ブルックスインスツルメント(株)製

ブルックスさんといえばマスフローからパージメーターまで広い流体制御分野をカバーし、ワールドワイドに展開するメーカーさんです。

特筆すべきは、製品群の守備範囲の広さです。

・半導体、太陽光発電向けのクリーンタイプマルチフローマスフローコントローラのGF100　GF40/80シリーズ

・3SCCM～2500SLMまでの流量をカバーするバリエーション展開のSLA5800シリーズ

・屋外環境での使用を可能にした粉塵や水分からの保護規格NEMA 4X/IP66対応のSLAMｆシリーズ

・コリオリセンサーを使った液体用マスフローQuantimシリーズ

・先進の超音波センサーを搭載した液体用フローコントローラLF200シリーズ

その品揃えは、あらゆる業界に対応できる、まさに総合マスフローメーカーと呼ぶにふさわしいメーカーさんです。どこを一押し？と言うなら、このラインアップと、長い歴史で培われた流体制御技術の蓄積そのものが一押しですね。