 + 5K2SO3
14KOH + 2KMnO4 + 5COF2 → 6KF + 2MnF2 + 7H2O + 5・1/2O2 + 5K2CO3
14KOH + 2KMnO4 + 5COCl2 → 6KCl + 2MnCl3 + 7H2O + 5・1/2O2 + 5K2CO3
TEOS
Si(OC2H5)4 + KOH + KMnO4 → K2MnO4 + K2si(OC2H5)3 + KOC2H5 + H2O + H2
以上対象ガスと反応式により、吸着剤の色の変化を確認しガスセンサーの警報システム
との併用に更なる安全性が確保されます。乾式吸着剤は湿式のようなメンテナンスやユ
ーティリティはほとんど不要で、処理剤の性能によりコンパクト化および低コスト化が
実現可能です。また、吸着剤のみのセットによっても排ガス処理が可能で、お客さまの
ご要望により特注での装置組み込み対応も可能です。
特殊材料ガスの除害装置。除害塔などのご相談ご用命は
川口液化ケミカル株式会社までご連絡下さい。
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今日の埼玉県さいたま市のお天気は？
2011年11月20日 日曜日
※「仕分け」第4弾がスタートし初日は原子力分野などが議論され、高速増殖炉「もんじゅに」
ついて、抜本的に見直すべきとの提言が出されました。
天気 晴れ後雨
気温 16℃（PM5:30）
です。
そのむかし、インドに周利槃特（シュリハンドク）という僧がいた。
シャカの十大弟子の一人だった。
十大弟子というからには、数あるシャカの弟子の中でもさぞかし優秀な人物
なのだったのだろうと思いきや、実際は、全くそうではなかった。
優秀というよりも、むしろ愚鈍で、彼がどれほど愚鈍だったかというと、
自分の名前すら覚えることができなかったというのだから、本当に苦労したのだと思う。
あるとき、あまりの自分のふがいなさに、絶望し、慟哭（どうこく）した。
話をききつけた、お釈迦様は、彼のもとにかけより、こう言ったのだ。
“道を歩む上では、賢きも、愚かも、関係ない。
いや…むしろ、おまえのように、自分の愚かさを知っていることは、もっとも悟り
に近いのだ。
世の中には自分は賢いと思っている愚か者が、本当に多いのだから。”
そして、彼は一本のホウキとともに、こんな言葉を授かった。
“塵（ちり）を払わん。
垢（あか）を除かん。”
と。
それから彼は雨の日も風の日もホウキを握りしめ、
“塵（ちり）を払わん。
垢（あか）を除かん。”
と掃除し続けた。
「掃除なんかしてて、悟れるかよ。」
と、他の門弟からバカにされることは、しょっちゅうだった。
結果の伴わない道だから、ときにはその言葉が深く心に突き刺さるときもあった。
しかし、彼は賭けたのだ。
最も敬愛する、その師の言葉に、全人生を賭けたのだ。
気がつけば、二十年もの月日が流れていた。
精舎は美しく磨かれ、余計なものはなくなった。
すべてのものはきらめくように輝き、まるで彼に愛をささやきかけてくるかの
ようであった。
彼は思った。
“あの頃は、何かを得たい、得たいと思って必死になっていたけれど、
結局、二十年経った今も、何も得ることはできなかったな。
でも、もはやそんなことはどうでもよかったのだと、今では思う。
なぜなら、私は、今…
全てのものの中に光を見出し、仏を見出すことができるのだから。
この他に一体、何が必要なのだと言うのだろうか。
…ああ、そうか。
お釈迦様はあのとき、”塵（ちり）を払わん。垢（あか）を除かん。”
とおっしゃったけれど、垢と塵とは、そんな私の心の汚れのことを言っていたのか。
…ありがとうございます。”
澄み切った瞳から、ひとしずくの涙がこぼれ落ちた、そのとき…
彼はついに、阿羅漢の境地に達した。
（大学受験塾ﾐｽﾀーｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ川崎雅史氏ﾌﾞﾛｸﾞより）
by との
ガスの知恵袋 2011年11月19日
もはや、半導体が産業の米と言われたのは過去のこと。
薄膜を積層させる技術は、太陽高発電、LED、有機ELなどに取って代わりましたが
半導体の技術が進化発展してきたことから引き継がれ新たな産業を生み出されていると思います。
半導体前工程と呼ばれるプロセスは、シリコン薄膜の表面を酸化・CVDなどの方法でシリコン酸化
物、シリコン窒化物などの薄膜をつけ。マスクを用いて写真製版、エッチングにより部分的に除去
し、ここに拡散、イオン注入などにより必要な不純物を入れます。これらの工程を複数回繰り返し
シリコン薄板に多くのICチップを製作します。
それぞれの工程で使用される高圧ガスには、多くの種類、混合割合、流量を微妙に制御されています。
エピタキシャル成長
Si [SiH4,SiHCl3,SiH2Cl2,SiCl4] + H2
Ge GeH4,GeCl4
ﾄﾞｰﾊﾟﾝﾄ AsH3,PH3,B2H6
Ⅲ-Ⅴ族 AsH3 + (CH3)Al + (CH3)Ga + H2
ﾄﾞｰﾊﾟﾝﾄ H2Se,H2S,H2Te,(Ch3)2Te,(CH5)2Te,(C2H5)2Te,(C2H5)2Zn
酸化
O2,O2 + H2,O2 + H2O,O2 + HCl,O2 + Cl2,O2 + N2
エッチング
SiO2 CHF3,CF4,CF4 + H2,C2H6,C3H8,CCl2F2
Si3N4 CF4,CF4 + H2,CF4 + O2
Poly Si CCl4,CF4,CF4 + O2,CCl3F,CClF3,CBrF3,Cl2,SF6,NF3,C2H6
Si CCl2F2,CF4,CF4 + O2,CCl4
Al BCl3,CCl4,CCl4 + Ar,CCl4 + He,Cl2
Al2O3 BCl3,CCl4,CCl4 + He
Cr Cl2,CCl4,CCl4 + Air,CCl4 + O2
Mo CCl2F2 + O2,CCl4 + O2,CF4 + O2,CF4
Ti CCl4,CF4
Ta CF4
GaAs CCl2F2,CCl4
レジスト除去
O2,CF4 + O2
不純物拡散
B BCl3,BBr3,B2H6
P PH3,PCl3,POCl3
As AsH3
イオン注入
B BF3,BCl3
P PH3 + H2,PF3,PF5
As AsH3 + H2,AsF3,AsF5,AsCl3
Si AiF4
Sb SbH3
CVD
SiO2 SiH4 + O2,Si(OC2H5)4,SiH2Cl2 + N2O,SiH4 + N2O
Si3N4 SiH4 + NH3,SiH4 + N2,SiH2Cl2 + NH3
PolySi SiH4 + NH3,SiH4 + H2,SiH4
PSG PH3 + SiH4 + O2,SiH2Cl2 + PH3 + N2O
BSG B2H6 + SiH4 + O2
a-Si SiH4 + Ar,SiH4 + H2
Al2O3 AlCl3 + CO2 + H2,Al(CH3)3 + O2,Al(OC3H7)3
スパッタリング
Ar,Ar + O2
イオンプレーティング
O2,N2,NH3,C2h2,CH4,H2S
各種高圧ガスのボンベでのご用意、ガス機器（圧力調整器、バルブ、流量制御機器など）
特殊ガス配管工事まで川口液化ケミカル株式会社へご連絡ください。
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今日の埼玉県さいたま市の天気は？
2011年11月19日 土曜日
※CS放送のアニメ「銀魂（ぎんたま）」の1話分が突然放送休止になり、蓮舫行政刷新相
のネタが影響したのかと取り沙汰されております。
天気 雨
気温 13℃(PM7:30)
です。
耳に聞こえてくる音は、
あなたの心をあらわしている。
心の中が、騒（さわ）がしいと、
まるで、それをごまかすかのように、
人は、物音をたてたり、刺激的な音楽を聴いたりして、
騒音（ノイズ）の中に隠れようとする。
心が静かな人は、
所作（しょさ）も静かで、
無音の中で、真の幸福感に満たされる。
耳を澄まして、
心の音を、聞いてみよう。
（北極流今日の開運ﾒｯｾｰｼﾞﾌﾞﾛｸﾞより）
by との
ガスの知恵袋 2011年11月18日
気相エピタキシー（Vapor Phase Epitaxy）には、AsやPの原料としてAsCl3やPCl3を使用する
塩化物VPEと、AsH3やPH3を使用する水素化物VPEがあります。
マイクロ波デバイス用のVPE法はAsCl3を原料とするVPEでGaAsのVPEウエハ製造工程で単結晶
基板の前処理（エッチング、洗浄、乾燥）はLPEと同じで、エピタキシャル成長時にはH2S
SiH4などのドーピングガスを使用します。キャリアーガスにはH2が使用され、パージにN2が使用
されます。FTE用VPE法では原料のAsCl3とGaを約800℃の水素雰囲気中で反応させ、反応管内に
GaCl蒸気とAs蒸気を作ってガスの下流に置かれたGaAs単結晶基板上に単結晶GaAsの薄膜を積層
させます。一般的にn型不純物用ドーピングガスはH2Sが使用され、SiH4の場合も稀にあります。
FTE用VPEは 4GaCl + AS4 +2H2 → 4GaAs + 4HCl となり排ガス中にはHClが存在します。
FET用VPE-GaASの量産システムでは石英製基板ホルダーにセットされた複数のGaAS単結晶板
をモーターで回転させながら成長させます。キャリヤーガスのH2ガスの流量制御や成長温度など
も自動制御されます。AsCl3の配管系やHCl・As4のある反応管、ドーピングガスのボンベなどは
排ガス処理装置＋スクラバーに接続して処理をされます。
MO-CVDなどのガス供給系、ガス流量制御系、排ガス処理装置など
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
2011年11月18日 金曜日
※素粒子ニュートリノが光速より速く飛行するという実験結果を９月に発表していた名古屋大など
国際共同研究グループは今月初めまでの再実験でほぼ同様の結果が得られたと発表しました。
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝13℃、昼14℃、夜12℃
です。
受験生が使ってはいけない言葉5
（大学受験塾ﾐｽﾀーｽﾃｯﾌﾟｱｯﾌﾟ専任講師村田明彦氏ﾌﾞﾛｸﾞより）
「できたと思っていたんですけど」
ミスしていた。
できていなかった。
得点できていなかった。
受験では、そのセリフは通用しません。
できたと思っていたけど、できていなかった。
わかったと思っていたけど、わかっていなかった。
そこから抜け出すためには？
簡単にできた！
簡単にわかった！
と思わないことです。
本当にできているのかな？
本当にわかっているのかな？
とたえず、疑い、確認する。
見る角度をかえてみる。
勉強の感覚を伸ばしていくためには、
「自分はできている」と満足しないことです。
現状を壊していくことで、進歩し、向上するのです。
by との
ガスの知恵袋 2011年11月17日
化合物半導体の工業的なエピタキシャル成長法は、液相エピタキシーと気相エピタキシー
とがあります。液相エピタキシー（Liquid Phase Epitxy）は光半導体素子用のエピタキシャ
ル・ウエハの製法として、赤外発光用LPE-GaAs（液相エピタキシーにより成長させたGa-As
）、高輝度赤外発光用のLPE-AlGaAs、赤色及び緑色発光用のLPE-GaP 、AlGaAs / GaAs 系
半導体レーザー、GaInAsP / InP 系半導体レーザー及び受光素子用などに用いられております。
化合物半導体の量産はGaP または GaAs を基板とする液相エピタキシーで GaAs を例にとり
ますと Ga （29.8℃で溶融）の溶液に GaAs を溶かし込み、この溶液を GaAs 単結晶板にかぶ
せ除冷すると過飽和になった GaAs が GaAs 単結晶板の上に層状に析出します。このときにド
ーパントそして Si , Te , Zn を用い、GaP の場合には H2S , NH3 のようなドーピング用のガス
を用いる場合があります。Ga の溶液が酸化しないように不活性ガスの N2 ガスや還元性ガスの
H2 ガスの雰囲気中でエピタキシャル成長が行われます。横型液相成長炉のスライド式カーボン
ボートを使用する場合、ボート内に設けられた溶液溜からボートの下の基板ホルダー上の単結晶
基板の上に溶液をかぶる仕組みになっており、LPE成長システム内に酸素が混入しないよういろ
いろと工夫されています。
緑発光用のLPE-GaP は回転スライド法で大きなカーボン円板内に収納された GaP 基板上に
溶液をかぶせることで同時に成長させることが出来ます。円板をモーターで回転させることで
均一の厚さの成長層に成長します。また、n型ドータント用H2S 、P型ドーパント用のバブラー
から蒸発させる Znガス、発光中心のドーパント用NH3 など、いずれもキャリアーガスの H2 , N2
により自由に成長室に流すことが出来、一度の成長で n型GaP とP型GaPのLPE成長層を一挙に成
長させます。H2S , NH3 , H2 , N2 ガスのボンベから配管系は排気装置に接続され、万が一漏れが
あったときにに安全性が守られLPE成長室からの排ガスはガス処理装置を経てスクラバーなどガス
洗浄装置に導かれております。
MO-CVD装置の改造、改修、メンテナンス、原料ガスのご相談や
特殊ガスのガスに関するご質問のことなら
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今日の埼玉県川口市のお天気は＞
2011年11月17日 木曜日
※プロ野球の「コナミ日本シリーズ２０１１」第５戦は１７日、名古屋市のナゴヤドームで行われ
ソフトバンクが５―０で中日を破り敵地で３連勝、対戦成績を３勝２敗としてダイエー時代の
2003年以来8年ぶりの日本一に王手です。
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝12℃、昼14℃、夜13℃
です。
＜失うのは、次を得るためだから＞
いい流れとは、何かしら流れ続けている状態
悪い流れとは、留まって変化していない状態
失う、壊れる、別れ、損する、亡くす…
流れを味方にするには
流れゆくままに自然に生きること
執着、固執、復讐、独占、囲い込み…
流れ出ないようにするのは
不自然な生き方
出るのを止めたら
新たなる流れも入ってこなくなる
たとえ多くを失ったとしても
必要なものは必ず残るようになっている
いや！正確には
失ったのではなく
天地自然にお返しただけ
次へ進むべきときは
必要な分だけちゃんと授かる
（小田真嘉氏成長のﾋﾝﾄﾌﾞﾛｸﾞより）
by との
MFC/MFM (マスフローコントローラ) 2011年11月16日
これは・・・
分析装置などへ搭載するための世界最小の
デジタルマスフローコントローラです。
ケーブルもRJ45ケーブルになりますので
配管配線も含めても非常にコンパクトに収まる仕様になっています。
高圧ガスのご用命、高圧ガス配管工事のご相談のことなら
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
2011年11月16日 水曜日
※しし座流星群が今週ピークを迎えます。18日の夜明け前も東の空で観測できそうです。
ピーク時には1時間に約20個飛ぶそうです。
天気 はれ
ﾎﾞﾝﾍﾞ庫の温度 朝11℃、昼18℃、夜12℃
です。
吉田松陰名言集より
「栄辱窮達、毀誉特喪に至りては 命のみ天のみ。
吾が顧みる所に非ざるなり。」
訳）
自分にかかる名誉と恥辱、悪口と褒め言葉 成功と不成功など
に至っては すべて天命である。
私が問題とするものではない。
by との
ガスの知恵袋 2011年11月15日
化合物半導体のボート成長法とは？
単結晶をボート形状をした容器の中ですくることからその名前がつきました。
ボート材料には熱の歪みの少ない高純度の石英が使用されています。成長法の概要
としては、二部屋に分かれた石英室の一方に As を置き、もう片方の石英室に Ga と
GaAs 単結晶のタネを乗せた石英ボートを入れた後にそれぞれの反応炉を真空密閉し
てセットします。炉を昇温することで一方の As を昇華させ、もう片方の石英室に導
くことで Ga と反応させて GaAs メルトを生成させます。あとに生成した GaAs メル
トをタネ結晶に接触させてタネ結晶側から徐々に固化させて結晶を作ります。
As は、600〜610℃で昇華が始まり高い蒸気圧を持ち、GaAs の反応が石英室で行
われるので耐圧と急激な昇温を避けなければ問題があります。ボート成長炉をフード
内に設置することが大切です。成長した結晶の取り出しには、結晶に衝撃を与えない
よう石英室を破壊して取り出す必要があります。
ボート成長法には、水平ブリッジマン法（ホリゾンタル・ブリッジマン法）と温度
傾斜凝固法（グラジェント・フリーズ法）とがあります。水平ブリッジマン法は反応
炉の温度分布を一定に保つことに石英室を移動して、GaAs メルトをタネ結晶側から
冷却させる方法です。温度傾斜凝固法は反応炉内の温度分布に傾斜を保たせたままに
炉内温度を冷却させる方法です。
化合物半導体用のアンモニア供給設備、アンモニアガス配管工事など
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
2011年11月15日 火曜日
※サッカー北朝鮮チームに日本チームは 0-1 で敗退しました。
ザック監督は「（完全アウェーという）厳しい環境の中で、フィジカルを前面に
押し出した北朝鮮に攻め込まれた。」とコメントしました。
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝12℃、昼18℃、夜14℃
です。
北極流今日の開運ﾒｯｾｰｼﾞﾌﾞﾛｸﾞより
誰にでも良い顔をして
誘われたら誰にでもついていく。
そんな八方美人的な生き方は
己のエネルギーを著しく下げる。
そして、人からエネルギーを奪う。
そんな人のことを「さげまん」という。
大切な人・エネルギーを注ぐべきことがわかっていて
“大事なこと”のために
エネルギーをためることができる人。
それが、「あげまん」なんだ。
by との
