1台で何種類ものガスを流したい

日立金属(株)社製 SFC1480FX
RoHS指令対応マスフローコントローラ
マルチガスマルチレンジ・デジタルマスフロー
実ガス精度保証
ガス／流量をパソコンとの通信で変更可能

(株)フジキン社製　FCST1000(M)Z
RoHS対応マルチガスマルチレンジマスフローコントローラ

マルチガスマルチレンジ機能
耐食性ハステロイセンサー
精度±1%S.P
全流量域応答1秒　Progressive PID
用途に応じてラバーシール/メタルシール選択可能