高圧で使えるＭＦＣが欲しい

ブルックスインスツルメント(株)社製
高圧・大流量タイプ
マスフローコントローラ/メータ
Eシリーズ

小中流量マスフローコントローラ/メータ
精度±FS
最高使用圧力　10MPa
流量範囲：5850E　3mL/min～30L/min
流量範囲：5851E　10L/min～100L/min(H2のみ～200L/min)

ブルックスインスツルメント(株)社製
大流量マスフローコントローラ/メータ
精度±1% FS
最高使用圧力　6.8MPa
流量範囲：100L/min～1,000L/min