第6028号 ガス機器仕様の用語解説
ガス機器（圧力調整器、バルブ、流量計など）に使用されている
用語の解説を見てみましょう！
・内面荒さ Ra
接ガス部の機器内面の表面粗さのことをいい、Raは算術平均粗さ
のことで、標準長さにおける表面形状の山と谷の平均した値のこ
とです。Ra max は任意の部分における複数の算術平均粗さ Ra
の測定値のうち最大の測定値を意味します。
・Cv値
バルブの持つ容量係数のことで15.6℃の水がある差圧でバルブを
流れるときの流量を表した場合の数値をいいます。算出方法はSEMI
規格F32に準拠し、圧力調整器の場合には全開状態の値のことです。
・クラッキング圧力
チェックバルブ（逆止弁）の圧力が上昇してバルブが開き始めて
ある一定の流量が認められる圧力のことを言います。
・最高真空圧力
バキュームジェネレーターが発生する真空圧力の最大値をいいます。
・L/min(Nor)
気体の基準状態が0℃、1atmにおける体積流量をいいます。
・圧力特性
圧力調整器の供給圧力が一定の状態で出口設定圧力がある値を設定
した後に供給圧力の変化で生じる出口圧力の変化の量を示します。
・インボードリーク
製品内部の圧力が外部圧力よりも低い場合に起こる製品外部から内部
へと漏れるリーク量をいい、測定は製品内部を真空にして外部よりヘ
リウムガスを吹き付け内部に侵入するヘリウムガスを検出します。
測定方法はSEMI規格F1に準拠します。
・アウトボードリーク
製品内部の圧力が外部圧力より高い場合に起こる製品内部から外部へ
漏れるリーク量で、測定は製品名部にヘリウムガスを充填して、外部
に漏洩するヘリウムガスを検出します。測定方法はSEMI規格F1に準拠
します。
・内部リーク
製品内部の弁シート部におけるリーク量で測定方法はSEMI規格F1に準
拠し、ベルジャ法で測定した値となります。
・ベルジャ法
リーク試験方法で、ヘリウムを封入した試験体を真空容器のベルジャ内に
入れて、ベルジャ内をヘリウムリークディテクターに接続して試験体から
ベルジャ内に漏れ出るヘリウムの量を検出する方法です。
・SEMI規格
半導体、フラットパネルディスプレイ、ナノテクノロジー、MEMS、太陽光発電
その他関連技術の製造装置、材料、関連サービスを提供している企業の国際的
な工業会が発行している自主基準のことを言います。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
皇紀２６８１年（西暦２０２１年）
令和3年5月 5日 水曜日 下弦の月
二十四節気 第七節気 立夏（りっか）
七十二候 第十九候 蛙始鳴（かわずはじめてなく）
日産自動車は1.5%保有する独ダイムラーの株式を全て売却する
と発表し仏ルノーも手放しており、日仏連合はダイムラーとの
資本・業務提携を縮小します。1株当たり69.85ユーロで6月末
までに機関投資家に売却し売却額は約1500億円になる見込みです。
天気 あめ
気温 １８℃ (PM10:00)
埼玉県のPM2.5観測地点 10.05μg/m3（さいたま市城南）
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（エレクトリカル・ジャパンElectrical Japan（PM3:00)より）
北海電80%、東北電87%、東京電84%、中部電87%、北陸電73%
関西電86%、中国電91%、四国電71%、九州電86%、沖縄電71%
利根川上流域の関東９ダム貯水率は？
05/05 22:00 496,060千m3 89.9% 80.13m3/sec
（利根川ダム統合管理事務所河川情報より）
（藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・八ッ場・下久保・草木および渡良瀬貯水池）
＊Twitter世界トレンドより
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西野亮廣氏ブログ by Ameba
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