第5075号 真空用ゲートバルブは・・・
真空ゲートバルブは、弁板、弁箱、駆動部で構成されています。
基板が通過する大きな開口部を閉止するため、弁材はOリングシ
ール材で開口部を開閉し、弁板と駆動部は金属ベローを介して
結合し駆動部の動作を弁板に伝えます。金属ベローを使用し開
閉機構と真空環境を隔離して真空中で弁板を無摺動で開閉可能
で清浄な真空環境を保持できます。
閉状態の弁板前後の圧力がシール側が真空で反対側が大気の場合
であっても仕込み室に搭載されるゲートバルブは同圧または逆圧
使用を必要とし、大気開放した際の高真空側への大気の流入を防
いでいます。
チャンバー内が大気から真空にゲートバルブ接地面が変位により
弁板Oリングのねじれやシール性低下の原因となるので設置面の
十分な合成を必要とします。
高圧ガス、低温機器、真空機器
川口液化ケミカル株式会社
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今日の埼玉県川口市のお天気は？
皇紀２６７９年（西暦２０１９年）
11月 8日 金曜日 十三夜
二十四節季 十九節気 立冬（りっとう）
七十二候 五十五候 山茶始開（つばきはじめてひらく）
※8月14日に従業員のストライキで業務が停止し、9月24日の通常営業再開
までストが続いた東北道・佐野サービスエリア（SA＝栃木県佐野市）上り線で8日
運営会社「ケイセイ・フーズ」の労働組合側が午前7時から8時までレストランの
時限ストに踏み切った。ただ会社側が代替要員を送る“スト破り”で対抗し
通常営業が行われたため事実上、失敗に終わりました。/small>
天気 くもり
ボンベ庫の温度 朝１２℃ 昼１４℃ 夜１５℃
弊社 太陽光発電総発電量 １３．０kW
本日のPM2.5 13.17μg/m 環境省そらまめ君より（さいたま市城南）
本日の電力最大消費率は？
（エレクトリカル・ジャパンElectrical Japan１（PM4:00)より）
北海道電86%、東北電84%、東電83%、中部電85%、北陸電83%
関西電83%、中国電78%、四国電81%、九州電86%、沖縄電力65%
利根川上流域の関東８ダム貯水率は？
11/8 12:00 444,841 千m3 96.4% 31.18m3/sec
（利根川ダム管理管理事務所河川情報より）
（藤原・相俣・薗原・矢木沢・奈良俣・下久保・草木および渡良瀬貯%水池）
＊Twitter世界トレンドより
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