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日立金属(株)製 SFC1480FX/2480FXシリーズ

RoHS対応マルチガスマルチフロースフローコントローラ

日立金属さんといえば、老舗金属材料メーカーです。

自社オリジナル材料であるNi-Co合金YET101を採用したメタルダイヤフラムバルブは接ガス部に一切の摺動部品を持たない理想的なクリーンバルブです!

このメタルダイヤフラムバルブをピエゾアクチュエーターとの組み合わせで、高分解能&高速応答を実現したSFC1480FX/2480FXシリーズはハイクラスマスフローのベストセラーです!

マルチガスマルチフロー(MGMR)に関しても実ガスデーターを自社のラボで丹念に測定して、堅実にアップデートしていく姿勢は、昨今失われつつある日本のモノづくりのきめ細かさを象徴しています。

最新の半導体製造装置の厳しい要求にもこたえる日田t金属のSAMブランドハイパフォーマンスマスフローを、一度お使いになってみませんか?

もう一つ日立金属さん関係で最近の話題は、AE社からAeraブランドのマスフロー事業を買収されたことです

これにより日本タイラン→日本アエラと社名を変えながら日本のマスフロー業界の2強を形成していたAeraブランドのマスフローを傘下に収めた日立金属のマスフロービジネスは、今までのハイエンド志向から、ラインナップを増やしていくと思われます。楽しみですね。

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