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高温で使えるMFCが欲しい

PLAN1 高温(35~80℃環境)

日立金属(株)社製 SFC1580F,SFC1570F
RoHS指令対応マスフローコントローラ
80℃までの高温ガス制御に対応
メカ部、電気回路部分離構造

日立金属(株)社製 SPS831
RoHS指令対応一体型電源表示設定器
ワールドワイド電源対応
PV/SV切り替え表示、タッチキー入力で簡単操作
外部制御対応
特典:ケーブル2mサービス

PLAN2 超高温(80~150℃環境)

日立金属(株)社製 SFC1680F,SFC1670F
RoHS指令対応マスフローコントローラ
150℃までの高温ガス制御に対応
メカ部、電気回路部分離構造

日立金属(株)社製 SPS831
RoHS指令対応一体型電源表示設定器
ワールドワイド電源対応
PV/SV切り替え表示、タッチキー入力で簡単操作
外部制御対応
特典:ケーブル2mサービス

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