マスフロー選定の手引き
マスフロー仕様決定のポイント
【STEP1】お探しの製品は新規購入検討ですか？
【STEP2】使用されるガスはなんでしょうか？
【STEP3】使用されるフルスケール（F.S.）流量はどれくらでしょうか？
【STEP4】接続される継手はなんでしょう？
【STEP5】周辺機器は必要ありませんか？
【STEP1】お探しの製品は新規購入検討ですか？
それとも現在使用中の製品が故障して、代替品の購入検討ですか？
代替の場合
お使いの製品の(１)メーカー、ブランド名 (２)型式 (３)ガス種 (４)流量 (５)シリアルナンバーを確認の上、ご一報ください
確認方法
製品の背面（もしくは上面、側面）に銘板といわれるその製品の情報を記載したシールが貼られていますので、そこを読み取ってください
新品購入の場合
【STEP2】使用されるガスはなんでしょうか？
マスフローはガス種毎に構造が異なるため、原則受注生産です
ガスが決まらないと、製作どころか見積すらできないことがあります。
・同じガス名でも同位体が存在するガスもあります。
・混合ガスの場合「2％F2/98％Ar」という形で混合比率を明記てください。
・マスフローへのガス供給圧力と出口圧力を確認して併記ください。
（特に低蒸気圧ガスや高圧でのガス供給、出口圧の変動がある場合）
【STEP3】使用されるフルスケール（F.S.）流量はどれくらでしょうか？
マスフローは同じガスでも流量に応じて構造が異なります。
こちらも決まらないと、製作どころか見積すらできないことがあります。
・流量制御範囲は2～100％(100%＝フルスケールと表現します）が一般です。
つまりフルスケール流量100SCCMのマスフローは、2～100SCCMで使用可能です。
使用されるガスの流量範囲がこの間にあることを確認いただいて、慎重にフルスケール（F.S.）流量を決定してください。少し余裕を見て頂くのがコツです。
・単位も正確に記載してください。
一般的にSCCM（Sttandard CC/Min) SLM(Standard L/Min)が使われます
CC=mLとＬを混同すると1000倍違う流量になりますので・・・
注意！
SCCM、SLMはSI単位ではありません。
あくまで業界の慣習単位としてSEMIは定義してます。
mL/min、L/minと同じく体積流量単位ですので、温度、圧力を定義する必要があります。
圧力は一般的に大気圧1,013hPaで通用していますが、温度は0℃、20℃、25℃と基準温度が業界、メーカーにより異なります。
SCCM,SLMの温度基準の定義は、ある業界では0℃、1,013hPa基準ですが、別の業界では20℃だったりします。業界にあわせてSCCM,SLMの基準温度を使い分けているメーカーもありますので、必ず温度は確認ください。
例えば0℃と20℃を間違えるてマスフローを発注すると7%程流量が異なる製品ができてしまいます！
【STEP4】接続される継手はなんでしょう？
マスフローには、ガスの入口、出口に配管とする継手があります
特にメタルシールタイプは、継手に応じては構造が異なるため、ここも決まらないと製作はおろか、見積すらできないことがあります
マスフローに使われる継手は大きく分けてVCRタイプ、SWLタイプ、RCタイプがあります
同じ継手種でも配管径(1/8,1/4,3/8,1/2インチ・・・・）によっても異なりますので、必ず「1/4RC」という形で配管径と継手種を連絡してください
【STEP5】周辺機器は必要ありませんか？
必要 次に進んでください（ユーアイニクスＭＦＣ制御ユニット）
不要の場合
マスフローの電気接続コネクタ形状とピンアサイン(ピン配列）を確認してください
お手持ちの機器と接続される上で、間違いがあると接続できない、もしくは接続できても電気信号のショートで製品が破損する可能性があります
古いものや、海外製品は、カードエッジタイプが多く、最近はDsub9ピンもしくは15ピンが多くなっています
