MFC/MFM (マスフローコントローラ) 2009年05月13日
超微粒量コリオリ式マスフロー
この写真の機種は
超、超、超、超 ・・・微少な流量計です。
実運用をご存知の方はビックリされると思います！
100 μL/min 仕様の超微粒量液体用マスフローコントローラーのご紹介です。
フルスケール 100 μL/min に対し、実際の使用できる流量レンジは
2 ～ 100 μL/min になります。
測定原理はコリオリ式で、コントロールバルブが内蔵されている流量制御が
可能なコリオリ式マスフローコントローラーです。
他にも低差圧、腐食対応、高圧ｶﾞｽ申請仕様（1MPa以上）、液体MFC・MFMまで
特殊仕様のﾏｽﾌﾛｰｺﾝﾄﾛｰﾗｰやﾏｽﾌﾛｰﾒｰﾀｰのことなら
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
５月１３日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２１℃、昼２６℃、夜２４℃
です。
母の日！
スーパーではカーネーションや花束のコーナーが
設けられており、買い物客に交じってお父さんたちが
恥ずかしそうに花を買い求める姿がチラホラありましたね。
そう、私もその一人でした。（恥ずかしい・・・。）
ガスの知恵袋 2009年05月12日
ガスや水などの流体制御には欠かせないバルブですが
電磁式駆動タイプもまだまだ一般産業用をはじめ特殊な
ものから、ご要望に応じた１台のためのハンドメイドまで
ございます。
特殊な電磁弁ラインナップ
・高温対応型電磁弁
Max ２０MPa （７０℃）
・高温対応型電磁弁
Max ２５０℃
・極低温型電磁弁
Min -１９６℃
・電磁スプリングリターン式電磁弁
・高精度電動コントロール型電磁弁
・RoHs 対応型電磁弁
など、電磁弁のことなら川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
５月１２日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２１℃、夜２４℃
です。
街路樹できれいな花を見つけました。
「長実雛罌粟」
と書くそうです。
答え：ながみひなげし
細長い茎に、可憐なオレンジ色の花びらが印象的です。
環境関連 2009年05月11日
今世界では自然からの恵みを電気に変える装置が沢山
売られています。太陽光 発電もその一つの方法ですが、
風力発電も有望な方法です。最近は風力発電と 太陽光発
電がドッキングした装置もあります。
さて太陽光発電と、風力発電のメリットとデメリットは何でしょう？
太陽光発電
メリット
・住宅の屋根などのデットスペースを有効活用できる
・余った電気は買い取ってくれる
デメリット
・夜間は発電できない
・導入コストが高い
風力発電
メリット
・導入コストが安い
・夜間も発電できる
デメリット
・発電は風次第
・鳥がぶつかったり、景観をそこねる
・余った電気を買い取ってくれない
双方良し悪しですね。よってお互いのデメリットを補い
合える、ドッキング式 が現時点では良いかと思います。
バッテリーを搭載すれば、災害などの緊急時 も役に立
ちそうです。
日本では発電設備と送電設備を電力会社が保有して
います。海外ではそれらは 別の会社が運営しているよ
うです。よって風力発電の余剰電力の買取などには 柔
軟です。日本の規制が緩和されて風力発電の余剰電力
も買い取ってくれると ありがたいのですが。
by toshimatsu
分析装置用ガス（標準ガス、高純度ガス、試験用雰囲気ガス
混合ガス、ゼロガス）や特殊ガス配管工事のご相談のこと
なら川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご連絡ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉川口のお天気は？
５月１１日 月曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２０℃、昼２５℃、夜２３℃
です。
プーチン首相が来日しています。
サハリンのLNG権益や領土問題、日本の経済、技術力
を期待する接近とも揶揄されています。
外交交渉が不得手な日本ですが、民主党小沢さんの
代表辞職で足元が騒がしいですが、凛として対処して
いただきたいものです。
真空の知恵 2009年05月10日
磁性体材料スパッタリングでは、その磁性体材料とマグネ
トロンの磁場に起因するする多くの問題を抱えています。こ
のもっとも単純な理由は、プラズマ中の電子を閉じ込めるた
めのマグネトロンソースにより生じる磁界が強磁性体ターゲ
ットそのものにより吸収してしまうことにあります。ここの
材料の特性にもよりますが、この問題は大小に関わらず発生
します。この問題の一つは、ターゲットの厚みが制限されて
しまうことです。材料の磁性飽和特性に依存して使用できる
ターゲット厚は変化しますが、強磁性体ターゲットを透過し
てターゲット表面上に放出される磁界強度は、効果的なスパ
ッタリングプラズマを維持するのに十分な磁界強度（２００
〜２５０Gauss）でなければならないため、ターゲット厚を
制限する必要が生じます。これによりターゲットの交換頻度
が増し、アプリケーションによっては装置の生産性を低減す
ることになります。
ターゲットの厚みを最大にするためにマグネトロンソース
から生成される磁界強度を強くすることは可能ですが、鉄
（Fe）のような材料の場合、極めて高い磁界強度を使用した
場合でもターゲット厚は制限されてしまいます。また、ター
ゲットとマグネトロンソース内の磁石の引力によりターゲッ
ト取付け取外しが困難であるということがあります。
二つ目の問題として、強磁性体材料スパッタリングに対す
る従来のアプローチではターゲットの使用効果が、非磁性材
料スパッタリングの場合と比較して低いことがあります。こ
の理由はターゲットエロージョンによる形状の変化がターゲ
ット表面上に磁界プロファイルに影響を与えることにありま
す。ターゲットがスパッタリングレーストラックの中心部で
局部的により多くスパッタされるにつれて、その部分の磁性
材料が少なくなり、それにより局所的にさらに強い磁性が発
生します。
これにより多くの材料がスパッタされることで、局所的に
より強い磁界を発生させ、さらにはよりエロージョンが中心
点に収束されるという悪循環を生じます。この現象は一般的
にプラズマの「pinching（圧迫）」と呼ばれており、材料に
よっては５〜１５％の消費率しか得ることができません。こ
の圧迫は磁性を帯びた板（Shunt plates）をターゲット裏側
に設置することである程度防ぐことができますが、この板の
厚みの分ターゲットの厚みはさらに制限されるだけでなく、
消費効率に関しても非磁性材料ターゲットの消費効率に近づ
くことはできません。つまり、問題は重大で、大部分のユー
ザーは強磁性体材料スパッタリングプロセスの非生産性を我
慢しなければなりません。
この問題を解決する方法のひとつのオプションとしてマグ
ネトロンマグネットを移動（回転）するという方法がありま
す。これは従来から行われている方法で、圧迫効果を解消す
るためにプラズマをターゲット上で移動させるために使用さ
れます。良いデザインであれば、マグネトロンソースで４０
％以上の高い使用率を得ることができますが、この強磁性体
材料ターゲットによって引きつけられる磁石を駆動すること
になるためソース自体が高価になります。また、磁石を移動
してもターゲットの厚みの問題は解決されていません。
GENCOA社ではLOOPまたはLPと呼ぶマグネトロンソースを開
発しました。この特許は、現在出願中のため詳細はお見せす
ることはできませんが、皆様にご紹介する用意は整っており、
マーケティングおよび販売を開始しております。
LOOPマグネティックスは基本的に強磁性体材料スパッタリ
ングの従来の問題を解決しています。実際の非常に厚いター
ゲットを使用して、例えば最大で１２mmあるいは1/2インチ厚
の鉄（Fe）ターゲットを６インチ幅のマグネトロンソースを
使用することができます。しかしより重要なのは、ターゲッ
ト使用率が高い（３５〜４５％）ということです。つまり非
磁性体材料ターゲットの場合の従来型二極マグネトロンソー
スの使用率（約２５％）よりも高く、GENCOA社の高使用効率型
（High Yeild-HY）多極マグネトロンソース（４０％以上）と
並ぶ使用率まで高められています。
性能面においては、強磁性体材料スパッタリングは他のスパ
ッタリングプロセスと同様に実利的に行うことができるように
なりました。鉄（Fe）ターゲットに対して比較を行えば、新型
の６インチ幅LOOPマグネトロンソースでは２０〜３０倍の長い
ターゲット寿命を実現することができます。またLOOPマグネト
ロンソースの価格は従来型の強磁場型（High Strength-HS）
マグネトロンソースと同様になっております。
このLOOPソース、強磁性体材料スパッタリングを行っている
プロセス改善を課題にされているお客様はぜひご相談下さい。
GENCOA社製マグネトロンソースのほか、真空排気装置、真空チャ
ンバー、真空ガス導入系のことまで、川口液化ケミカル株式会社
へご連絡ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
５月１０日 日曜日
天気 はれ
気温 ２８℃（PM7:00）
です。
今日は気温が３０℃以上に上がって
さいたま市や川口市では光化学スモッグ注意報が
発令されておりました。夏のような気温が早くも
始まりますね。
LPG (液化石油ガス) 2009年05月09日
みなさまが安全にお使いいただいておりますプロパンガスは
なんと日本国内で５１％の使用率です。実はこのガス、安全に
検査された器具を使っていればなんの問題もないのですが、
ひとつ間違うと大たいへんな事故につながるガスですので注意
が必要です、
ここで、プロパンガスの性格をご紹介しましょう。
ガス名 プロパンガス（液化石油ガス） 化学記号 Ｃ３Ｈ８
ガス比重（空気との比率） １．５２
（空気より重いガスです）
ガス／液比重（ガス化した体積） ２７０
（ボンベからガスが漏れると２７０倍に膨らみます）
沸点（液体充填） −４２℃
（ボンベから出る白い液体は低温で直接触ると凍傷になる恐れがあります）
燃焼空気量（完全燃焼空気量） ２４倍
（ガス：空気＝ １：２４ですから換気が必要なのです）
燃焼範囲（空気中の燃焼範囲） ２．１〜９．５％
（非常に燃えやすいガスなので、空気中に１／１０００以上
漏れると気づくように着臭しています）
上記のような性格を持ち合わせたLPガスです。簡単に便利に
使用しましょう。プロパンガスやガス器具の修理、交換取付け
のことなら川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご連絡ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
５月９日 土曜日
お天気 晴れ
気温 ２４℃ （ＰＭ １：００）
です。
新型豚インフルエンザの日本国内発症が初めて確認されました。
政府、各自治体からの情報、対応処置を迅速、確実に行うことが
大切ですね。
by mitono
Air (空気) 2009年05月08日
圧縮エアー（コンプレッサーエアー）を利用した応用機器
をご紹介させていただきます。エクセア社製「エアーナイフ」
は流体力学のコアンダ効果を利用して４０倍に増幅された
強力で均一なシート状薄層エア流を噴き出すことにより製造
ラインでのダスト除去やクリーニング効果、乾燥目的、ブロー
オフ、冷却用途などに最適なシステムです。しかも、低騒音
デザインで、圧縮空気の最大増幅率は４０倍のため、省エネ
効果は抜群です。
エクセア社製標準エアーナイフは、部品、ウェブまたはコンベ
アをクリーニングしたり乾燥または冷却するために効率的です。
標準エアーナイフはコアンダ効果を利用し周囲から大量のエア
を引き込むことで、少量の圧縮エアを使用して、大容量の高速
シート状エアフローを発生させることができます。
標準エアーナイフはエアー増幅率３０倍で、ドリル穴パイプと
比較すると1/3の圧縮エアー消費量で済みます。従って、自家製
ブローオフ部品と交換すれば、運転コストを４０〜９０%低減でき、
省エネとCO2削減に貢献し、騒音レベルも約半分に改善されます。
圧縮エアー、オイルフリーコンプレッサー、圧力作動バルブなど
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
５月８日 金曜日
天気 雨ときどき曇り
ボンベ庫の温度 朝１５℃、昼１８℃、夜１７℃
です。
脚下照顧
「脚下」は、脚跟ともいい、かかと、くびすのこと。
「照顧」は、気をつける、身近なことと照らし合わ
せてよく調べること。自分の足元を十分気をつけ
ることを意味します。歩いているときも、足を止め
ているときも、自分の足元に注意を払うことが大
切であるとしています。
そこから転じて、問題が起こっても、他人のせい
にしたり、外部に向かっていろいろ理屈をいう前に
まず自分の内面に眼を向けなさい、といった自己
反省を促すときに用いられる禅語です。
Air (空気) 2009年05月07日
エアー制御機器のトータルアレンジメーカーである
エクセア社製の「デジタルフローメーター」は圧縮エア
消費量とリーク量をモニタできるコンプレサー稼働率を
管理できるセンサー及び表示器からなります。表示部
のデジタル表示は、現在使用されている圧縮エアの正
確な流量を計測表示します。この数値を管理することで
エアーコンプレッサーが非効率に稼働している製造ライン
または配管からのリーク損失を発見することができます。
たとえばコンプレッサーの浪費による年間あたり数十万円
を節減させることが容易にできます。圧縮エア消費量を
常時もモニタすることで、無駄な使用量を減らすために、
さまざまな製造現場でデジタルフローメータをエア分配シス
テムの主要ポイントに設置しています。
エアーコンプレッサー管理用デジタルフローメーター カタログ
エアーコンプレッサーの便利グッズ ＥＸＡＩＲ社製品のことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談下さい。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
５月７日 木曜日
天気 雨ときどき曇り
ぼんべ庫の温度 朝１５℃、昼１６℃、夜１６℃
です。
台風一号が父島の近くで発生したようです。
そろそろ高気圧の活躍する時期が近付いていますね！
ＧＷ中も植物を畑に植えるため、ホームセンターには
大勢のお客様が列をなしてました。
ゴーヤやキュウリ、トマト、茄子などなど。
熱くなるに従って、植物も成長が加速度を増します。
MFC/MFM (マスフローコントローラ) 2009年05月06日
液体用ﾏｽﾌﾛｰ＋送液ﾎﾟﾝﾌﾟｼｽﾃﾑ
上のマスフローコントローラーは、コリオリ式の微流量を調整できるポンプとの
組合せを行ったシステムです。
架台に接続していますが、この体制から流路を垂直方向に変更できるようにし
たものです。
そうです！
コリオリ式マスフロー＋ポンプシステムは、取付位置を選ばず、水平、垂直
いずれの体制でも使用可能なのです！
微少流量制御において、精度や動作の安定性など突き詰めていくとさまざまな
発見もあります。
時と場合によっては、お客様のご要望により無茶な環境で使用して、問題なく
流量測定、流量制御できることがわかることもとあります。
マスフローコントローラーに関するご質問、お問い合わせ
のことなら
どうぞ弊社までご連絡ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
５月７日 水曜日
天気 雨
気温 １６℃（PM8:30）
です。
しとしと雨が降り続いてます。
GW前半の快晴で屋外活動全快でしたし
後半のしめやかな雨でスローダウンして
安息日となりちょうど良かったかもしれません。
SiH2Cl2 (ジクロロシラン) 2009年05月05日
半導体工業での高速度エピタキシャル成長や
窒化シリコン膜の生成に利用されいているSiH2Cl2
ジクロロシラン（二塩化シラン）のご紹介です。
SiH2Cl2 分子量 101.010 可燃性・毒性ガス
物理的性質は？
気体では無色透明で刺激臭がします。密度が
25℃、0Pa、空気を１とした相対密度で 3.52 です。
液体の場合には、白色で密度は、15℃、0.03MPa
において 1.247 kg/Lで、沸点 8.4℃、蒸発潜熱が
249 kJ/kg（沸点）、臨界点 176.3℃において4.28
MPaです。
発火点は気体で、50〜100％、爆発範囲は4.1
〜99％、許容濃度の規定はありませんがｸﾛﾙｼﾗﾝ
と類似した毒性と考えられ 5ppm 程度のようです。
ｸﾛﾙｼﾗﾝは、水と反応して塩酸とポリシロキサンと
なり、刺激、腐食作用を持っています。気道に吸入
すると皮膚や粘膜、気道に刺激を与えます。特に
目に対し飛翔暴露により 失明の危険があります。
症状として、皮膚、粘膜、呼吸器系の刺激、腐食
症状が主で、皮膚の重い化学性火傷や壊死、目
の粘膜炎などが起こります。気道に対する炎症は
重い肺水腫、肺炎などで呼吸困難、流涙、鼻汁など
です。非常に広い爆発範囲で、５０〜１００℃で自然
発火して塩化水素や塩素、水素、シリコンなどに変
化します。
化学的性質は？
一般にシラン、ジシランに比べて熱安定性が高く
酸化剤との反応は穏和です。その反面、水とは激し
く加水分解し塩化水素を発生します。アルカリ、アル
コール、アセトンなどと反応し、危険な重合体生成は
水、アルコールと接触しない限り起きません。水分を
含まないものでも腐食性が強く、特にアルミニウム
銅などは使用できない材料ですので注意が必要です。
水分を含んでいると塩化水素や塩酸となりますので
更に材料の選択が難しくなります。
適用法規は？
・高圧ガス保安法
・労働安全衛生法（令別表第一危険物可燃性のガス）
・船舶安全法（危規則第三条危険物等級２．３高圧ガス）
・航空法（積載禁止）
・港則法（規則第十二条危険物高圧ガス）
英語名 Dichlorosilane 別名 二塩化シラン
CAS No,4109-96-0
国連番号 2189
既存化学物質番号 1-217
特殊高圧ガスに係るガス供給設備（ｼﾘﾝﾀﾞｰｷｬﾋﾞﾈｯﾄ
ｶﾞｽﾏﾆﾎｰﾙﾄﾞ・ｶﾞｽﾎﾞｯｸｽ・流量制御機器）・現場での
ｶﾞｽ配管工事など川口液化ケミカル株式会社まで
どうぞご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
５月５日 火曜日
天気 くもり
です。
こどもの日ですね。
大きな鯉のぼりが風にのっておよいでいると
気持ちがよさそうに感じますね。
新緑の緑も徐々に黄緑色から深緑へと変化
してきているようです。
ガスの知恵袋 2009年05月04日
高純度水素、高純度酸素、純水、真空配管、排気ダクト
など特殊ガスに係わる現場のガス配管工事のことなら
川口液化ケミカル株式会社まで、どうぞご相談ください。
燃料電池用酸素、水素、純水、VENT等 SUS製1/4″配管
末端ﾀﾞｲﾔﾌﾗﾑﾊﾞﾙﾌﾞ＋ﾜﾝﾀｯﾁ脱着継手（ｶﾌﾟﾗﾀｲﾌﾟ）
SUS316L 1/4″ｽﾃﾝﾚｽ特殊ガス配管施工
高圧ガスのご用意のことなら
川口液化ケミカル株式会社
TEL 048-282-3665
まで、ご連絡ください。
ありがとうございます
今日の埼玉のお天気は？
５月４日 月曜日
天気 はれ
気温 ２５℃（PM3:40）
です。
卓球の世界大会が開催されてます。
男子の選手がメダルを獲得する活躍を見せております。
サッカーのようにドイツブンデスリーグにプロの世界があり
若いころより鍛えられてきたそうです。
ピンチにも動じない絶対的な精神力は、一朝一夕のもの
ではないようです。
