真空機器 2007年07月13日
半導体デバイスの製造過程で、シリコンウエハーの上にある薄膜を
エッチング（簡単に言いますと削る）するためにドライエッチング装置を
使用します。塩素ガス系フッ素ガス系のガスを利用し１〜１０ -1Ｐａ台
の圧力で保持し、二極間で放電を発生させるとガスがイオン化され、
そのイオンの衝突でスパッタリングと活性イオンによる化学反応により
試料の表面が削られていきます。
試料表面のマスク（レジスト膜）などが付着しているその穴を利用し
エッチングすることで表面に凹凸のパターンが作られるのです。
ドライエッチング装置は化学反応装置ですので他の真空装置とは異
なります。一般的な真空機器は内部のガスを出来るだけ排出し綺麗な
雰囲気の状況を作ることを目的としていますが、ドライエッチチング装置
は、真空内部に反応生成物が生成されますので汚染され、その処理が
問題となりがちです。
導入ガスの流量は反応の進むスピードや質によって決まってきます。
そのための最高の条件を維持するために真空排気系の容量は大きめな
排気セットを必要とします。
真空装置の排気系のご相談やメンテナンス、新規のポンプの検討など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉のお天気は？
７月１３日
天気 曇りのち雨
ボンベ庫の温度 昼２４℃、夜２４℃
です。
大リーグのオールスターゲームでランニングホームランは
イチローが初だそうです。
何ごともはじめてことをなすことは、凄いことだと思いますし
なかなかできることではありません。
イチローのやっていることは、今を生きる人に力を与えてくれる
すばらしい実践ジャーだと思います。
凄いですよね〜
ガスの知恵袋 2007年07月12日
昨年のちょうど今頃、県内の高校の部活動部室で、コールドスプレーを
充満させれば冷えるだろうということで中身のガスを充満させ、その中で
タバコの火をライターで点火して爆発事故になり、５人の生徒が重軽傷を
負った事故がありました。
当然、コールドスプレーの冷却材を押し出すために使用している燃料ガス
が充満していた状況で火種を付けたので、自ずと爆発したこととなります。
コールドスプレーや殺虫剤など、噴射用には「プロパンガス」が使用されて
います。お鍋を温めるためのカセットコンロのボンベは、熱量の多い「ブタン
ガス」です。ちなみにタバコの１００円ライターの中の液体は、ブタンガスで
およそ０．２ＭＰａの圧力で液化した液化ブタンガスが液状で見えているのです。
可燃性ガスは、その量によっては爆発的に燃焼します。高圧ガスはそのガスの
物性をよく理解し安全に使用しましょう。
高圧ガス、高圧ガス保安法、高圧ガス供給設備など
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今日の埼玉川口市の天気は？
７月１２日
天気 曇りのち雨
ボンベ庫の温度 朝２４℃、昼２５℃、夜２５℃
です。
久しぶりに池袋に参りました。
２０年前の学生時代、終電車が無くなり
西口駅前の公園で夜を明かしたことを
ふと思い出しながら町並みを眺めてました。
思い出の中の絵は、何も変わっていませんね。
真空の知恵 2007年07月11日
アルミ製真空チャンバーのご相談なら
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お気軽にご相談ください。
ステンレスチャンバーの１/３の重量は、装置の移設やちょっとした
移動も簡単です。
外径寸法が W1600xD800xH800 のチャンバー本体重量が
ステンレス製で約９００ｋｇに対し、アルミ製チャンバー
の場合、３５０ｋｇです！
床の強度をそれほど気にせず大型真空チャンバーを
簡単に搬入、搬出が出来ることは見えない最高の
メリットです。
真空チャンバーの製作のことなら
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
７月１１日
天気 雨
ボンベ庫の温度 朝２３℃、昼２３℃、夜２４℃
です。
宝島社 「ご当地バカ百景」より
埼玉県人は・・・、終電が早く、都内で１１時を過ぎたら一泊します。
とか
「うまい、うますぎる」と言われれば・・・、「十万石饅頭」と即答できる。
と解説。
面白いですね！！
Cl2 (塩素) 2007年07月10日
塩素ガスは、刺激臭のある黄緑色の空気より重い気体です。
毒性が強く、支燃性ガスです。希ガス、炭素、窒素、酸素以外
の元素とは直接化合し、黄燐、アンチモン、銅などの粉末は
塩素ガス中で発火燃焼して塩化物に変化します。
塩素ガスと水素との混合物は、塩素爆鳴気と呼ばれており
冷暗所では変化しませんが、加熱したり直射日光や紫外線に
曝されると爆発的に反応して塩化水素に変化します。
Ｈ２ ＋ Ｃｌ２ → ２ＨＣｌ
メタンガスやエタンガスなど炭化水素も塩素とは同じような反応
をし、多くの塩化物を作ります。
塩素ガスは、水に溶融すると塩酸と次亜塩素酸とを生じます。
塩素は水がありますと漂白作用を示しますが、これは生成した
次亜塩素酸が分解して生じた発生期の酸素の働きによるものです。
Ｃｌ２ ＋ Ｈ２Ｏ ＝ Ｈ＋ Ｃｌ− ＋ ＨＣｌＯ
ＨＣｌＯ → ＨＣｌ ＋ （Ｏ），２（Ｏ） → Ｏ２
水分を含んだ塩素ガスは、常温でも極めて腐食性が強く、チタン以外
のほとんどの金属を激しく腐食します。乾燥した塩素ガスは、常温では
金属に対する腐食性がほとんどありません。しかし、鉄が１２０℃を超え
ると腐食が進み、高温になると急激に反応して塩化物になります。
その一方で、チタンは反対に乾燥塩素ガスとは反応しやすいものです。
塩素は毒性が強くて、吸引すると呼吸器が侵されます。１０ｐｐｍで激しく
咳き込み、３５〜５０ｐｐｍで３０〜６０分で死亡。９００ｐｐｍではただちに
死亡するとされております。
ガス各論を、勉強しながらこのブログにも反映しております。繰り返し見聞き
することで身につくものだと自分自身が感じております。
特殊ガス供給設備、高圧ガス保安法対策の設備など
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ありがとうございます。
よろしくお願い致します。
今日の埼玉川口のお天気は？
７月１０日
天気 雨
ボンベ庫の温度 朝２３℃、昼２４℃、夜２４℃
です。
雨の少ない梅雨ですが、シトシトと梅雨らしい雨の一日で
紫陽花や草花が生き生きとしているように見えました。
ただ、小学校のプールは、ちょっと鳥肌ものですよね。
Cl2 (塩素) 2007年07月09日
塩素ガスを工業的に製造するには、電気分解により「隔膜法」と
「イオン交換法」と呼ばれる方法が一般的です。
「隔膜法」
隔膜法は、電解槽の陽極を石綿製の隔膜に囲み、陽極から発生
する塩素と陰極から発生する水素とが混合しないようにします。
生成した塩水は陽極室に供給されてゆき隔膜を通過して陰極室に
移ります。この間に電解作用が働き、陽極に塩素ガスが発生するの
です。陰極ではナトリウムイオンが苛性ソーダに変わり、更に水素ガス
が発生します。
陰極液は食塩と苛性ソーダの混合液となっているので、これを取り出し
濃縮して食塩を晶析分離させます。生成した苛性ソーダ（５０％NaOH）の
中には約１％の食塩が不純物として残存します。
以上が隔膜法です。
「イオン交換膜法」
陰極と陽極を陽イオン交換膜で仕切り、食塩電解により塩素を発生させます。
精製食塩水を陽極室側に送ると陰極で塩素ガスが発生。Na+イオンと水がイオン
交換膜を通過し陰極室に入ります。陰極では苛性ソーダを生成し水素ガスを発生
させます。食塩はイオン交換膜を通過しないので、高純度の苛性ソーダを得ること
が出来るのです。
以上がイオン交換膜法です。
高圧ガス用流量計（フロメーター：浮き子式・質量流量計：マスフロコントローラー）
のことなら川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
７月９日
天気 くもり
ボンベ庫の温度 朝２３℃、昼２７℃、夜２６℃
です。
川縁の湿地帯で、２〜３週間前からウシガエルの鳴き声が
大きく鳴り出しました。夜、暗がりから突然そんな鳴き声が
聞こえると結構ビックリするくらいの大声です。
ガスの知恵袋 2007年07月08日
昨日、ご紹介した大気圧に関する追加の説明です。
地球の表面が大気により受けている圧力を大気圧といいます。
標準重力加速度 9.80665 m/s2 の場所で、密度が12395.1
kg/m3 であり、 ０℃ の水銀柱が 760 mm を示す場合の大気圧
のことを標準大気圧と呼びます。
このときの水銀柱の底面積を １cm2 ( = 10 -4m2 ) とするとき
その水銀の質量は？
13595.1 kg/m3 x 0.76m x 10 -4m2 ≒ 1.033 kg
この質量に標準加速度 9.80665 m/s2 を生じさせる力は？
1.033 kg x 9.80665 m/s2 ( kg･m/s2 = N )
この力が １cm2 ( = 10 -4m2 ) に作用しますので・・・
1.033 x 9.80665N ÷ 10 -4m2 ≒ 1.013 x 10 5N/m2
= 0.1013 x 10 6Pa
= 0.1013 MPa
と、なります。
高圧ガスに関するご相談、機器の選定などは
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談
ください。
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今日の埼玉のお天気は？
７月８日
天気 くもり
気温 ２３℃
です。
道端にある欅（ケヤキ）が、めいっぱい
枝葉を伸ばしその先端には若草色の
若葉が見られます。
その成長のスピードは相当なもので
植物の生きる力のすばらしさを感じますね。
ガスの知恵袋 2007年07月07日
地球上にはエベレストのような山岳地は別として、大気により
すべて０．１ＭＰａ程度（計測しているその場所や、気象条件に
より厳密には異なります）の圧力が常に加わっておりおります。
これを加算するか？ それともしないか？
により圧力の値に０．１ＭＰａ程度の差が生じるのです。
現に高圧ガスを使用する機器装置などには大気圧が加わって
います。この大気圧を加えないで表示する方法が使用されて
おります。この大気圧を基準点（ゼロ点）にした測定方法が
ゲージ圧で、通常高圧ガス関係の装置に
使用されている圧力計の値はゲージ圧です。
これに対して、大気圧を存在するものと考えずに絶対真空を
想定して、それをゼロ点とすることで基準値として圧力にしよう
としているのが絶対圧力ですが・・・
絶対真空は成立しないもの、ありえないものなのです。
真空度が絶対的にゼロという空間は存在し得ない。
熱力学上の計算でも成立しないそうです。
結果、ゲージ圧力に表示されている圧力は、これに０．１０１３ＭＰａ
加えた値で計算しなければならないということになります。
ゲージ圧 ＝ 絶対圧力 − 標準大気圧（０．１０１３ＭＰａ）
真空装置などで大気圧にプロセス真空度を要求される場合など
混同される場合があります。ご注意ください。
ガス・真空・低温機器のことなら
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今日の埼玉のお天気は？
７月７日
天気 曇りのち晴れ
気温 ２３℃
です。
２００７年７月７日。
見ようによっては「７」が３つ揃う珍しい日付です。
今日は、天気予報で雨や曇りの予報が１０日から
１週間前当たり前に報道されておりました。
ですが、お蔭様でお星様を見ることが出来そうな
出来なさそうな、そんな夜空を拝められています。
Cl2 (塩素) 2007年07月06日
上水処理では今でこそ次亜鉛塩素酸ナトリウム（学校の
プールでツーんとする臭いの元）が利用されるようになりま
したが塩素ガスを水道水の除菌に利用されております。
塩素ガスはその性質上、水に溶けやすい作用を利用し
水素イオンと次亜鉛酸を生成します。
Cl2 + H2O → HOCl + HCl
HOCl → OCl- + H+
細菌の細胞膜を透過して吸収軽系酵素を阻害して細胞の
同化作用を阻害して殺菌します。
塩素ガス（液化塩素）、次亜塩素酸ナトリウム、硬度さらし粉
などを上水中に０．１ｐｐｍ以上残留することが行政の指導
事項です。
※最新の指導数値については、都度お客様地震でご確認ください。
また、下水用でも消毒や脱臭用途で利用されております。
下水処理場での塩素ガス処理の効用は・・・
・塩素処理
・臭気抑制
・ＢＯＤ除去
・閉塞した床機能の回復
・活性スラッジバルキングの是正
・散気装置に留積した固形物の除去
などです。
塩素消毒では、塩素ガスがバクテリアに不可欠な酵素を破壊する
ことと、酵素の細胞膜を通り細胞原形質に化学反応を起こすことで
作用します。
また、その強力な酸化作用によって硫黄分解菌を殺し、臭いの元の
硫化物を酸化し、臭いの元を化学反応させます。
特殊ガス、特殊ｶﾞｽ用調整器、特殊ｶﾞｽ用ﾊﾞﾙﾌﾞ、特殊ｶﾞｽ用流量計など
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今日の埼玉川口のお天気は？
７月６日
天気 晴れ
ボンベ庫の温度 朝２３℃、昼２７℃
です。
冬季オリンピックがロシアのソチ開催で決定したそうです。
オーストリア・ザルツブルグと韓国・平晶は残念ながら次の
機会となりました。
日本での長野五輪では、目の前をスウェーデンのインゲマル
ステンマルク、イタリアのアルベルトトンバ、ルクセンブルク
のマークジラルデリ、ノルウェーのケティルアンドレオーモット
などコンチネンタルサーカスを沸かせている選手にサインを
お願いできる距離に接することの出来るすばらしい機会でした。
懐かしいですね〜
Cl2 (塩素) 2007年07月05日
マグネトロンＲＩＥ装置など溶液を使用しないでイオン
やプラズマなどでエッチングするのが「ドライエッチング」
です。この装置に前述の塩素ガスが利用されます。
配線材料などに使用されるＡｌはCl2分子やCL原子
と自発的に反応し、表面の自然酸化膜がイオン衝撃
によって除かれた後、エッチング作用で等方的に進み
アンダカットを生じさせます。そのため、堆積膜を生じる
ガスの添加やレジスト分解物などで厚い側壁保護膜を
形成して方向性のエッチングを達成しているようです。
CHCL3（クロロホルム）などを添加しより堆積量を調整
するそうです。
塩素ガスの供給設備には、温度と蒸気圧との関係から
供給配管をヒーターで加熱しながら装置チャンバーまで
導く必要がある場合もあります。
塩素ガス供給設備や特殊ガス配管工事など
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今日の埼玉のお天気は？
７月５日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２２℃、昼２７℃、夜２６℃
です。
昨日の雨が上がって、夏の日差しが戻った天気の良い一日でした。
直射日光はギラギラしていたものの、風が適度に吹いていて
不思議と清々しい気持ちのいい初夏を感じさせる快晴でしたね。
ガスの知恵袋 2007年07月04日
海外製の装置やガスシリンダー付属のバルブには
CGA規格の継手（フィッティング）が使用されていること
があります。
CGA580(ｵｽ） x 22,14 右(ｵｽ) 真鍮製
22,14 右(ｵｽ) x CGA580(ｵｽ) ブラス製
製作納期：約２週間より
日本規格とCGA規格の異型ジョイントが必要になりましたら
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今日の埼玉のお天気は？
７月４日
天気 あめ
ボンベ庫の温度 朝２０℃、昼２１℃、夜２１℃
です。
九州で相当な雷雨になった雨雲が東海から関東にかけ
同様の豪雨を降らせました。
夜１０時過ぎ小田原から新横浜間で新幹線が運転を見合わ
せるほどの雨が降りました。
もう少しで京都から埼玉に帰り損ねるところでした。
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