第6428号 質量流量計の検出原理
ガス質量流量計の流量センサーは以下の原理で作動します。
熱置換（Ｈｅａｔ Ｔｒａｎｓｆｅｒ）の原理で作動し、
具体的にはキャピラリーチューブの熱源に沿った温度差
をセンサーで検知します。
全流量の一部がメインストリーム中に設置されたラミナ
フローディバイスによって生じた圧力差（デルタＰ）で
キャピラリーに分流されます。
ラミナフローディバイスはキャピラリーとラミナフロー
ディバイス両方の流量条件が比較可能なように設計され
ていますのでメータを通過する流量は比例関係にあります。
キャピラリー上のヒーター上流、下流に位置する温度セ
ンサーで検出された温度差（Ｄｅｌｔａ Ｔ）はガス流
量によって吸収される熱量によって決まります。
ここでVsignal ＝ 出力信号
Cp = 比熱
K = コンスタント ファクター
Φm ＝ 質量流量
温度センサーはブリッジ電気回路を構成しており、温度
によるアンバランス分は直線化、増幅され信号として取
り出されます。
バイパス原理に基づくサーマル製品内では、一部のガス
のみがセンサを流れます。センサ中のガス流は２つのヒ
ータで温められます（RH1およびRH2）。これに伴って
２点のチューブの温度（T1およびT2）が測定されます。
ガスの流れが無い時、２点における温度差は０です。
流量が大きくなると、流体が熱を運ぶために上流側の
測定点の温度（T1）は降下します。同時に流体が運ぶ
熱により下流側の測定点の温度（T2）は上昇致します。
流量が大きくなる程温度差は大きくなり、この温度差
が質量流量に直接比例します。電気的には、温度T1お
よびT2は素子RHT1およびRHT2の電気抵抗（温度依存）
です。
※Bronkhorst社HPより引用
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全日本空輸は９日、羽田発着の国内線について、
７月２日から全便を計画通り運航すると発表した。
大型連休などを除く通常ダイヤで減便をゼロにするのは、
２０２０年３月以来、２年４か月ぶりとなる。
天気 にわか雨
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（エレクトリカル・ジャパンElectrical Japan（PM3:00)より）
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利根川上流域の関東ダム貯水率は？
06/09 15:00 － 千m3 － % 168.95 m3/sec
（利根川ダム統合管理事務所河川情報より）
（藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・八ッ場・下久保・草木および渡良瀬貯水池）
＊Twitter世界トレンドより
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【海外旅行】『旅費がバカ高い問題』とどう向き合うか？
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