ガスの知恵袋 2008年05月28日
除害装置の選定や設置にはプロセスガスのデポジット率
（未反応率）や副生ガスの発生量を真空排気したガスのを
勘案し選定する必要があります。そのためのプロセスおよび
プロセスに導入するガスの成分や濃度、量、性質などの情報
が重要な情報となります。
除害装置のへの排ガスの導入配管や除害装置出口の排ガ
スダクトについても、除害装置と同様に以下のような注意が必
要です。
・配管類は気密構造で、可燃性ガスの場合は不燃性の材質を
使用する
・排ガス導入配管類は、曲げ（エルボ）部分を極力少なくし、簡易
なもので、合流部を設ける場合は逆流しない構造とすること
・処理ガスごとに排気配管を分離して、配管内で処理ガスの相互
反応や空気との反応を防止、急激な温度上昇や危険な堆積物
などの生成を避けます
・排ガスダクトは堆積する粉体などを容易に、安全に除去できる構造
とし、真空ポンプからの逆流するオイルミストなどが付着しないよう
トラップやフィルターなど設置する必要があります
特殊ガスを利用する半導体製造装置や実験装置、真空装置などの
ユーティリティー配管（特殊ガス配管、排ガスダクト配管、真空配管
冷却水配管、電気配線工事）など川口液化ケミカル株式会社まで
ご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
5月28日 水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝21℃、昼24℃、夜２2℃
です。
今日の環境情報は？
夏、エアコンの寒さのために体調を崩したり、冬、部屋の
中で汗をかいている人がいる。そもそもおかしな話ですよね？
みんなが服装にちょっと気を使うだけで、これは解決できる
こと。無理な節約するまでもなく、冷暖房の使用を1℃控える
だけで、大きな削減効果が期待できます。家庭では、人がい
ない部屋のエアコンをこまめに止めることも大切です。会社な
どでは、設定温度を変えることは、ひとりではできません。まわ
りの人たちと一緒に、冷暖房の温度に対する意識を高めるよう
にしましょう。
ガスの知恵袋 2008年05月27日
水や薬液を利用した吸収処理装置(スクラバー）は、従来から
多く利用されています。
特徴としては、装置が比較的低コストで、一部のガスを除いて
大半のガスに使用でき、大風量の処理にも対応可能です。また
集塵機能をの持つものもあり、デポ物などの粉体の除去も可能で
す。
その反面、通常の装置などの大きさでは除害効率が悪く、処理
ガス中の液体や薬剤と反応生成物により薬液の塔が詰まって
閉塞することもあります。処理ガスと同時に空気も吸入するので
可燃性ガスや粉体との混合によりスクラバー内で爆発を起こす
おそれがあります。薬液で反応させたガスが残るので再放出させる
必要があり廃液などの二次処理が必要です。
高純度ガスや特殊材料ガスのボンベのご用意は
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉県川口市のお天気は？
5月27日 火曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝21℃、昼25℃、夜26℃
です。
今日の環境情報は？
すべての事業所等において、夏の冷房の設定温度を26.2℃
から28℃に1.8℃上げるとすると、ひと夏で約160〜290万トン
の二酸化炭素を削減することができます。これは、京都議定書
の目標 (マイナス6％)の約0.1〜0.2％に相当する量になるとと
もに、京都議定書目標達成計画の中で、オフィスビルなどに割
り当てられた削減量の約5〜9％に相当する量にのぼります。
ガスの知恵袋 2008年05月26日
特殊材料ガスを除害するための処理方法で、モノシランなど
自然発火性ガスや可燃性ガスなどには、燃焼式の処理装置が
有効とされています。燃焼式はバーナーなどにより強制的に
燃焼する方式が一般的です。
特徴としては、特に高濃度で大流量のガスの成分を処理する
場合など、処理方法としての安全性や除害効率などの面で最も
適しています。また、プロセス排ガス中の粉状物質やオイルミスト
を前処理する必要がないのもメリットです。
短所としては、燃焼生成物による燃焼ノズルなど先端部の閉塞
が起こりやすく、燃焼に伴い発生する粉体がベンチュリースクラバー
やバグフィルターで集じん除去しなければならない点が挙げられます。
近年、フッ素化合物や塩素化合物など腐食性ガスを燃焼j処理で
分解する実用化がなされており、PFCなど不活性ガスの分解にも
仕様用途が広がっております。ただし、いずれも出口の排ガスを
最終的にスクラバーなどで中和処理する必要があります。
特殊材料ガスで汚染された装置や排気ポンプなどの無害化処理
や真空ポンプOHなど川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の川口のお天気は？
5月26日 月曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝20℃、昼25℃、夜24℃
です。
今日の環境情報は？
先日の田植えでは、多くの気づきを得ました。
70代の高齢者が主な就労者として支えていること。
ヤゴや害虫などは、農薬や自然環境などが悪化して
バランスが崩れると大量に発生するが、安定していれば
そこに居たとしても大量発生することはない。
農家が安心して稲作を営める環境が無いのだそうです。
ガスの知恵袋 2008年05月25日
排ガス除害装置の一つである、接触酸化処理装置の
ご紹介です。
還元性の金属水素化物（例：モノシラン）や金属アルキル
化合物などに有効です。また、PFCなどの不活性の分解に
適用可能ですが出口の排出ガスをスクラバーなどで中和処
理する必要があります。
特徴としては、比較的除害効率が高く、対象成分の低濃度
域で有効なため、特殊材料ガスが漏えいしたり拡散した空気
を大風雨量で吸引処理できます。
ガスの処理量は前述の吸着法と比較しても大きく、触媒への
接触後、すぐに酸化反応が起こるのでガスの濃縮がありません。
短所は、酸化生成物の沈殿により長時間使用すると充填塔内
で圧力損失が大きくなります。処理後の粉体が排ガスダクトなど
の中に付着してダクトの清掃メンテナンスが必要です。
特殊材料ガス、特殊材料ガス用調整器、バルブ、流量計など
川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
TEL 048-282-3665
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今日の埼玉のお天気は？
天気 雨のち晴れ
気温 22℃
です。
今日の環境情報は？
京都議定書のスタート（環境元年）の今年、日本は
2012年までの5年間に、あと１３％の温暖化対策が
必要です。これは、アメリカの２３％に次ぐ大きさであり
欧州のドイツ７％、イギリス８％と比べ大きな数字となります。
NHK番組で北極の氷が無くなり、北極クマが餓死する
現象が流れていました。生態系の大きな変化が要因
となっているようです。
ガスの知恵袋 2008年05月24日
昨日ご紹介した、排ガス除害装置（固体吸着処理）
の特徴は、次の通りです。
・低濃度から高濃度まで処理対象ガスに対応できる
・高い除害効率が得られる
・比較的コンパクトであり、製造装置近傍の室内に設置
が可能である
・製造装置への水分などの逆流がない
逆に、デメリットは
・吸着の劣化（破過）が急速に起こることがあります
・処理ガス中の粉末や真空ポンプのオイルミストにより
目詰まりを起こします
・定期的にカートリッジを交換する必要があり、ランニング
コストがかかります
除害装置の選定は、そのほかの詳細な情報により
選定することが必要です。
川口液化ケミカル株式会社
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉のお天気は？
天気 晴れのち雨
気温 １９℃
です。
今日の環境情報は？
水田では、今、田植えが行われています。
一般の人を対象に、苗を田んぼに植え付け
その成長の過程を観察しながら、秋には収穫
して、食事として自分の作ったお米を食べて
その一サイクルを、自然を実感する機会に触れました。
おススメです！
ガスの知恵袋 2008年05月23日
特殊材料ガスを無害化する方法の一つである
固体吸着処理装置は、吸着現象を用いた処理に
加え、金属塩、酸化剤、アルカリなどを含侵させた
処理剤での化学反応による処理を利用しています。
除害対象は、アルシン、ホスフィンなどの金属水
素化合物ガス、ハロゲン系のガスが主です。処理
剤と吸着剤の組み合わせは次のものが良く知ら
れております。
・珪藻土などの単体に、塩化第二鉄と触媒成分を
含侵したもの
・シリカまたはアルミナ系の単体に、苛性ソーダ
過マンガン酸カリウムなどを含侵したもの
・活性炭に、アルカリまたは金属酸化物などの
触媒成分を添着したもの
・金属酸化物を粒状に成形したもの
などです。
除害方法は日進月歩、さまざまな方法が開発され
試されております。
ガス供給設備、ガス精製装置、除害装置、現場配管工事
などのことなら川口液化ケミカル株式会社までご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
ありがとうございます。
今日の埼玉川口のお天気は？
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝２１℃、昼２７℃、夜２６℃
です。
今日の環境情報は？
石油は、この４月原油は１バレル（１５９リットル）１１２ドル
をつけました。（１９７０年は２ドル）しかし、それでも石油の
原価（税金別）はリットル７０円でペットボトル飲料より安い
のです。石油は、将来を見据えたコストが必要で、石油に
限らず自然資源は、人間が人工的に作れる代替品よりも
高くしなければなりません。資源コストが現状のままなら
社会は間違ったまま進んでしまうでしょう。
石油や木材、鉱物など自然の資源は、現状の１０倍くらいの
コストにしなければ、大量消費の社会は改められないと思います。
H2 (水素) 2008年05月22日
水素ガスの爆発範囲をご存知ですか？
そうです、４〜７５ vol ％（空気中）ですよね。ということは
ちょっと漏れて、近くに着火源があると爆発の危険がある
ということです。ボンベの設置場所は屋外の風通しの良い
場所であれば、大気拡散しますので心配はありませんが
（※天井に明かりとりの蛍光灯など付けないよう注意です！）
屋内の場合は、設置環境にもよりますがシリンダーキャビ
ネットに収納して、尚且つ電灯は防爆仕様にする必要があ
ります。もちろん、水素ガス検知警報器を設備から漏えいす
る可能性のある場所に設置し、キャビネット内の高圧側遮
断する緊急遮断などの機能も必要になってまいります。
水素ガス 47L x 1本立てﾏﾆﾎｰﾙﾄﾞ
水素ガス、水素ガス供給設備、水素ガス警報器など
川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
TEL 048-282-3665
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今日の埼玉のお天気は？
5月22日木曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝18℃、昼25℃、夜24℃
です。
今日の環境情報は？
「フードマイレージ」とは？
食べものが運ばれてきた距離のことで、そのとき出るCO2を
測って、 poco（ポコ）という単位にして、食べることとCO2が出る
ことのつながりを CO2 100g = 1poco であらわします。
例えば・・・
国産小麦の食パン一斤を買うと 0.35poco
輸入小麦の食パン一斤を買うと 1.45poco
その差は、1.1pocoにもなります。
アスパラガスなら、もっとすごい。
国産アスパラガス1本を買うと 0.01poco
輸入アスパラガス1本を買うと 3.41poco
なんと、その差は、3.40pocoも！
国産食品を買うことは、輸入食品を買うよりも、ずっと
CO2を減らすことができるのです。
ガスの知恵袋 2008年05月21日
半導体製造装置などから排出される排ガスの処理は
そのガスの性質を考慮して、物理的処理、化学的処理
またはその両方を組み合わせた方法が採られておりま
す。主な除害処理方法は以下の通りです。
・固着吸着処理
比表面積の大きい吸着剤または粉粒体に、金属塩
や酸化剤、アルカリなどを含侵させた処理剤によって
対象ガスを吸着処理または無害化処理します
・接触酸化処理
比較的高温の触媒上で空気などの酸化剤を利用した
接触酸化により対象ガスを酸化して、無害化処理します
・燃焼処理
水素ガス、プロパンガス、都市ガスなど燃焼炎に対象
ガスを導入して、燃焼、酸化分解により対象ガスを無害
化処理します
・湿式吸収処理
各種のガス吸収装置（スクラバー）で水分または薬液
により対象ガスを洗浄処理します。
これらの除害装置は、除害対象となるプロセスやガスの種
類、各ガスの流量に応じて組み合わせたシステムとして利
用されます。
特殊ガス、特殊ガス配管工事、半導体製造装置の真空機器
メンテナンスなど、川口液化ケミカル株式会社までお気軽に
ご相談ください。
ＴＥＬ 048-282-3665
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今日の埼玉のお天気は？
５月２１日水曜日
天気 はれ
ボンベ庫の温度 朝１６℃、昼１９℃、夜２２℃
です。
今日の環境情報は？
南極の巨大棚氷が温暖化で予想以上の速度で崩壊へ
進行しているようです。英国南極観測局（ＢＡＳ）の調査
によれば、約４１キロに渡り亀裂が入り、その一部が消失
しているそうです。このウィルキンズ棚氷は南極半島にあ
って東京都の６倍の大きさで、１９７４年以降、この棚氷と
同じだけの面積の氷が崩壊したとされております。
CO2 (二酸化炭素) 2008年05月20日
雨水などを集めた貯水槽で、PH調整を炭酸ガスによりコントロール
することが可能です。
水槽内に炭酸ガスを 毎分数リットル バブリングさせることで正常値へ
変化させます。使用量的にはそれほど多いガス量ではありませんので
汎用３０ｋｇボンベを使用し、2本切り替えで供給し、調整のの末端で流量
を調整すれば炭酸ガス供給設備の用意は完了です。
炭酸ガス供給設備、炭酸ガス用調整器、バルブ、電磁弁など
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今日の埼玉川口のお天気は？
5月21日水曜日
天気 雨のち曇り
ボンベ庫の温度 朝16℃、夜20℃
です。
今日の環境情報は？
二酸化炭素排出係数とは、環境省発行の資料「家庭からの
二酸化炭素排出量算出用 排出係数一覧（平成18年度6月
更新）」（資料１）を使用しています。
・電気 0.39kgCO2/kwh
・ガス 2.10kgCO2/m3
・水道 0.36kgCO2/m3
・ごみ 0.34kgCO2/kg
・リサイクル 牛乳パック0.16kgCO2/個，びん0.11kgCO2/個，
スチール缶0.04kgCO2/個アルミ缶0.17kgCO2/個，ペットボトル
0.07kgCO2/個
SiH2Cl2 (ジクロロシラン) 2008年05月19日
エピタキシャル成長やＣＶＤに利用されているジクロルシランは
エーテルやベンゼン、四塩化炭素などにどのような割合であって
も混合する物理的性質を持ち、水により分解します。
また、モノシランやジシランなどに比べ熱安定性が高く、酸化剤
との反応は穏和です。化学的性質としては、水と急速な加水分解
を起こし、HCl とシロキサン混合物を生成します。
nSiH2Cl2 + nH2O → (H2Si -O-)n + 2nHCl
ナトリウムアマルガムと反応して SiH4 や (SiH)x を生成します。
一般にはハロシラン類は、加水分解、加アルコール分解、加アンモ
ニア分解を起こします。
燃焼爆発の危険性について、先ず、燃焼は以下の通りで、空気中
における化学量論比 Cts は17.3vol % です。
SiH2Cl2 + O2 → SiO2(s) + 2HCl(g)
燃焼範囲が１atm,20℃の空気中で 4.1〜98vol % で、空気中の発火
温度は100℃で、燃焼により HCl , H2 , Cl2 アモルファスシリコンなど
が生成するとされています。発火温度は 58±5℃ また、約 50℃ とい
うデーターもあります。
液体のジクロルシランが漏洩して少量の水と接触して発火したという
事例もありますが、その後の実験では、水を液体のジクロルシランに加
えても、ジクロルシランに加えても発火しませんでした。しかし、多量の
発煙があり白色粉末ないしはゴム状の可燃性の物質が残ったという文
献もあります。
密閉容器中で空気中のジクロルシラン 17vol % の燃焼実験では、点火
直後は圧力上昇は比較的緩やかですが 3〜4 ms 経過した後、爆ごうへ
の転移を示す急速な圧力上昇と瞬間的ピーク圧を示しました。生成熱は
-76.6 kcal/mol で、次の反応は若干発熱ですが分解爆発の心配はあり
ません。
2SiH2Cl2 → Si(s) + SiCl4(g) + H2(g)
毒性としてACGIH TWA では規定されていませんが、眼・鼻・喉を刺激し
喉のただれ、気管支の炎症、咳が起こります。吸入毒性の主たる作用は
ジクロルシランが空気中の水分により加水分解して生成する塩化水素に
よると考えられます。
特殊材料ガス用シリンダーキャビネットやマニホールド、特殊ガス配管
など川口液化ケミカル株式会社までお気軽にご相談ください。
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今日の埼玉のお天気は？
天気 くもりのち雨
ボンベ庫の温度 朝１７℃、昼２０℃、夜２０℃
です。
今日の環境情報は？
停車や駐車時のアイドリングを、無意識のうちにしていませんか？
アイドリング時にも、ガソリンは1分あたり約0.014リットルが消費され
ています。1日5分のアイドリングを止めたとすると、年間20時間（240
日として）。特に仕事などで車を頻繁に使われる方ほど、削減量も大
きくなります。もちろんその分ガソリン代も節約に。限られた資源を、
ムダなく、大切に。停車中は、エンジンをオフ。習慣づけが大切です。
