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マスフロー選定の手引き

【STEP1】お探しの製品は新規購入検討ですか?
それとも現在使用中の製品が故障して、代替品の購入検討ですか?

新品の場合は次に進んでください

代替の場合
お使いの製品の(1)メーカー、ブランド名 (2)型式 (3)ガス種 (4)流量 (5)シリアルナンバーを確認の上、ご一報ください

確認方法
製品の背面(もしくは上面、側面)に銘板といわれるその製品の情報を記載したシールが貼られていますので、そこを読み取ってください

新品購入の場合

【STEP2】使用されるガスはなんでしょうか?

マスフローはガス種毎に構造が異なるため、原則受注生産です
ガスが決まらないと、製作どころか見積すらできないことがあります。

・同じガス名でも同位体が存在するガスもあります。

・混合ガスの場合「2%F2/98%Ar」という形で混合比率を明記てください。

・マスフローへのガス供給圧力と出口圧力を確認して併記ください。
 (特に低蒸気圧ガスや高圧でのガス供給、出口圧の変動がある場合)

【STEP3】使用されるフルスケール(F.S.)流量はどれくらでしょうか?

マスフローは同じガスでも流量に応じて構造が異なります。

こちらも決まらないと、製作どころか見積すらできないことがあります。

・流量制御範囲は2~100%(100%=フルスケールと表現します)が一般です。

つまりフルスケール流量100SCCMのマスフローは、2~100SCCMで使用可能です。

使用されるガスの流量範囲がこの間にあることを確認いただいて、慎重にフルスケール(F.S.)流量を決定してください。少し余裕を見て頂くのがコツです。

・単位も正確に記載してください。 

一般的にSCCM(Sttandard CC/Min) SLM(Standard L/Min)が使われます

CC=mLとLを混同すると1000倍違う流量になりますので・・・

注意! 

SCCM、SLMはSI単位ではありません。

あくまで業界の慣習単位としてSEMIは定義してます。

mL/min、L/minと同じく体積流量単位ですので、温度、圧力を定義する必要があります。

圧力は一般的に大気圧1,013hPaで通用していますが、温度は0℃、20℃、25℃と基準温度が業界、メーカーにより異なります。

SCCM,SLMの温度基準の定義は、ある業界では0℃、1,013hPa基準ですが、別の業界では20℃だったりします。業界にあわせてSCCM,SLMの基準温度を使い分けているメーカーもありますので、必ず温度は確認ください。

例えば0℃と20℃を間違えるてマスフローを発注すると7%程流量が異なる製品ができてしまいます!

【STEP4】接続される継手はなんでしょう?

マスフローには、ガスの入口、出口に配管とする継手があります

特にメタルシールタイプは、継手に応じては構造が異なるため、ここも決まらないと製作はおろか、見積すらできないことがあります

マスフローに使われる継手は大きく分けてVCRタイプ、SWLタイプ、RCタイプがあります

同じ継手種でも配管径(1/8,1/4,3/8,1/2インチ・・・・)によっても異なりますので、必ず「1/4RC」という形で配管径と継手種を連絡してください

【STEP5】周辺機器は必要ありませんか?

必要 次に進んでください(ユーアイニクスMFC制御ユニット)

不要の場合

マスフローの電気接続コネクタ形状とピンアサイン(ピン配列)を確認してください

お手持ちの機器と接続される上で、間違いがあると接続できない、もしくは接続できても電気信号のショートで製品が破損する可能性があります

古いものや、海外製品は、カードエッジタイプが多く、最近はDsub9ピンもしくは15ピンが多くなっています

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