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高圧仕様マスフロー

PC-ボードが”ラボラトリー”用ハウジングに収納されたサーマルタイプ流量計です。調節弁はボディー直結型又は分離型があります。各種ガスの質量流量計測・制御にご利用いただけます。

マスフローコントローラ用調節弁の設計コンセプトは他マスフローコントローラメーカーのそれとは異なり、モジュール構造で、ユーザーが再調整すること無しに現場で交換できる能力を備えています。標準バルブはノルマルクローズデKV値が1.5までご利用できます。又、ノルマルオープンもご利用いただけます。

全てのモデルはデジタルPCボードを備えており、自己診断、アラーム、カウンター、デジタル通信及びリモートコントローラ調整機能等があります。

特徴

高精度(標準 0,5% Rd plus 0,1% FS)

レンジアビリティー(デジタルモード)1:187.5

高速応答 (down to 200 msec),高繰返し性

マルチガス/マルチレンジ機能: フリープログラマブルレンジ及びガスタイプ

圧力定格64 / 100 bar (マルチガス/マルチレンジ機能;10barまで)

アナログI/O信号, RS232-接続; (オプション)フィールドバスインターフェース

エレクトロ-ケミカルポリッシング・サーフェース

コンパクト/モジュラー構造

適用例

分析計/環境機器

食品、化学、石油化学分野におけるガス流量のモニタリング

ガス供給設備におけるガス消費量計測(除く取引用)

ガスリーク検査

半導体分野

表面処理等

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