高温で使えるＭＦＣが欲しい

ＰＬＡＮ１ 高温（35～80℃環境）

日立金属(株)社製 SFC1580F,SFC1570F
RoHS指令対応マスフローコントローラ
80℃までの高温ガス制御に対応
メカ部、電気回路部分離構造

日立金属(株)社製 SPS831
RoHS指令対応一体型電源表示設定器
ワールドワイド電源対応
ＰＶ/SV切り替え表示、タッチキー入力で簡単操作
外部制御対応
特典：ケーブル２ｍサービス

ＰＬＡＮ２ 超高温（80～150℃環境）

日立金属(株)社製 SFC1680F,SFC1670F
RoHS指令対応マスフローコントローラ
150℃までの高温ガス制御に対応
メカ部、電気回路部分離構造

日立金属(株)社製 SPS831
RoHS指令対応一体型電源表示設定器
ワールドワイド電源対応
ＰＶ/SV切り替え表示、タッチキー入力で簡単操作
外部制御対応
特典：ケーブル２ｍサービス