第6351号 pa・m3/sec

He (ヘリウム) 　2022年03月24日

ヘリウムリークディテクタを使用しての漏れ量の検出は
厳密に検出可能です。

そもそもヘリウムリークディテクタは、ヘリウムガスを
使用した漏れ検査において、漏れ量や漏れ箇所の特定を
行うための検査装置です。

ヘリウムリークテストは、漏れ検査の中でも感度的に最
も優れており、かつ微小な漏れに対しても短時間で精度
よく検査ができるため、各種配管構造の部品全般、電子
デバイス、空調、冷凍機、自動車関連などの生産ライン
をはじめ、食品・薬品包装、医療機器など、漏れ検査が
必要とされるあらゆる分野で使用されています。

リーク量の単位である Pa・m3/s と・・・

１秒毎に１m3 の体積の圧力が、リークによって何 Pa 上昇するか

を表

1.0×10-11Pa・m3/s という値は、１秒毎に１m3 の体積の圧力が
0.00000000001Pa 上昇していくリーク量（漏れ量）であること意
味します。

高圧ガス、低温機器、真空機器
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