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液体供給システム(CEM)

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CEMシステム(Controlled Evaporation and Mixing)は、常圧や真空プロセスに適用可能な革新的液体供給システム(LDS)です。

ベーパー発生システムは液体流量調節計、キャリアーガス用MFC、温度制御された混合バルブと蒸発部で構成されています。

システムは0.25…1200g/hの液体流量に対応し、結果として飽和ベーパー流量50mln/min…100ln/minを造りだすことが可能です。

バブラーシステムをこのシステムで置き換えることができます。

CEMシステムに新しい適用ができました。混合物、更にソルベントに溶解しているソリッドでさえも上手く蒸発させることが可能です。

特徴

ガス/液体の正確混合(質量流量)

高速応答

高再現性

水、各種溶剤、混合液等

高安定性ベーパー流量

ガス/液体比率選定がフレキシブル

通常システムに比して低運転温度

適用例

CVD等

各種分析計のテスト/キャリブレーション用リファレンスガス発生用

毒ガス防護服の効果検査等

分析計(湿度計)用H2Oベーパー濃度リファレンス発生用

燃料電池の加湿

麻酔システム

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