第5757号 RPでの毒性ガスの排気
RP:油回転ポンプで毒性ガスを真空排気するとき何に
気を付けたらよいでしょうか？
自然発火性の特殊材料ガス SiH4,PH3,B2H6 は酸素と接触すると
発火します。
先ずこの手の可燃性ガスの未反応排気ガスには、フッ素化オイル
仕様のポンプを使用することがお勧めです。ポンプ本体のポンプ
ケース内でガスを燃焼させることの無いようにポンプケース内を
窒素ガスなどの不活性ガス若しくは、ポンプの後段で排ガス処理
装置を設置することが必要です。
万が一、ポンプケース内で燃焼や爆発などの燃焼を起こすと酸化
生成物がオイルに混入してポンプの回転体内部に入り込んで、ス
ーテーター、ベーンなどの損傷に至りポンプの性能の劣化を招き
ます。
腐食性塩素系ガスを排気する場合には？
塩素系ガスを使用するエッチングプロセスでチャンバーから流れ
てくる未反応ガスは、油回転ポンプへのケミカルアタックが顕著
なための対処が必要です。
例えば・・・
・エッチングガスから HCl などのガスが生成されポンプ潤滑油を
酸化して油自体の粘度を低下させます。
・反応性ガスによる腐食が発生します。
・塩素系ガスによりポンプオイルが高分子化してタール状になり
ポンプの負荷が増大します。
・反応性生成物として AlCl3などのデポ物、固形物が潤滑油に混
入して真空ポンプとしての回転機構を摩耗させ性能が低下します。
以上さまざまな症状が起こります。
腐食性ガスにはケミカル対応のポンプにフッ素化オイルを使用する
ことが原則です。特に特殊ガスの排気には真空ポンプや排気系の選
択を十分に考慮を要します。
高圧ガス、低温機器、真空機器
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加藤勝信厚生労働相は英製薬大手アストラゼネカが開発
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利根川上流域の関東９ダム貯水率は？
08/07 09:00 363,899千m3 98.8% 54.16m3/sec
（利根川ダム統合管理事務所河川情報より）
（藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・八ッ場・下久保・草木および渡良瀬貯水池）
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