第5758号 真空ポンプRPでの高圧力領域排気
低真空ポンプの汎用機RP:ロータリーポンプで 100Pa以上の
高圧力領域で真空排気する場合、どうするのでしょうか？
100Pa 以上の高圧力領域を真空ポンプで排気する場合、大気圧
からの排気を繰り返し頻繁に行う場合や、長時間連続的に大気
付近の圧力をロータリーポンプで吸気すると、ポンプは多量の
オイルミストが排出口から放出され、ポンプ内のオイル量も著
しく減少し無くなっていきます。
ポンプ外に放出されたオイルミストを放置すると真空排気ライン
はオイルだらけの油まみれになり、場合によると排気ダクトの
シールの緩い継手部などからオイル漏れが発生し周囲を汚染し
ますので、ポンプ排気口側にオイルミストトラップ（オイルミ
ストエリミネータ）など取り付けることでオイルミストを補足
してポンプのオイルの減少も抑えることができます。
放出されるオイルミストの量が多くなると排気したガスがオイ
ルミストトラップ（オイルミストエリミネータ）で捕捉された
オイルがオイルケーシング内に回収され難くなります。このよ
うな場合には、オイルミストフィルター（オイルエリミネータ
ー）からポンプのオイルケーシング内にオイルが戻る配管また
はチューブなどにバルブなどを組み合わせた機構を付属して、
オイルの消耗および減少を更に抑えることが可能です。
以上のことから、高圧力条件でロータリーポンプを運転する場
合には、オイルのレベルゲージを都度確認するなど点検を頻繁
に行い、オイルが不足した状態で運転がなされないようにしま
す。
凝縮性の蒸気や化合物などを排気する用途や可燃性ガスを排気
する場合、または、酸素分圧の高いガスを排気する場合には、
上述のオイルミストフィルター（オイルミストエリミネーター）
を使用しないようにしてください。
高圧ガス、低温機器、真空機器
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